【課題】装置の設置床面から低い位置で基板を搬送するとともに、装置全体を簡単な構造にすることができる基板搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板搬送装置１であって、ハンド部材３０と、上下スライド機構４０と、横スライド機構５０と、を備え、上下スライド機構４０は、旋回ベース部材２０に取り付けられた上下スライド用固定レール４１と、上下スライド用固定レール４１に取り付けられた横スライド用可動レール４２と、を備え、横スライド機構５０は、旋回ベース部材２０に取り付けられた横スライド用固定レール５１と、横スライド用固定レール５１に取り付けられた上下スライド用可動レール５２と、を備え、上下スライド機構４０はハンド部材３０に対して一方の側部に配設され、横スライド機構５０はハンド部材３０に対して他方の側部に配設されている。 （もっと読む）

【課題】装置の近傍に基板を搬送したときに、基板の下方にスライダベースが存在しないようにすることができる基板搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板搬送装置１であって、本体部１０に支持された第一スライダベース２０と、第一スライダベース２０の第一ガイドレール２２に沿って移動自在な第二スライダベース３０と、第二スライダベース３０の第二ガイドレール３２に沿って移動自在なハンド部材４０と、第二スライダベース３０に連動してハンド部材４０を移動させる連動機構５０とを備え、連動機構５０は、第二スライダベース２０に連動して回転する第一連動ギヤ５１と、第一連動ギヤ５１に対してギヤ比が小さい第二連動ギヤ５３とを備え、第二スライダベース２０に第一連動ギヤ５１及び第二連動ギヤ５３が取り付けられ、第一連動ギヤ５１に連動する第二連動ギヤ５３によってハンド部材４０が送り出される。 （もっと読む）

【課題】基板を位置決めするときに、塵の発生を低減することができるとともに、極薄な基板であっても損傷させることなく、正確に位置決めすることができ、さらに、製造コストを低減することができる基板位置決め装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板位置決め装置１であって、円形基板Ｗを保持する保持面１１が形成され、軸回りに回動自在な回動部材１０と、保持面１１の周囲に配設され、円形基板Ｗの裏面に対峙する環状の矯正面４１が形成された矯正部材４０と、円形基板Ｗを平面幅方向から挟み込むガイド部材３０，３０とを備え、回動部材１０には、保持面１１から圧縮空気（気体）を噴出又は吸引する保持用通気孔１３が設けられ、矯正部材４０には、円形基板Ｗの裏面と矯正面４１との間に、矯正面４１の内周側から外周側に向けて圧縮空気を噴出する矯正用通気孔４５が全周に亘って形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）