【課題】光集積回路上の光導波路のように導波路長が短く従来の光ファイバ調芯装置で検査が困難な光導波路についても、導通検査を行うことができる光導波路の検査装置を提供する。
【解決手段】光導波路の検査装置は、被検査物を保持する保持手段と、光導波路の光入力部に照射する入力光を生成する光源と、光源から入射された入力光を導波して出射する第１の光ファイバと、第１の光ファイバから入射された入力光を平行光化するテレセントリックな第１の光学系、第１の光学系で平行光化された入力光を集光して光導波路の光入力部に照射すると共に光導波路の光出力部から出射された出力光を平行光化するテレセントリックな第２の光学系及び第１の光学系から出射された平行光が第２の光学系に入射するように入力光の全部又は一部の光路を変更する第１の光路変更手段を備えた検査用光学系と、第２の光学系で平行光化された出力光を検出する光検出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来の検査装置及び検査方法に比べて、高速且つ高精度に光導波路の導通検査を行うことができる光導波路の検査システム及び検査方法を提供する。
【解決手段】積分球３６では、発光素子４０の発光強度に比例した、均一な強度分布の光が生成される。積分球３６で生成された均一光は、ファイババンドル４４の入射端面４４Ａから入射して、その内部を均一な強度分布を維持しながら導光し、出射端面４４Ｂから出射する。出射端面４４Ｂから出射された光は、光配線板１２の表面１２Ａに在る光入力部２８を含む領域に、均一な光強度分布で照射される。 （もっと読む）