Fターム[2F078EA17]の内容
Fターム[2F078EA17]に分類される特許
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検査装置
【課題】サイズの異なる複数種類の検査対象基板を、段取り替え無しに載置でき、載置後は自動で精度良く検査可能する手段の提供。
【解決手段】検査対象基板Wを保持するものであって、サイズの異なる検査対象基板Wをそれぞれ収容する複数の収容凹部31、32、33を有する基板検査用保持板3と、前記基板検査用保持板3に保持された検査対象基板の検査を行う検査機器4と、前記基板検査用保持板3に保持された検査対象基板Wの検査対象面と前記検査機器4との距離を調節する距離調節機構6と、前記基板検査用保持板3に保持された検査対象基板Wのサイズを検出するサイズ検出機構5を備えている。
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防振装置および変位検出装置
【課題】 機体に取り付けられた機器が受ける振動を緩衝させる防振装置に関し、能動的に、より広い周波数領域の振動を抑制させる。
【解決手段】 第1の部材20の内部に第1の部材20に対して変位可能に第2の部材31、41が設けられ第1の部材20から第2の部材31、41にかかる振動を緩衝する防振装置1において、緩衝手段30、40が第1の部材20に対する第2の部材31、41の振動を吸収する。複数の1次元変位センサ44が互いに非平行に第1の部材20と第2の部材31、41との間に取り付けられ第1の部材20に対する第2の部材31、41の変位に応じた1次元変位量を出力する。算出手段が1次元変位センサ44の出力に基づいて第1の部材20に対する第2の部材31、41の変位を算出する。駆動手段81が算出手段によって算出された第2の部材の変位に基づいてその変位量を減少させる方向に第1の部材20あるいは第2の部材31、41を駆動する。
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