【課題】２個の電流源の相対誤差に起因する測定誤差を打ち消すことを可能とする３線式抵抗測定装置を実現する。
【解決手段】被測定抵抗１０の一端に第１配線を介して第１電流源４１が接続され、被測定抵抗の他端に第２配線を介して第２電流源４２が接続され、被測定抵抗１０の他端が第３配線を介して基準電位に接続され、第２電流源４２の電流回路に基準抵抗５０が挿入され、第１電流源４１、第２電流源４２の出力電位差を示す第１電圧信号と、基準抵抗の端子間の電圧降下を示す第２電圧信号に基づいて被測定抵抗１０の値を演算する信号処理部２００を備える抵抗測定装置において、第１電流源４１、第２電流源４２の第１配線および第２配線への接続を切り替える電流切り替え手段１００を備え、信号処理部２００は、切り替え前の第１電圧信号および第２電圧信号と、切り替え後の第１電圧信号および第２電圧信号に基づいて被測定抵抗の値を演算する。 （もっと読む）