【課題】衝撃印加に強く、信頼性も高い回転率センサおよび多軸検出型回転率センサを提供することを目的とする。
【解決手段】検知素子と回路部が収納され、かつ、検知素子と回路部とが電気的に接続されると同時に、回路部への入出力信号を伝達するための配線が施されたセラミックス製の気密容器２と、この気密容器２の外側表面の一平面に連接され、気密容器２に施された配線と電気的に接続するためのパッド電極３と、さらに気密容器２に貼着されたシリコンゴム４とを備えた構成からなる。 （もっと読む）