【課題】 シート状物の厚みを精度よく測定するシート状物厚さ測定装置を提供する。
【解決手段】 所定ピッチＰをおいて環状に配備した複数個のＸ線管８からなるＸ線管ユニット２と、Ｘ線管８に対向配備した複数個のＸ線検出器９を環状に配備してなるＸ線検出ユニット４とをシート状物１を挟んで対向した状態で同期をとりながら回転させ、シート状物１の厚みを測定するとともに、シート状物上から外れた軌道では較正用の基準体６の厚みを測定する。基準体６の厚みは、補正演算処理部１２で基準値と比較されて補正量が求められ、この補正量を実測により得られたシート状物１の厚みに反映させて補正する。 （もっと読む）