【課題】公知のゲージの欠点を克服した、機械部品の直径および形状誤差を検出するプラグゲージとしての検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置は、２つ以上の数のフィーラ３６と、前記フィーラ３６の測定方向に沿った相互移動を示す電気信号を生成する位置トランスデューサ３７とを備える検査装置であって、適合システムが前記フィーラ３６のうち少なくとも１つのフィーラ３６と結合され、前記少なくとも１つのフィーラ３６を、前記測定方向と垂直な適合方向に実質的に沿って動かすことができる。 （もっと読む）

【課題】高水準の繰返し精度を保障する測定ヘッドを提供する。
【解決手段】機械部品の長さ寸法検査のためのヘッド１であって、溝１２および長手方向の幾何学的な軸を規定するケーシング３を備えた支持構造材と、アーム２０およびフィーラ２７を備えた支持構造材に対して移動可能であるアームセットと、横断軸を中心にして支持構造材に対してアームの移動を可能にするために、アームと支持構造材との間に配置される支点３０と、検査対象の機械部品の表面に向かってフィーラを付勢するために、アームと支持構造材との間に配置されるスラスト装置６０と、支持構造材に対してアームの位置に応じた信号を供給するために、アームおよび支持構造材に連結される変換器９０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、研磨運転中に、あるいは同様の運転中に、軌道運動により回転するクランクピンの寸法を良好な寸法性能、高い信頼性、低い慣性力で点検する装置を提供することである。
【解決手段】研磨機械の研磨運転中にクランクシャフト（３４）のクランクピン（１８）の直径を点検する点検装置は、研磨機械の研磨ホイールスライド部（１）上に配置された支持部（５）に対して回転する第１アーム（９）と、第１アームに対して回転する第２アーム（１２）と、第２アームによって保持された参照装置（２０）と、参照装置に連結された計測装置（１６、１７、４０−４５）とを有している。案内装置（２１）が、参照装置（２０）に固定され、クランクピンの軌道運動の過程で点検装置のクランクピンとの係合を可能にし、制御装置（２８−３０）が停止位置へ点検装置を移動する時に第１アームの移動と第２アームとの移動との制限を可能にする。 （もっと読む）

プラグゲージ（１）が、ハンドル（２）を有し、長手方向軸を規定し、位置変換器（２５）と検査される寸法を示す電気信号を無線伝達するための電気機器とを収容する。プラグゲージ（１）は、少なくとも１つの可動フィーラ（１０）と、可動フィーラ（１０）の運動をハンドル内に収容された位置変換器（２５）に伝達する軸（１７）を有する伝達機構と、が設けられたアームセット（７）を含むプローブ（６）を更に備えている。プローブ（６）は、変形可能な係止部分（５２）を有する迅速連結機構（５）によってハンドル（２）に接続されている。係止部分（５２）の放射状の配置構成が、狭持要素（６０）によって制御されている。
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外面（１６）と、当該外面（１６）に対して反対側に位置する内面（１７）と、を有する物体（２）の厚さを干渉分析法によって光学的に計測するための装置（１）及び方法に関する。所定帯域内で多数の波長を含む低コヒーレンスの放射線ビーム（Ｉ）を放射して、且つ、互いに異なり同時に活性化される複数の放射線ビームを放射する少なくとも２つの個別のエミッタ（２０）を有する放射線源（４）と、前記物体（２）に入り込むことなく前記外面（１６）によって反射される放射線ビーム（Ｒ１）と、前記物体（２）に入り込んで前記内面（１７）によって反射される放射線ビーム（Ｒ２）と、の間の干渉の結果であるスペクトルを分析するスペクトル計（５）と、前記放射線源（４）と前記スペクトル計（５）とに光ファイバ（８，１０，１１）を介して接続されており、前記物体（２）の前記外面（１６）へ向けて前記放射線源（４）によって放射される放射線ビーム（Ｉ）を方向付けると共に、前記物体（２）によって反射される放射線ビーム（Ｒ）を集積するべく、計測対象の半導体材料（２）のスライス片と向かい合うように配置される光学プローブ（６）と、前記スペクトル計（５）によって提供されるスペクトルの関数として前記物体（２）の厚さを計算する演算処理装置（１８）と、を備える。
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外面（１６）と、当該外面に対して反対側に位置する内面（１７）と、を備える物体（２）の厚さを干渉分析法によって光学的に計測するための方法、計測装置（２３；２６；２７）、及び計測システム（１）に関する。低コヒーレンスの放射線ビーム（Ｉ）が放射され、そのようなビームは、放射線源（４ａ、４ｂ；４ｃ、４ｄ；４ｅｆ）によって放射され、所定帯域内で多数の波長からなっている。前記放射線源は、前記物体（２）の厚さに応じて、異なる波長帯域に属する少なくとも２つの異なる放射線ビーム、又は、単一の広範な波長帯域の放射線源を、選択的に採用し得る。前記放射線ビームは、光学プローブ（６）によって前記物体の前記外面へ向けて方向付けられている。前記物体によって反射される放射線ビーム（Ｒ）は、前記光学プローブによって集積されている。スペクトル計（５；５ａ、５ｂ；５ｄ、５ｅ；５ｆ、５ｇ）によって、前記物体に入り込むことなく前記外面によって反射される放射線ビーム（Ｒ１）と、前記物体に入り込んで前記内面によって反射される放射線ビーム（Ｒ２）と、の間の干渉の結果であるスペクトルを分析することができる。そして、前記物体の厚さは、前記スペクトル計によって提供されるスペクトルの関数として計算される。２つのスペクトル計が、前記異なる波長帯域の各々に属する放射線ビームに対して選択的に用いられ得る。
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トランスデューサを有するゲージ装置（１）における熱ドリフト補償方法は、較正動作の過程で、ゲージ装置（１）の温度（Ｔ）の変化時に熱補償係数（Ｋ）の値を決定して記憶するステップと、ゲージ動作の過程で、ゲージ装置（１）の現在の読取値（Ｘ）を検出するステップと、ゲージ動作の過程で、ゲージ装置（１）の現在の温度（Ｔ）を検出するステップと、ゲージ動作の過程で、ゲージ装置（１）の現在の温度（Ｔ）とゲージ装置（１）の現在の読取値（Ｘ）との両方に応じて、較正動作の過程で既に決定されて記憶された熱補償係数（Ｋ）の値を用いて熱補償係数（Ｋ）の現在の値を決定するステップと、ゲージ動作の過程で、熱補償係数（Ｋ）の現在の値を用いてゲージ装置（１）の現在の読取値（Ｘ）を補正するステップとを含む。
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【課題】精度を保証し、信頼性が高く、汎用性があり、廉価である長さ寸法検査用ヘッドを提供する。
【解決手段】さまざまな構成要素の調整および取替えのために、外部から操作可能であることから、ヘッド１は一定の柔軟性およびモジュラリティ特性を有する。変換器９０は多数の巻線を備えた誘導半ブリッジ型である。処理装置への電気接続のための積分要素は、変換器の巻線、ケーブル１１０およびコネクタを含み、後者は高速ロッキング／アンロッキング装置を備える。ケーブルの先端は、変換器の巻線とコネクタの間に、プラスチック材料のオーバモールディング処理によって接続される。少なくともケージング３または測定ヘッドを含む検査装置は、静止構造材および調整可能かつ取外し可能な方法で静止構造材に連結される少なくともヘッドのための支持構造材を含む。 （もっと読む）

物体（１）のベース領域（５）からテーパ領域（１．１）の所定の直径（Ａ）を有する断面までの距離を測定するための方法であって、テーパ領域が仰角または俯角を形成するとともに円形断面形状を有する方法において、直径（Ａ）を有する測定体（３）がベース領域（５）上に配置される。この配置は、物体（１）の直径（Ａ）を有する断面領域と測定体（３）との間に隙間（６，Ｘ）の形態を成す距離が形成されるように行なわれる。隙間（６，Ｘ）を通じて流体媒質が押し進められ、流体媒質の圧力及び／又は流量が測定される。距離値は、測定された圧力及び／又は流量に基づいて評価ユニット（９）で決定される。
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工具（５）を支持する可動構成部品および／またはチェックされるべき機械構成部品を有する数値制御工作機械を制御するためのシステムは、制御ユニット（７）と、関連するインタフェースユニット（１５）を有するセンサ装置（９）とを含む。制御ユニットがインタフェースユニットへ送信する要求／命令メッセージの結果として生じる確認パルス信号（ＡＣＫ）を送信するために、測定信号をインタフェースユニットから制御ユニットへと送信するためのデジタルチャンネル（２０）が異なる瞬間に測定プロセスに代わる手段として使用される。工作機械を制御するための方法は、例えば測定チェーンの効率および作動性をチェックするために要求／命令メッセージ（Ｍ）を制御ユニットからインタフェースユニットへ送信し、測定チェーンの構成部品である送信チャンネルを介して確認パルス信号を受信することを含む。センサ装置は、光ビーム（１０）、一般的にはレーザビームの遮断を検出する光電子機器によって実現されることが有益である。
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