【課題】組み立てが容易で、荷重が付与された際にもテーブル板を正確な位置に維持することができる位置決めテーブルを提供すること。
【解決手段】基台の上方に下記条件を満足する三以上の支持ユニットを介してテーブル板を支持する位置決めテーブル：(１)各々の支持ユニットは、基台表面にスライド可能に設置された昇降装置、および昇降装置とテーブル板とを接続する接続具からなる；(２)昇降装置は、基台表面に沿って延びるレール２４、レールに支持された第一のスライド部材２１及び第二のスライド部材２２、第二のスライド部材の上方に傾斜配置された第一のリニアガイド３１を介して支持され、第一のスライド部材の側面に第二のリニアガイド３２を介して昇降可能に接続された昇降部材２３、および各スライド部材を上記レール上でスライドさせて保持する駆動手段２５からなる；(３)接続具は、球面軸受３４と球面軸受を保持する第三のリニアガイド３３とからなる。 （もっと読む）

【課題】直進機能を有する手動ステージに回転機能及び屈析機能を結合させたあおり旋回機能付き手動ステージ及び精密機器を回転及び屈析させるあおり旋回ステージを提供する。
【解決手段】手動ステージ２００のベース板２０６を支持する支持板５と、球状の球体８とを有する屈析部２と、球体８を側方から屈析自在に保持する球体保持部９と、球体８と共に回転する回転板とを有する回転部３と、球体８を下方から支持する球体支持部と、環状の目盛２１が取付けられて回転板を回転自在に支持する円筒状の回転板受け部１１と、土台に固定されるベース部１５とを有する台座部４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ステージの傾斜を、対象物が載せられる当該ステージの上面での全方位位置で適宜な傾斜角に調整することを可能とし、更に、これを簡便な構造で実現する。
【解決手段】操作レバー８をステージ２の試料台２ａでの適宜な方位位置まで旋回させると、操作レバー８の旋回に伴って可動支持部材７が摺動回転する（この回転に際して台座１２も同時に回転する。）とともに、第２球面軸受４の介在により可動節１１が旋回する。しかる後、操作レバー８を適宜な方向及び量だけ回転させると可動節１１が適宜な方向及び量だけ進退し、この進退に伴って第２球面軸受４においては第２凸部４ａと第２凹部４ｂとの間で、また、第１球面軸受３においては第１凸部３ａと第１凹部３ｂとの間で相対運動が生じてステージ２が適宜な量だけ傾斜する、即ち、当該ステージ２の試料台２ａが適宜な量だけ傾斜する。 （もっと読む）

【課題】回動自在にテーブル上に載置された被載置物の回転方向の位置決めを精度良く行うことができる回動位置決め装置を提供する。
【解決手段】本発明の回動位置決め装置Ａは、被載置物ｂを載置すると共に、回動自在に支持するテーブル１と、このテーブル１の側方に設けられた側方部材２と、この側方部材２に当接し、テーブル１を回動させる回動部材３と、この回動部材３の端部に側方部材２を押し付けるように付勢する付勢手段４とを備えているものである。 （もっと読む）

【課題】製作が容易で高精度な回転位置決めテーブル装置を提供すること。
【解決手段】回転テーブル１４と、回転テーブル１４を回転自在に支持するエアベアリング１６と磁気吸引部１８、２０、２２と、回転テーブル１４端部に回転力を付与するローラフォロア３２と、ローラフォロア３２を回転駆動するリニアアクチュエータ３０とを備え、エアベアリング１６により回転テーブル１４の一部の領域を浮上させ、回転テーブル１４の他の領域を磁気吸引部１８、２０、２２で垂直方向に吸引し、回転テーブル１４の片持ちによるアンバランス成分と搭載物の重力方向の負荷のバランスをとる。 （もっと読む）

【課題】角度調整テーブル装置のテーブルの回転角度と駆動側の直線駆動量の関係を最適化して、該関係が線形的に変化する角度調整テーブル装置を提供する。
【解決手段】ベース１上に回転自在に設けたテーブル４を所定の回転方向に位置決めする位置決め機構を備えたテーブル装置において、位置決め機構は、テーブルの回転半径方向と直交して延出した直線駆動手段７と、直線駆動手段による直線運動を円運動に変換しテーブルに伝達する連結部とを具備し、連結部は、直線駆動手段に固定されるブラケット１１に第１の連結点１２ａで旋回可能に連結された第１の直線案内１４ａと、円運動するテーブル４と第２の連結点１２ｂで旋回可能に連結された第２の直線案内１４ｂと、第１及び第２の直線案内に摺動可能に架け渡され、直線駆動手段と反対側を旋回中心とする連結アーム２０を有し、直線駆動手段による直線駆動によってテーブルが所定の回転方向に位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】精度向上を図ることができる傾斜ステージを提供するものである。
【解決手段】傾斜ステージＡは、円弧状に形成されたアリ条部１ａを有するベース１と、このベース１に対向して設けられると共に、アリ条部１ａに嵌合するアリ溝２ａを有するプレート２と、このプレート２をアリ条部１ａに沿って移動させる移動手段６と、アリ条部１ａに嵌合して摺動するアリ溝２ａは、対向する面２ａ’、２ａ”を有し、この対向する面２ａ’、２ａ”の内、少なくとも、一方の面２ａ’は、がたつきを有してプレート２に取り付けられているものである。 （もっと読む）

【課題】精度向上と薄型化の両面を図ることができる傾斜ステージを提供するものである。
【解決手段】傾斜ステージＡは、略球面状乃至略円錐状をした受座１ａを有するベース１と、裏面に前記略球面状乃至略円錐状をした受座１ａに当接する略球面状乃至略円錐状の凸部２ａを有するプレート２と、ベース１の受座１ａに凸部２ａが当接するようにベース１とプレート２が近づくように付勢する付勢手段３と、ベース１に支持され、プレート２の裏面の第１の部位２１に当接して凸部２ａを支点としてプレート２を揺動させる第１の揺動手段４と、ベース１に支持され、プレート２の裏面の第２の部位２２に当接して凸部２ａを支点としてプレート２を揺動させる第２の揺動手段５と、平面視で第１の部位２１、プレート２の揺動中心Ｏ、第２の部位２２がなす角度が９０度である。 （もっと読む）