【課題】吸気管の詰まりが生じない気液混合攪拌装置を提供する。
【解決手段】導水管２の内部に吸気管１３を装着して、吸気管の下端から排出されるガスを導水管内の水と混合させる気液混合攪拌装置において、吸気管内に可撓性チューブ１８を挿着して該可撓性チューブの下端部１８ｃを前記吸気管の下端部１３ｃに対向させ、前記吸気管の下端部側と前記可撓性チューブの下端部側とを離間させて内側流水路６を形成するとともに、前記吸気管に、前記内側流水路と連通する分水孔２２を貫設する。 （もっと読む）

【課題】めっき終了後、めっき槽内めっき液を排液した後もアノードが空気に晒されず、アノード酸化による悪影響を抑止できるアノードホルダーを提供する。
【解決手段】下端部が開放されているホルダー本体２６と、該ホルダー本体２６内に設けられたアノード３０の係止部２４と、前記ホルダー本体２６の下端面を閉鎖するフィルター２８と、前記係止部２４に保持されたアノード３０より仕切られた上室２７と下室２８とを連通させる通気・通液孔３２と、前記ホルダー本体２６の上室２７に連通するエア抜き手段３４と、を備えるアノードホルダー。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置や液晶製造装置等から排出される有毒ガス中の有害成分を除外、回収する除外装置において、被処理ガスを導水管内に導入、混合する吸気管の詰まりを防止する。
【解決手段】導水管２内に吸気管１３を挿着し、該吸気管の下端１３Ｃから排出される有毒ガスＧと前記導水管内の水Ｗとを混合させる気液混合攪拌装置において、前記吸気管内に可撓性チューブ１８を挿着して該可撓性チューブの下端部１８ｃを前記吸気管の下端部に対向させるとともに、少なくとも前記吸気管の下端部側と前記可撓性チューブの下端部側とを離間させて振動間隙Ａを形成させることにより、気液混合に伴って前記可撓性チューブが振動してその下端部が吸気管内周面に衝突し、前記可撓性チューブ下端に付着した固形物が剥離され、吸気管の詰まりを防止できる。 （もっと読む）

【課題】排水処理可能な湿式除害装置を提供するとともに、排水を有効に利用する湿式除害方法を提供する。
【解決手段】有害ガスＧが供給される吸気部３と、該吸気部の上部に設けられ、シャワー室７を有する湿式排気処理部６と、該シャワー室に連続する排気部９と、前記吸気部の下部に設けられた循環水槽１７と、前記循環水槽の水を前記シャワー室に供給する循環ポンプ２５と、を備えている湿式除害装置において、前記循環水槽の水を浄化するための第２水処理部と再利用水部２３を設けるとともに、該再利用水部２３の水を再利用水補給ポンプ３０により前記シャワー室に供給する。 （もっと読む）

【課題】効率良く除害を行えるようにするとともに、水の無駄使いを防止する。
【解決手段】本体１の底部に、水を収容する液体室３を設け、該液体室３の上方に、ガス室１０を介してシャワー室１２を設けた有害ガスの除害装置において、前記液体室３内の水は、亜硫酸塩７を含有する還元水ｗであり、前記ガス室１０には、遊離残留塩素ガスを含む排ガスＧが導入され、前記液体室３内の還元水ｗは、循環路２２を介して前記シャワー室１２のシャワー１２ａに供給される。
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【課題】ウエハーを設計通りに挟持できたか否かを確認するとともに、ウエハーの多少の角度ずれを修正できるウエハーチャックのアライニング確認方法及びその装置を提供する。
【解決手段】ロボットハンド１に設けられたチャックベース５と、該チャックベース５に設けられ、該ロボットハンドの中心延長線１ｃに対して左右対称に配置されている一対のウエハーアーム７，７と、該ウエハーアームに設けられ、ウエハーＷｆを挟持するフインガー９，９と、前記一対のウエハーアームを開閉せしめるアーム開閉シリンダー１５と、を備えたウエハーチャックにおいて；前記チャックベース５の両ウエハーアーム７，７間に設けられ、ウエハーノッチ２０に嵌入されるノッチガイド１３であって、前記ロボットハンド１の中心延長線１ｃ上に配設されているノッチガイド１３と、前記両ウエハーアーム間の挟持間隔を計測する手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】迅速に、しかも完全にウエハーの洗浄を行えるようにする。
【解決手段】嵌合穴３を有するめっき槽１の底部１ａと、上下動により該嵌合穴３に着脱されるウエハーホルダー１０とを備えた、電気めっき装置によりめっき処理されたウエハーホルダー１０上のウエハーｗｆを洗浄する洗浄装置であって、前記底部１ａと洗浄位置Ｓまで下降した前記ウエハーホルダー１０との間に出し入れされるノズル部材２１を備え、該ノズル部材２１は、洗浄時、前記ウエハーホルダー１０に載置されているウエハーｗｆに対して垂直方向に洗浄液ｗを噴射するノズル３０を有し、前記ノズル部材２１には、前記底部嵌合穴から落下するめっき液滴を受ける液だれ防止堰３４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ウエフアーをウエフアーホルダーに確実に保持すると共に、十分に通電できるようにする。
【解決手段】めっき液を収容するめっき槽と、該プめっき槽１の底部１ａに貫設された、嵌合穴３ａを有するカソードホルダ３と、前記嵌合穴の上端に設けられたカソード補助電極５と、前記カソードホルダーの下面側から前記嵌合穴に着脱される、上下動可能なウエフアーホルダー１０と、前記ウエフアーホルダーの上面に設けられた電極収容凹部１２と、前記電極収容凹部に固定され、ウエフアーフォルダーに載置されたウエフアーのバックサイドＷＢを押圧するスプリングコンタクト式カソード電極１８と、前記ウエファーホルダーの上面に設けられたパッド収容凹部１４と、前記パッド収容凹部に固定され、前記ウエフアーホルダーに載置されたウエファーのバックサイドに吸着する吸着パッド１６と、を備えている。
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【課題】ウエフアーのめっき膜の厚さを均一にする。
【解決手段】アノード電極３２と、前記アノード電極３２と対向するカソード電極１８を備えたウエフアーホルダー１０と、前記ウエフアーホルダー１０が装着されるカソードホルダー３と、該カソードホルダー３に設けられ、前記ウエフアーホルダー１０に保持されたウエフアーＷの外周部Ｗ１側に位置する第1カソード補助電極５と、を備えた電気めっき装置であって；前記第1カソード補助電極５の外側に間隔をおいて第2カソード補助電極６を設ける。
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【課題】ダウンタイムを減少させ、除害効率を良くし、メンテナンス性の向上を図る。
【解決手段】有害ガスを発生する複数のチャンバ２，３，４を有するエッチング装置１と、前記チャンバ２，３，４の有害ガスと処理液Ｗとを攪拌混合して液体槽１１ａ内の処理液中に放出するミキサと該液体槽内の処理液Ｗを前記ミキサの流入口に送出する循環ポンプＰ１とを有する徐害装置１０と、からなるガス無害化処理システムＳであって；前記ミキサ１３，１４，１５は、各チャンバ２，３，４に対応してそれぞれ設けられ、前記ミキサは、各チャンバに対応してそれぞれ設けられ、前記循環ポンプＰ１は、各ミキサ１３，１４，１５に対し、それぞれ処理液Ｗを送出する。 （もっと読む）