本発明は、振動するように設計されている半球形または鐘形の受感部（４）と、上記受感部（４）を励起し、なおかつ上記受感部（４）の振動を検知するための励起／検知電極（２０）を保持可能な電極保持器（８）と、上記電極保持器を支持するための部材（１０，１６）とを備え、上記支持部材（１０，１６）は、密度が５ｋｇ／ｄｍ^３未満であり、なおかつヤング係数を当該密度で割った比率の平方根が９ＧＰａ^１／２・ｄｍ^３／２・ｋｇ^−１／２よりも大きい材料からなる土台（１０）を備えているジャイロセンサ（２）に関する。
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ジャイロシステムは、初期の第一振動幾何学的位置において振動する振動型ジャイロスコープであり、測定信号を与える振動型ジャイロスコープに基づく測定値を与える。周期的な命令信号は、ある時間周期に亘り、上記振動型ジャイロスコープに対して、上記時間周期の一部分が経過する間に、上記振動幾何学的位置を第一方向に回転させ（１１）、第一速度プロファイルに従って、上記第一位置から第二位置へ変化させ、上記時間周期の他の部分が経過する間に、上記振動幾何学的位置を上記第一方向とは反対の第二方向に回転させ（１２）、第二速度プロファイルに従って、上記第二位置から上記第一位置へ変化させるように与えられる。上記速度プロファイルは、位置の変化の速度変化を示すものである。上記システムにより与えられる測定値（１３）は、上記ジャイロスコープにより与えられる上記測定値から上記命令信号を減算することにより得られる補正信号に基づいている。
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本発明は、放射源によって生成された放射線の一部を、スポット（１００）に集束させるように設計された放射線コレクタ（１０）に関する。当該コレクタは凹型一次ミラー（１）および凸型二次ミラー（２）を含み、これらのミラーは、それぞれがコレクタの光軸（Ｘ−Ｘ）に対して回転対称である。一次ミラーは、当該主要ミラーの異なる点と点との間では、集められた放射線をほぼ一定の入射角（ｉ）で反射するように構成される。このようなコレクタは、放電線生成プラズマ型の放射源との使用に特に適している。
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【課題】従来のタイプの自由度６を有する固定及び調節組立体を備えた、三つの群で組み立てられる、二自由度を持つ固定及び調節装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、支持基部（１）と、二つのアーム（７、８）を各々が備えた二つの三角形レバー（６）とを備え、これら三角形レバー（６）は、三角形で配置されておりかつ三角形の先端（９）の一つに接続されかつ各先端において基部に関節接合されており、各レバーの二つのアームの中の第一アーム（７）は、延伸させることができ、かつ支持すべき要素に固定する手段（１４）へその自由端において接続されており、基部に取り付けられておりかつレバーの平面内で各レバーの第二アーム（８）を回動させるように配置されている調節手段（５）をさらに備えていることを特徴とする、支持すべき要素を固定及び調節する装置に関する。本発明は精密光学素子を固定及び調節するのに適している。 （もっと読む）

互いに相対移動可能な複数の電極を備える容量性素子の利得の補正方法であって、符号が反対で且つ測定可能な残留磁界を発生させる閾値より小さい共通の値（ε）を持つ低減された直流バイアス電圧を複数の電極の一方に連続して印加するステップ（１０、１２）と、容量性素子からの出力信号を測定するステップ（１１、１３）と、平均値を取得するステップ（１４）と、測定された前記出力信号に応じて前記容量性素子の利得を補正するステップ（１９）と、を含む方法。
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ジャイロスコープシステムには、少なくとも１個の振動ジャイロスコープが含まれる。第１の角度測定手段は、測定軸に沿う第１の角度値を与えるように設計されており、第２の角度測定手段は、上記測定軸に沿う第２の角度値を与えるように設計されている。第１の角度値は、現在の振動位置で振動する第１の角度測定手段によって与えられる。同時に、第２の角度値は、第２の角度測定手段によって与えられる。そこから、第１及び第２の角度値の比較に基づいて、修正された第２の角度値が推論される。次に、第１の角度測定手段の振動位置が、現在の位置から他の位置に変化される。その後、第１の角度値が、第１の角度測定手段によって与えられ、同時に、第２の角度値が、第２の角度測定手段によって与えられる。そして、そこから、第１及び第２の角度値の比較に基づいて、修正された第１の角度値が推論される。
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線源（Ｓ）から放出される極紫外域（ＥＵＶ）の電磁放射束を集める装置は、線源（Ｓ）の前方に２５０ｍｍを超える距離に配置されかつ中心孔（３）があけられた凹面集光鏡（２）、および線源と同じ位置に凹面鏡の後ろに配置されかつ中心孔（５）があけられた凸面鏡（４）を備える主の第１の集光段（Ｅ１）と、段（Ｅ１）の前方に配置されかつ中心孔（８）があけられた凹面集光鏡（７）、および凹面鏡の後ろに配置された凸面鏡（９）を備える少なくとも第２の集光段（Ｅ２）とを含む。
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本発明は、平坦な基準面（Ｌ）、およびその面の垂線に対して、平坦な被検査面（Ｗ）の距離（ｄ）および傾きを測定するのに使用される光学的三角測量測定装置に関する。本発明の装置は、波長の異なる２つの交番する光ビーム（Ｆ_Ｌ、Ｆ_Ｗ）を同一の経路に沿って放射させるための手段（８）と、光ビームスプリッタ手段（９）と、交番する分割されたビームを面（ＬおよびＷ）に向け、この面からそれらのビームが互いに集光するように反射される（Ｆ_Ｌ、Ｆ_Ｗ）光学的セパレータ（１１）と、２つの反射されたビームを集め、同ビームを同一の出力光路に沿って向ける光結合器（１２）と、交互に２つの光の像（１６_Ｌ、１６_Ｗ）を受光し２つの光の像のそれぞれのエネルギー重心の位置を示す信号を発生する（２０）ために、複数の光ビームに関して相互に関連するように配置されたオプトエレクトロニクスセンサを備えた手段（１４）と、放射された２つの交番するビームとオプトエレクトロニクスセンサ上の２つの像とを時刻同期させる手段（１７、１８）と、面（Ｗ）の距離と傾きに関連した情報を供給するためにオプトエレクトロニクスセンサからの信号を処理する手段（１７）と、を備える。
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本発明は、ユーザを識別する方法に関し、この方法は、各ユーザに関して、少なくとも１つの未変更のバイオメトリック特徴（Ｅ_1,i）と、未変更のバイオメトリック特徴からアクセスすることができる、変更済の少なくとも１つのバイオメトリック特徴（Ｅ_2,i）と、第２バイオメトリック特徴に行った変更を識別するコードからアクセスすることができる少なくとも１つの識別データ（Ｄ）と、を収納するユーザの個人データを収納するデータベースによって実現される。この方法は、ユーザから読み取った第１バイオメトリック特徴（ｅ_1,i）及び第２バイオメトリック特徴とデータベースの中の特徴とを比較することによって、どのような変更が行われたかを決定し（５）、これによって前記変更を識別するコードを推定するステップと、こうして推定したコードによって識別データを抽出する（６）ステップと、を備える。また、本発明によれば、この方法を実現するためのデータベースが提供される。
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放射源（１）と、前記放射源と放射のための光学形成装置（４）との間に搭載されるレチクル（３）とを有するイメージング装置又は露光装置。
前記光学形成装置はレチクルの下流側に配置され、前記光学形成装置（４）は一連のミラー（７，８，１０，１１）を有し、少なくともその内の２つ（１０，１１）は、変形可能なミラーであって、制御ユニット（１４）に接続する変形部材（１２，１３）を含む。
前記制御ユニット（１４)はイメージアナライザー（１５）に関連付けられ、第１に、イメージ品質の設定値に関連する差に基づいて、及び、第２に、イメージ歪み設定値に関連する差に基づいて、それぞれ別々に、２つの変形可能なミラーを変形する。 （もっと読む）