【課題】 簡素な構成により高感度に各種物理量を測定する全く新しい技術思想に基づくセンサ装置を実現する。
【解決手段】 基体１上に離間して設けられた一対の電極２，３と、電極２，３間に電圧又は電流を印加する電源４と、電極２，３間において、基体１上で当該電極２，３間を林立する複数の棒状導電体５からなる棒状導電体群６と、棒状導電体群６の近傍に設置されており、棒状導電体５を変形させ、棒状導電体５間の距離を変化させることを補助する変形補助機構７とからセンサ装置を構成する。 （もっと読む）