【課題】半導体ウェーハの研磨作業中に、ヒゲの発生した研磨布などで構成される研磨部材を取り替えることなく、不織布本来の研磨仕上げ効果を得ることのできるノッチ研磨用装置を提供すること。
【解決手段】半導体ウェーハ４に設けられたノッチ５部を研磨するための研磨部材３が、中央部分側に位置する合成繊維や天然繊維を主原材料とした研磨布層７と、その側面側に形成された樹脂層８とから構成されていることにより、側面の樹脂層８が、ノッチ５端部領域の鏡面加工に関与する部分になるため、この樹脂層８によりノッチ端部領域のヒゲの出現が抑制または皆無となり、ヒゲの影響が半導体ウェーハ４のノッチ外部に位置する他の部分にまで及ぶことはなくなり、かつ中央部分側に合成繊維や天然繊維を主原材料とした研磨布層が存在するため、不織布本来の研磨仕上げ効果を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】裏面までスラリーが浸潤し難く、かつ、十分な研磨力を有する研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨パッド１の製造方法は、研磨面１１に溝１２が形成された研磨パッド１を製造するための方法であり、パッド素材となるシート状の人工皮革１０を研磨面１１と垂直な方向に均一にプレスする第１プレス工程と、人工皮革１０の研磨面１１を、形成したい溝１２に応じた形状のフレームからなる溝形成用金型５１によってプレスする第２プレス工程との２段階のプレス工程を含んでいる。この製造方法によれば、溝１２が溝形成用金型５１を用いたプレス加工によって形成され、溝１２周辺の材料が圧縮されて密度が高くなっているために、研磨パッド１の裏面までスラリーが浸潤し難くなっている。また、研磨面１１の研磨部位１３も第１プレス工程で圧縮されて剛性が高められているので、十分な研磨力を有している。 （もっと読む）

【目的】 円管の下部内壁に沿う湾曲形状で走行する可撓性コンベアベルトが、このベルトと前記下部内壁との間に導入される空気によって下部内壁から完全に浮上して走行することができる可撓性コンベアベルトを提供する。
【構成】 ゴムを主体とする可撓性コンベアベルトの場合、ベルトの幅ｘとたわみ量Ｆの比率Ｆ／ｘで求められるトラフ指数Ｔ（ＪＩＳ Ｋ６３２２）を０．３５以上し、より厳密には、ベルトの厚みｙ（ｍｍ）と幅ｘ（ｍｍ）の関係がｙ≦０．１４３＋６．４８６×１０^-3ｘ＋７．９０４×１０^-6ｘ² であるようにし、樹脂を主体とする可撓性コンベアベルトの場合、上記トラフ指数Ｔを０．３０以上にし、可撓性に富んだコンベアベルトにした。 （もっと読む）