【課題】任意のサイズ、形状の磁性体の透磁率を計測でき、生産プロセスライン上のウエハ等において、切断や加工を施すことなく、プローブをスキャンすることにより、透磁率のウエハ内の分布を評価可能である磁性体の透磁率計測装置および磁性体の透磁率計測方法を提供する。
【解決手段】誘電体もしくは絶縁体を導体と地導体によって挟んだ構造を有し、その導体と地導体あるいは導体に磁性体を絶縁体を介して近接配置する。磁界印加部により導体から磁性体に磁界を印加し、磁界印加部による磁界印加の有無による信号の振幅情報あるいは複素情報の差分を信号計測器により測定する。信号計測器で測定された信号の差分から、磁性体の透磁率を最適化処理により求める。磁性体に対してプローブをスキャンすることによりウエハ内における透磁率の分布を評価可能である。 （もっと読む）

【課題】任意のサイズ、形状の磁性体の透磁率を計測でき、生産プロセスライン上のウエハ等において、切断や加工を施すことなく、透磁率を直接評価可能であり、生産ラインや材料開発の現場において、大きく生産性を向上させうる磁性体の透磁率計測装置および磁性体の透磁率計測方法を提供する。
【解決手段】誘電体もしくは絶縁体を導体と地導体によって挟んだ構造を有し、その導体と地導体あるいは導体に磁性体を電気的に接触させる。磁界印加部により導体から磁性体に磁界を印加し、磁界印加部による磁界印加の有無による信号の振幅情報あるいは複素情報の差分を信号計測器により測定する。信号計測器で測定された信号の差分から、磁性体の透磁率を最適化処理により求める。 （もっと読む）

【課題】センサに対し測定対象が相対的に移動する場合においても、被測定磁性体の局所的な複素磁気特性および結晶粒径を、高精度に安定して測定できる技術を提供する。
【解決手段】断面コの字形強磁性体コアに交流励磁用コイルと検出用コイルとを巻回し、前記断面コの字形コアの脚部先端を被測定磁性体に近接対向させて該被測定磁性体の複素磁気特性を測定する磁気特性測定装置であって、前記脚部の並び方向に相対的に移動する前記被測定磁性体の移動速度ｖ、および前記交流励磁コイルへの印加周波数ｆとから、前記脚部間隔Ａが下記（１）式を満足することを特徴とする磁性体の複素磁気特性測定装置。
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