【課題】渦電流式変位計測器を、非磁性体であって互いに異なる既知の厚みを有する複数の基準板を用いて較正を行うに際し、基準板の入れ替え作業を省略して作業者の手間を省き、較正のための計測を自動的に行うことを可能とする技術を提案する。
【解決手段】渦電流式変位計測器のプローブ１２を保持するプローブ支持部１１と、ターゲット３７を前記プローブ１２のプローブヘッド１２ａに対して進退移動可能に支持するターゲット支持部３０と、複数の基準板Ｆ・Ｆ・・・を一体的に保持し、これらの基準板Ｆ・Ｆ・・・をプローブヘッド１２ａとターゲット３７との間の計測位置に順次移動させる機能を備えた回転盤４０（基準板保持部材）と、該回転盤４０をプローブヘッド１２ａに対して進退移動可能に支持する保持部材支持部２０と、回転盤４０、保持部材支持部２０、及びターゲット支持部３０の駆動を制御する駆動制御部６６とを、較正用治具１０に備えた。 （もっと読む）

【課題】 ディスク外径を高精度かつ廉価に計測することができる新規な方法及び装置を提供する。
【解決手段】 外径公知の参照ディスク１１と外径未知の計測ディスク１２とを準備し、参照ディスク１１の外周部と静電容量センサとで形成される基準空間の静電容量Ｃｒ及び計測ディスク１２の外周部と静電容量センサとで形成される計測空間の静電容量Ｃｍを比較し、それらの相対的な大きさ及び参照ディスク１１の外径Ｄｒに基づき、計測ディスク１２の外径Ｄｍを計測する。 （もっと読む）