垂直性および分散の問題を解決するためバランス界面を使うマイクロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）干渉計を提供する。ＭＥＭＳ干渉計は、第１媒体の第１表面上で第１媒体と第２媒体との界面に形成されたビームスプリッタ、第１媒体の第２表面に形成された第１のミラー、第１媒体の第３表面上に形成された第２のミラー、およびバランス界面を有する。ビームスプリッタは、入射ビームを受け取り、第１媒体中を伝播する第１干渉ビームおよび第２媒体中を伝播する第２干渉ビームに分けるよう、光学的に結合されている。第１のミラーが第１干渉ビームを受け取り第１干渉ビームを反射して第１の反射した干渉ビームを生成するよう光学的に結合しており、第２のミラーが第２干渉ビームを受け取り、第２干渉ビームを反射して第２の反射した干渉ビームを生成するよう結合されている。第１干渉ビームおよび第２干渉ビームのそれぞれの光路にバランス界面があり、ティルト角の相違および位相誤差の相違を最小にする。 （もっと読む）

【課題】
ＭＥＭＳアクチュエータにおいて、駆動電圧の上昇を伴うことなく、長い安定移動範囲を提供する。
【解決手段】
ＭＥＭＳデバイス用の静電櫛形駆動アクチュエータは、曲げスプリングアセンブリと、曲げスプリングアセンブリの相対向する側にそれぞれ連結された第１の櫛形駆動アセンブリ及び第２の櫛形駆動アセンブリとを含む。第１及び第２の各櫛形アセンブリは、固定櫛形駆動フィンガと、曲げスプリングアセンブリに連結された、固定櫛形駆動フィンガに向けて延びる可動櫛形駆動フィンガとを含む。櫛形駆動フィンガは、第１の櫛形駆動アセンブリと第２の櫛形駆動アセンブリとの間で均等に分割され、曲げスプリングアセンブリの対称軸の周りに対称に配置されている。電気的に励起されと、第１及び第２の櫛形駆動アセンブリの可動櫛形駆動フィンガは、第１及び第２の櫛形駆動アセンブリの固定櫛形駆動フィンガに向けて同時に移動する。 （もっと読む）

【課題】
ＭＥＭＳを用いた広角の光スキャナを実現する。
【解決手段】
光マイクロスキャナは、曲面反射板３０を用いて広い回転角を実現する。本光マイクロスキャナは、入射ビーム２５を受信し反射して反射ビーム３５を生成する可動ミラー３０と、可動ミラー３０の直線変位を発生させる微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）アクチュエータ４０とを含む。曲面反射板は、可動ミラーの直線変位に基づいて反射ビーム３５の角度回転θを発生させる。 （もっと読む）

【課題】
光学ＭＥＭＳデバイスにおいて、所定の機械変位に対し非常に長い光路差を発生させる。
【解決手段】
光学微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスは、光路遅延乗算器を提供する。ＭＥＭＳデバイスは、可動コーナー・キューブ反射板と、固定ミラーと、ＭＥＭＳアクチュエータとを含む。可動コーナー・キューブ反射板は、入射ビームを受信して、入射ビームを固定ミラーに向かって、全体として１８０度の角度で反射するように光学的に結合されている。固定ミラーは、入射ビームの逆方向経路に沿って可動コーナー・キューブ反射板に向かって後方に反射ビームを反射するよう光学的に結合されている。ＭＥＭＳアクチュエータは、可動コーナー・キューブ反射板に結合されており、可動コーナー・キューブ反射板に変位を発生させて光路長を増大する。 （もっと読む）