【課題】電子ビーム電流又はＸ線強度安定性において、高強度のＸ線を発生するＸ線発生装置を得る。
【解決手段】電子銃及び前記電子銃電源は、電子を放出するカソードと、カソードに対して高電位で電子を加速するアノードと、アノードに電圧を印加する電源と、カソードから熱電子を放出させるカソード加熱手段とを含む二極管であり、電子銃から出射される電子ビーム電流又は、電子ビームにより発生したＸ線の強度を測定し測定値を得るモニターと、モニターで測定した測定値に基づいて電子銃電源を制御するコントローラとを備え、コントローラにより、発生する電子ビームの単位時間あたりの平均電流を制御して、Ｘ線強度を一定にするようにした。 （もっと読む）