本発明は、試料特に眼の干渉測定のための装置に関し、その装置は試料に入射する測定ビームが通過する第１の測定ビーム経路と、干渉のために測定ビームに適用される参照ビームが通過する第１の参照ビーム経路とを含む干渉計装置を備える。干渉計装置は第２の測定ビーム経路および／または第２の参照ビーム経路を備え、これら経路によって、それらの光波長は第１のビーム経路の１つとは異なる。この波長差は、試料の深さ方向に離間して配置される２つの測定領域の距離に従って選択される。
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【課題】
位相ノイズを低減した高精度の位相検出、及び参照光を通せない非常に狭帯域の光ＢＰＦ等の位相検出を可能にした光干渉計型位相検出装置を提供する。
【解決手段】
測定干渉信号を出力する受光器８と、第１の参照干渉信号を出力する受光器９と、第２の参照干渉信号を出力する受光器１８と、第２の参照干渉信号に対する測定干渉信号の位相（測定位相）を検出する位相検出手段１１と、第２の参照干渉信号に対する第１の参照干渉信号の位相（参照位相）を検出する位相検出手段１２と、被測定物を通った後の測定光と参照光とに基づいて被測定物の位相特性を求める第１のモード又は被測定物を通った後の測定光のみに基づいて被測定物の位相特性を求める第２のモードを指定する測定モード指定信号を受けて、第１のモードのときは測定位相から参照位相を減算して位相特性を求め、第２のモードのときは測定位相から位相特性を求める信号処理手段１３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】被測定光学素子を移動することなく複数の波長による干渉測定が可能な多波長干渉計を得る。
【解決手段】異なる波長の光を射出する複数のレーザ光源１１ａ乃至１１ｃと、各レーザ光源１１ａ乃至１１ｃ射出されたレーザ光を干渉測定部方向に反射するミラーおよびハーフミラーと、前記各光源と前記干渉部との間に配置された、前記各のレーザ光源１１ａ乃至１１ｃから射出されたレーザ光を択一的に透過させて前記干渉測定部に入射させる光源切り換え機構１７を備えた。 （もっと読む）