【課題】作業性を向上させることができるとともに、短時間でウエハの並べ替えを行い、処理効率の向上を図ることができるウエハ並べ替え装置を提供する。
【解決手段】複数のウエハ２が収容されるカセット１を載置可能な複数のカセットステージ１０と、ウエハ２の識別情報を認識する識別手段３を有する識別ステージ３０とを平面視円弧状に並べて一列に設置するとともに、各ステージの半径方向外方及び上方を開放状態とし、その半径方向内方位置に、旋回アーム４０の先端に１ウエハを一枚ずつ支持して各ステージ間を移送する移送手段４を設けた。 （もっと読む）

【課題】冷却水として純水を使用せずに工業用水の使用により電源装置内部を効果的に冷却して、電源供給を安定的に行うことができる高周波電源装置を提供する。
【解決手段】交流電源を直流に変換するＡＣ／ＤＣ変換部と、ＡＣ／ＤＣ変換部で変換された直流を平滑化するフィルター部と、フィルター部で平滑化された直流電圧を高周波電圧に変換するＤＣ／ＡＣ変換部と、ＤＣ／ＡＣ変換部で変換された高周波電圧を整合する負荷マッチング部とを筺体内に備えた高周波電源装置であって、ＡＣ／ＤＣ変換部からＤＣ／ＡＣ変換部の間を接続するブスバー６に、熱伝導性絶縁接着シート６１を介して銅板６３と冷却配管６４とからなる冷却板６２が接合されている。 （もっと読む）