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Fターム[2H043AA01]の内容

光学要素の取付・調整 (3,938) | 光学要素の調節 (588) | 調節の目的 (218)

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【課題】光学素子の調整量を抑制しながら良好な光学特性を実現可能な露光装置を提供する。
【解決手段】原版のパターンを基板に露光する露光装置であって、光学素子を含み、前記原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、前記光学素子の位置、姿勢及び形状の少なくとも1つを調整する調整部と、前記光学素子の調整量の1次関数で表される前記投影光学系の1次光学特性値の上限である第1のダミー変数、前記調整量の上限である第2のダミー変数、及び、前記調整量の2次関数で表される前記投影光学系の2次光学特性値の上限である第3のダミー変数によって表される目的関数の値が最小となる場合の前記光学素子の調整量を算出し、算出された前記調整量に基づいて前記調整部を制御する制御部とを有する。 (もっと読む)


本体、レンズバレル、並びに、レンズバレルおよび本体に動作可能に結合されたバレル位置調整機構を含む撮影装置。バレル位置調整機構は、レンズバレルを、レンズバレルが本体内にある収縮した状態と、レンズバレルが本体から突き出て伸長した状態との間で動かすことができる。いくつかの実施形態では、バレル位置調整機構は、概ね本体の方へ向かう方向へ押されるレンズバレルに応じて、レンズバレルを収縮した状態と伸長した状態との間で動かす純粋な機械的構成要素である。その他の実施形態では、バレル位置調整機構は、レンズバレルを伸長させたり収縮させたりするのを助ける電気モーターを含む。いくつかの実施形態では、レンズバレルの伸長/収縮は、ソフトウェアによって引き起こされる。
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光学的な情報がビーム形成装置からの光ビームの形で少なくとも1つの光学素子を介して面に到達し、仮想的な画像を面の手前、奥または内部において認識することができる、例えば自動車において仮想的な画像を用いて光学的な情報を表示する装置においては、画像形成装置(1,2,3)と面(WS)との間のビーム路においてビームを制御する光学素子(4)が配置されており、またビームを制御する光学素子(4)が調節装置(5)を用いて位置に関して可変に配置されている。
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