【課題】小型化、液密構造に適し、温度ドリフト補償に優れ、検出信号の伝送路のインピーダンス変化の影響を受けにくい回転位置検出装置を備えたサーボモータ装置を提供する。
【解決手段】サーボモータ１と共に液密にケーシング４内に収納されたセンサ１０は、サーボモータ回転子から生じる漏洩磁束を検知する複数のコイルを備え、各コイルに対応して高透磁率磁性体がそれぞれ近接配置され、該高透磁率磁性体においては回転位置に対応する漏洩磁束の変化に応じて磁気飽和が生ぜしめられる。各コイルは磁気飽和の変化特性に応じて、回転位置に対応した振幅関数を持つ交流信号を出力する。正弦関数的振幅特性の２つのコイルは漏洩磁束の変化に対して互いに逆相となるように配置され、余弦関数的振幅特性の別の２つのコイルも同様に互いに逆相となるように配置される。この出力交流信号を合成して、電気的位相によって回転位置を示す検出信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】一つ先端エラーおよび変動を検出して、修正することによって、２つの部品の間のクリアランスの正確な測定を提供する複数先端クリアランス測定システムを提供することにある。
【解決手段】複数先端クリアランス測定システム（１２）が開示されている。本複数先端クリアランス測定システム（１２）は、第１の対象物（２４）に配置され、該センサが第２の対象物（２６）に対応する検出されたパラメータを表示する信号を生成するように構成される複数のプローブ先端部（６２、６４、６６、６８）を含むセンサ（２８）と、異常値プローブ先端部を検出して、それぞれの異常値プローブ先端部のゲインまたはオフセットを調整するためにプローブ先端部（６２、６４、６６、６８）から検出されたパラメータのサブセットから信号を評価し、該信号に基づき第１の対象物（２４）と第２の対象物（２６）との間のクリアランスを測定するように構成される処理装置（３４）とを含む。 （もっと読む）

【課題】高温・高圧・放射線被爆環境下でメンテナンスフリー且つ長寿命な位置計測装置を提供する。
【解決手段】回転することによって位置計測対象物を移動させる回転軸５に取り付けられた回転磁心４と、隔壁１を介して回転軸５の近傍の固定部に設けられ回転軸５の所定の回転位置において回転磁心４とともに磁気回路を形成する固定側磁心３と、固定側磁心３に巻装された検出コイル２と、検出コイル２に誘起される電圧の変化する回数を計数する信号処理部６とを備えている構成とする。 （もっと読む）

本発明は、移動ストリップ２の少なくとも１層の厚さを測定する装置１と方法とに関するものである。該測定装置１はトランスミッタ本体４を含み、トランスミッタ本体は、トランスミッタ・ハウジング３内を軸方向に可動であり、ガス・クッション２を介してストリップ層に載置される、ハウジング３から突出したセンサヘッド５と、トランスミッタ・ハウジング３内に画成されたチャンバ７内へ延びる上部６とを有している。トランスミッタ・ハウジング３は、ガス供給用の少なくとも１つのポート９を備え、このガスの一部は前記ガス・クッションを形成し、また一部はチャンバ７内へ流入する。この測定装置の特徴は、トランスミッタ・ハウジング３が、チャンバ７からガスを排出するためのリストリクタ１０を備えていることである。また、この測定方法は、測定装置１によりストリップ層２を測定する段階を含み、該リストリクタ１０は、ストリップ層２に対するガス・クッションの圧力が０−６５ｇ／ｃｍ２重量等量となるように調節される。
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