【課題】加工品に接触する際にヒステリシス効果を最小限にする代替方法を提供する。
【解決手段】プローブヘッド基部５６と触針２２とを有するプローブヘッド２６が提供され、前記触針２２は、プローブヘッド基部５６に対して移動可能である。触針２２は、プローブヘッド基部５６に対して画定された静止位置を有している。接触のために、触針２２が表面点に画定された接触力で触れるまで、プローブヘッドが加工品に対して移動する。静止位置に対する触針２２のヒステリシス作用を表す補正データ記録７４が提供され、接触力が補正データ記録７４を用いて定められる。 （もっと読む）

【課題】ワークピースに対して迅速にかつ高位置精度で相対移動される機械部品をトリガする方法および装置を提供する。
【解決手段】ワークピース２２に対して一つの移動軸１８に沿って相対移動されるレーザ装置１２を位置を正確にトリガする方法において、位置パルス３２は、増分エンコーダ２８を用いて発生され、位置パルス列３０における位置パルス３２の数は、レーザ装置１２の移動位置を表す。レーザ装置１２に対するトリガ信号５４は、現在の位置パルス数が、規定されたパルス数に対応する場合に発生される。現在の位置パルス数および規定されたパルス数は、インタフェースカード４８上の比較器において比較される。 （もっと読む）

【課題】位置決めおよび測定精度に及ぼす工作物の重量の影響を低減する単純かつコスト効率の高い代案を提供する。
【解決手段】測定対象物３０についての測定可能な変数を決定する装置は、複数の機械脚部３８、４２上に取り付けられた底板１２を有している。測定ヘッド２８は、底板に対して移動させることができる。工作物テーブル４６は、測定対象物３０を支持するために底板１２上に設置することができる。本発明の一局面によれば、底板１２は、垂直方向に調節することができるように機械脚部３８、４２に取り付けられている。機械脚部３８、４２は、工作物テーブル４６を保持するために第１の調節位置で底板１２から上方に突出している。第２の調節位置においては、機械脚部３８、４２は、底板１２内に後退されている。 （もっと読む）

【課題】加工品表面上での単純でかつコスト効率の高い焦点制御を可能にする方法および構造を提供する。
【解決手段】機械部品１２は、加工品表面２３にわたって規定の移動経路２８に沿って導かれる。機械部品１２は、この移動中、加工品表面２３から規定の距離５０を隔てて保持される。この目的のために、規定のリード１８で機械部品１２の前方で作動する距離センサ１４が設けられる。距離センサ１４と加工品表面２３との間の複数の距離値が決定され、規定の距離５０を調節する複数の制御値が、距離値の関数として決定される。規定の距離５０は、制御値によって繰り返し調節される。前記移動経路２８に沿った距離値は、第１のグリッド間隔４６によって決定される。制御値は、第２のグリッド間隔４４で規定の移動経路２８に沿って決定される。第１および第２のグリッド間隔４６、４４は、異なる。 （もっと読む）

【課題】３つの空間方向におけるそれぞれの曲げ剛性をできるだけ良好に相互に整合させることのできる、微細構造体を測定するためのセンサーモジュールを提供する。
【解決手段】触知式座標測定装置のプローブ２８用のセンサーモジュール４０は、第一測定面を規定する固定モジュールベース４６を有する。前記センサーモジュールはさらに、モジュールベース４６に対して移動可能であって、触針２６を保持するための支持部材４８ａを有している。さらに、支持部材４８ａとモジュールベース４６とを移動可能に相互接続する少なくとも１つの変形可能な接続部材５０を設けている。本発明の１つの局面において、前記接続部材５０は少なくとも、変形可能な第一および第二材料層５０ａ，５０ｂを有し、これらは、第一測定面に対して垂直に、相互に位置がずれた状態に設けられている。 （もっと読む）

座標測定機を用いて測定すべきワークピース（７１）をスキャニングによって精査する際に、スタイラス・チップはスキャニング・パス（７３）に沿ったスキャニング前にプリスキャン・パス（８３）に沿って移動し、及び／又は、スキャニング・パス（７３）後にポストスキャン・パス（８５）に沿って移動する。プリスキャン・パス及びポストスキャン・パスの長さ（Ｌ_v，Ｌ_n）は、具体的な測定作業の各パラメータ、特に、予め決定されたスキャニング速度、スタイラスの剛性及びスタイラスの質量に応じて選択される。 （もっと読む）

【課題】小型化された探針と膜状センサーシステムとを備えた構造的ユニットの交換が単純化され、操作の高い信頼性を維持して実行できるようにする。
【解決手段】交換可能で小型化された探針１０８を有する座標測定機械のためのプローブヘッド。前記探針１０８は剛性があり、かつ前記探針１０８に力が作用したときに所定の仕方で撓むことのできる膜状センサーシステム１００と共に構造的ユニット１１６を形成している。前記構造的ユニット１１６はプローブホルダー７０に恒久的に結合されており、また前記探針１０８を交換する際に前記プローブホルダー７０と一緒に取り扱うことができる。更に前記センサーシステム１００は、たわみを検出するための電気的センサー要素１１４を有することができる。前記構造的ユニット１１６を前記プローブヘッド上に機械的に固定し、また前記センサー要素１１４と電気的に接続するために、別々の手段が備えられる。
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【課題】連続的測定過程をより簡単に、かつより正確に実施することができるようなセンサーモジュールを提供する。
【解決手段】触知三次元座標測定機の検出ヘッド用センサーモジュールには、固定されたモジュール基部を形成し、それによって最初の測定面６０を規定するフレーム４２を有している。移動部４４は、ウェブ４６によってフレーム４２に接続されている。本発明の一局面によれば、各ウェブ４６には、最初の測定面６０に対して垂直な断面で見た場合、2つの薄い材料のウェブ部分５２、５４の間に配置された厚い材料のウェブ部分５０がある。厚い材料のウェブ部分５０は、薄い材料のウェブ部分５２、５４の対応する材料厚さd_sより大きい材料厚さD_sを有している。 （もっと読む）

【課題】低いコストで、３つの座標方向における高分解能の測定を可能にする。
【解決手段】ハウジング12内に弾力性をもって吊り下げられた探針18を備えた座標測定機械用のプローブヘッド10。センサー構成26は前記ハウジング12に対する前記探針18の片寄りを検出する。前記センサー構成26は、磁石34と前記磁石に近接して配設されたホール素子36とを有する少なくとも１つのホールセンサーを備えている。前記探針18が片寄ると、前記磁石34が磁石34のＮ極とＳ極とによって規定されるその軸方向において前記ホール素子36に沿ってその側方を通過する。極性の変化するホール電圧が前記ホール素子36で得られる。極性が反転する点付近にあるホール電圧の直線的な範囲が、探針18の片寄りを表す量として処理される。
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【課題】高い測定精度を達成する座標測定装置を提供する。
【解決手段】検査対象物における測定座標の計量測定用座標測定装置は、検査対象物を取り付けるためのテーブル１２を備えている。テーブル１２上には、第１および第２のベアリング支持部１６、１８が配置されている。ベアリング支持部上には、それぞれ長手方向に移動可能な第１および第２のキャリッジ２０、２２が取り付けられている。本発明の一局面によれば、キャリッジ２０、２２は、少なくとも３つ、好ましくは４つの離れたベアリング点６２〜６８を介して、それぞれベアリング支持部１６、１８上に取り付けられており、ベアリング点６２〜６８はテーブルの平面に対して垂直である平面７４を画成している。 （もっと読む）