【課題】基板に帯電防止処理を行う装置において、継続して使用しても静電気の帯電防止効率を低下させず、パーティクルを発生させない。
【解決手段】帯電防止装置２４には、ガラス基板Ｇの裏面に紫外線を照射する照射部１２０が設けられている。ガス供給部１１０とガス排出部１１１は照射部１２０を挟んで配置されている。ガス供給部１１０へ酸素含有ガスを供給するガス供給経路Ｍと、ガス排出部１１１からガスを排出するガス排出経路Ｎとの間には、戻し経路Ｒが接続されている。ガス排出経路Ｎを流れるガスは、その一部が戻し経路Ｒを流れて、ガス供給経路Ｍに戻される。ガス排出経路Ｎに排出されるガスのオゾン濃度は、オゾンモニター１２４によって測定され、その結果に基づいて、制御部１２５は、戻し経路Ｒに設けられたファン１２１の回転数を制御する。 （もっと読む）

【課題】 感光層と支持体とを積層してなる感光フィルムを感光層の側を基板上に貼り付けて構成した板状積層体における感光層に所定のパターンを露光する際に、支持体が剥離された板状積層体における感光層の酸素との反応をできるだけ小さくする。
【解決手段】 露光装置１内に、感光材料１５０から支持体を剥離するための剥離装置１８０を設け、剥離装置１８０により感光材料１５０から支持体を剥離した後、直ちにスキャナ１６２により、感光材料１５０にパターンの露光を行う。 （もっと読む）