【課題】プラズマを発生させるようなＱ値の高い負荷が接続され、パルス幅変調において高周波信号が出力される場合、信号レベルの減衰が遅くとも、サンプルホールド信号を発生させ、高周波信号の信号レベルをホールドするパルスディテクタを提供する。
【解決手段】本発明は、高周波信号の電圧の包絡波形の電圧レベル信号を出力する電圧レベル検出部と、電流の包絡波形の電流レベル信号を出力する電流レベル検出部と、電圧と電流の位相差を求める位相差検出部と、包絡波形が一端途切れ、その後出力される包絡波形の立上りを、包絡波形の信号レベルと設定された閾値とを比較して検出し、立上り信号を出力する入力検出部と、立上り信号の入力後にサンプルホールド信号を出力する制御部と、電圧レベル信号、電流レベル信号及び位相差信号の信号レベルをホールドするサンプルホールド回路を有し、閾値は、直前の包絡波形の信号レベルの設定された割合の数値である。 （もっと読む）