微分干渉法の光変調器及び画像表示システムは、偏光ビームスプリッター、偏光変位デバイス、及び線画像を変調するためのＭＥＭＳの光学位相偏移デバイスの線形のアレイを含む。偏光ビームスプリッターは、干渉計における偏光子及び検光子の両方として作用する。偏光変位デバイスは、偏光子からの偏光させられた光を、互いに平行に伝播するものである直交する偏光の成分へと分割する。ＭＥＭＳの光学位相偏移デバイスのアレイは、相対的な位相の偏移を偏光の成分へ分与すると共にそれらを偏光変位デバイスへ戻すが、そこでは、それらは、再結合させられると共に検光子へ送られる。ＭＥＭＳの光学位相偏移デバイスは、電子式に制御されると共に電子式の画像データを現実の光変調へと転換する。
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光変調器は、偏光敏感プリズム及び新規MEMSリボン素子を組み込むことで、入射光ビームの偏光成分に対して位相シフトを与える。MEMS素子内の位相シフト素子の1次元アレイは1次元像を生成する。その1次元像が走査されることで2次現像が生成される。あるいはその代わりに、1次元アレイを構成するように配置されている原子間力顕微鏡のカンチレバーの各々のたわみが同時に計測されても良い。

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