【課題】計測対象が電子線照射によってシュリンクする場合であっても、パターン輪郭や寸法を高精度に求めることのできる計測方法を提供する。
【解決手段】下地の上にパターンが形成された試料に電子線を照射して計測する方法において、パターンのＳＥＭ画像や輪郭（Ｓ２０１、Ｓ２０２）、試料のパターン部および下地部の材料パラメータ（Ｓ２０３）（Ｓ２０４）、電子線を試料に照射する際のビーム条件（Ｓ２０５）を準備し、これらを用いて、電子線を照射する前のパターン形状、あるいは寸法を算出する（Ｓ２０６）。 （もっと読む）

【課題】 高炉内にセンサを挿入することなく、炉外から、コークスと焼結鉱との層境界を連続的かつ安定的に、精度よく検出し、各層の厚みと降下速度を測定する。
【解決手段】 炉外上下方向に一定距離だけ離して２台の境界検出器１及び４を設置し、それぞれの検出器はマイクロ波送信機１０を有し、炉を構成する耐火物に向かってマイクロ波を送信し、挿入物２３の表面で反射或いは散乱したマイクロ波を、結像系１３を通じて結像させ、結像面内に並列に配置或いは面内を走査する機構を有するマイクロ波検出器アレイ１４及び距離識別・画像生成処理部１５で検出して画像化し、該画像を画像信号処理手段２で処理することによって層状の装入物境界を検出し、２台の検出結果の時系列データから装入物の降下速度と各層厚を測定することを特徴とする高炉炉内装入物の挙動検出装置である。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム装置で用いられる偏向校正を高精度で行う電子ビーム校正技術を提供する。
【解決手段】電子ビームの走査方向に対して格子の方向を水平方向になるように一次元回折格子を配置させ、かつ格子のピッチ寸法に一致するように電子ビーム走査を垂直方向に移動させながら水平に走査する。得られた二次電子信号像から、モアレ干渉縞の有無で電子ビームの走査に対する垂直方向の偏向校正が正しく行われているか判定できる。 （もっと読む）

【課題】電磁波を利用した高炉内原料レベル測定装置の校正を、高炉に装着したたまの状態で簡単に実施できるようにすること。
【解決手段】電磁波を発振部１から伝播管２を通して高炉Ｂ内に放射し、高炉内原料Ｃ上面からの反射波を受信することによって発振部１から高炉内原料Ｃ上面までの距離を測定する高炉内原料レベル測定装置Ａにおいて、伝播管２から高炉Ｂの途中の箇所であって、発振部１から測定不能距離Ｌ以上離れた位置に校正用反射板３ａを挿入・退避可能な機構を設ける。通常のレベル測定時には校正用反射板３ａを退避させておき、校正時に校正用反射板３ａを伝播管２から高炉Ｂの途中の箇所に挿入させて校正処理を行う。校正用反射板３ａとしては、スライド式ゲート弁３のゲート板を用いる。スライド式ゲート弁３の開閉操作は遠隔操作で行う。 （もっと読む）