【課題】金属坩堝を１０００℃以上の高温で使用するための坩堝炉において、高温時の坩堝近傍の雰囲気を制御すると共に、ルツボ内の温度制御の精密化、ルツボの長寿命化が可能となる坩堝炉を提供する。
【解決手段】１０００℃以上の高温において、金属坩堝４中で化合物の処理を行うための坩堝炉であって、坩堝４の周辺に耐熱性で着脱可能な薄い緻密質セラミックスからなる第一のスリーブ１を置き、該第一のスリーブ１の外側に断熱材からなる第二のスリーブ２並びに加熱装置３を置いたことを特徴とする坩堝炉である。 （もっと読む）

【課題】高純度を有しながら微細で粒状がそろったシリコンを最小のエネルギーで高効率に、更に、多量に得ることの出来るシリコン製造装置を提供することを課題とした。
【解決手段】本発明は高純度シリコン微細粒子の製造装置において（１）金属亜鉛を亜鉛の沸点以上で加熱蒸発すると共に生成ガスを加熱して１０００℃以上の亜鉛ガスを供給する機構と（２）該亜鉛ガス中に液状の四塩化ケイ素を供給する機構と、（３）前記亜鉛ガスと前記四塩化ケイ素を混合攪拌して反応させシリコン粒子を含む反応ガスを生成する機構と、（４）前記反応ガスの温度を１０００℃以下に下げてガス中に生成したシリコン粒を凝集し成長させる機構と（５）前記成長したシリコン粒を反応ガス中に含むガス物質を塩化亜鉛水溶液と接触させ水溶液中にシリコンを沈殿・回収する沈殿回収機構を含んでなることを特徴とする高純度シリコン微細粒子の製造装置である。 （もっと読む）

【課題】四塩化ケイ素を亜鉛によって還元し、高純度シリコンを製造する亜鉛還元法シリコン製造において副生する反応排ガスを適正に処理・回収する処理装置を提供することを課題とした。
【解決手段】本発明は、亜鉛還元法によるシリコン製造に於ける生成排ガスの処理において、該生成排ガスを塩化亜鉛水溶液を循環した塔の上部から導入して吸収させるガス吸収溶解機構、該塩化亜鉛水溶液の循環機構、該生成排ガスを吸収した塩化亜鉛水溶液の濾過機構、該生成排ガスを吸収した塩化亜鉛水溶液の濃度調整機構、並びに前記処理を行った塩化亜鉛水溶液の保持機構を有する排ガスの処理装置である。 （もっと読む）

【課題】超高純度を有しながら微細で粒状がそろったシリコンを最小のエネルギーで高効率に更に多量に得ることの出来るシリコン製造装置を提供することを課題とした。
【解決手段】本発明は高純度シリコン微粉末の製造装置において（１）金属亜鉛を亜鉛の沸点以上に加熱蒸発して亜鉛ガスを供給する機構と（２）該亜鉛ガス中に液状の四塩化ケイ素を供給する機構と、（３）前記亜鉛ガスと前記四塩化ケイ素を混合攪拌して反応させシリコン粒子を含む反応ガスを生成する機構と、（４）前記反応ガスの温度を３００℃〜８００℃に下げて生成したシリコン粒子を成長させると共にガス成分の一部と共に沈殿する機構と（５）前記沈殿物を保持すると共に、該沈殿物を９５０℃以上に加温し、蒸発物を揮散して、固体シリコンを得る機構（６）と、前記蒸発物を含み、未反応ガス等を含む排ガスを系外に排出する排ガス機構を含んでなることを特徴とする高純度シリコン微粉末の製造装置である。 （もっと読む）

【課題】主として使用済みまたは使用過程品あるいは未使用の不溶性金属電極から電極物質とチタンまたはチタン合金基体を分離し基体金属はそのまま再使用可能な状態として回収し、また電極物質は十分な濃度で容易に回収出来る高濃度の沈殿物として回収する方法を提供する。
【解決手段】チタン基体表面に酸化イリジウム及び／又は酸化ルテニウムを含む電極物質を被覆してなる不溶性金属電極からの電極物質及びチタン基体の分離回収方法であって、（１）不溶性金属電極表面を清浄化する工程と、（２）塩化アルカリ水溶液を塗布する工程と、（３）前記塩化アルカリを塗布した不溶性金属電極を５００℃から７００℃で加熱処理する工程と、（４）更に該電極表面に、苛性アルカリ溶液を塗布する工程と、（５）加熱して該苛性アルカリの融点以上に保持して反応させる工程と、（６）酸に浸漬する工程とを有する不溶性金属電極の被覆と基体を分離して回収する回収方法。 （もっと読む）

【課題】亜鉛ガス中での四塩化珪素との反応により生成するシリコンの純度の向上と共に生産規模の向上とともに収率の向上が可能な高能率の反応装置を得ることを課題とした。
【解決手段】本発明は高温中で亜鉛ガス中に四塩化珪素を供給してシリコンと塩化亜鉛の生成を行う水平型反応塔とその後端に設けられた垂直反応塔部を有する反応装置において、水平型反応塔の内部に反応部から長さ方向についてランダムな間隔及び方向性を有する邪魔板を置くことによって反応塔内部を流れるガス又はガス及び生成固体を十分に乱流化させ相互に衝突させて混合すると共に外部からの熱を能率良く均一に取り込むようにした、高純度シリコンの製造装置並びに、本製造装置を含み連続的シリコン製造を行う様にした高純度シリコンの製造装置である。 （もっと読む）

【課題】電極基材それ自身の耐食性をより向上させるとともに、導電性の保持を完全にして電極の長寿命化をはかるとともに、それを低コストで実現した電極基材並びに該基材を使用した安定で長寿命の電極を提供することを課題とした。
【解決手段】本発明は第一にチタン又はチタン基合金表面に見かけ厚さ１ミクロン以上で、実質的にハロゲンを含まない０．１から２０モルパーセントのチタンと残部がタンタルからなる導電性酸化物層を有する耐食性の不溶性金属電極用基体であり、第二に第一の発明の不溶性金属電極用基体上にイリジウムとタンタルからなる複合酸化物からなる電極物質を被覆してなる耐食性不溶性金属電極である。 （もっと読む）

【課題】四塩化珪素の亜鉛還元によって系内で比較的大きな高純度、高結晶性のシリコンを連続的に製造する製造装置を提供することを課題とした。
【解決手段】本発明は亜鉛ガスと四塩化ケイ素との反応によりシリコンを製造する製造装置において、亜鉛ガスを生成して反応塔に送るガス発生機構と四塩化ケイ素を反応塔に送る供給機構と内部で該亜鉛ガスと該四塩化ケイ素を接触反応させてシリコン又はシリコン前駆体を生成させると共に生成したシリコン又はシリコン前駆体を相互に衝突させるようにしてシリコン結晶として成長させる機構を含む反応塔部と該成長したシリコン結晶を反応ガスから分離落下させてシリコン保持部に送る固気分離部を有する高純度シリコン製造装置である。 （もっと読む）

【課題】主として電解ユニットを液中に浸漬して大規模の電解を行うための電解槽であって漏洩電流を最小限に押さえ、しかも電極上の通電構造を簡単にして電解槽を小型化すること、更に電解によって発生するミストの影響を最小限にするための電極ユニットの構造体を提供することを課題とした。
【解決手段】本発明は複数の陽極及び陰極を並べた電極群と電極枠構造体からなる電極ユニットを１つの電解浴槽内に置いて電解を行うようにした電解処理用の電解槽であって、該ユニット内の電極の接続が複極に接続された複数の単位を電気的に並列に接続するようにした単・複極型電解槽である。 （もっと読む）

【課題】四塩化珪素の亜鉛還元によって主としてソーラーセルに使用する高純度シリコンを得るためのシリコン製造装置であって、より高純度のシリコンをより小型設備によって、安定に生成すると共に、他の反応成分との分離を完全に行うと共に、系内でシリコンを融体化して、連続的に取り出すことが容易な装置を提供することを課題とした。
【解決手段】
本発明は本発明は▲１▼亜鉛ガスの発生装置、▲２▼該亜鉛ガス中に四塩化ケイ素を液体で導入して反応させシリコン及び／又はシリコン前駆体を生成させる生成装置、▲３▼シリコンの結晶成長と固気分離を行う分離装置及び▲４▼分離したシリコンを融体化する為に融体シリコンを内部に有する融体化装置、を有することを特徴とする高純度シリコン製造装置である。 （もっと読む）