【課題】可動部の温度を高精度に制御し得る駆動ステージ装置を提供する。
【解決手段】駆動ステージ装置１は、ベースプレート２と、ベースプレート２の上面を移動するステージ３と、ステージ３を駆動する駆動部４と、ベースプレート２及びステージ３の間で熱を移動させる伝熱手段５と、ステージ３を温度制御するための制御手段６とを備えている。制御手段６は、決定した使用温度範囲において熱輻射によって移動する熱を求めるための熱輻射関数に熱伝導関数が近似するように、実測に基づいて予め求めた熱伝導関数の比例係数を用いるため、この比例係数を含む熱伝導関数は熱輻射関数と近似されるものとなる。これにより、絶対温度の４乗に比例する熱輻射関数が温度に比例する熱伝導関数に置き換えられ、可動部の温度を高精度で制御することができる。 （もっと読む）