【課題】 上流側での露光処理に影響を与えることなく、感光材料の表裏を反転させるべく設けられたリバース機構を通過する感光材料の移動方向を方向変換させることができ、長尺な感光材料であっても全長に亘って適正に露光処理することのできる露光処理装置を提供する。
【解決手段】 一端を先頭にして搬送されてくる露光処理中の感光材料を受け取って他端を先頭にして感光材料を送り出すリバース機構と、リバース機構を通過した感光材料の移動方向を方向変換させる方向変換案内面を有するガイド手段とを備えた露光処理装置において、ガイド手段は、方向変換された感光材料の移動方向を少なくとも一回以上方向変換させるよう、感光材料を方向変換させる部位に方向変換案内面を更に有し、方向変換案内面は、それぞれの上流側の感光材料の移動軌跡を延長した仮想線に交差するように形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、サブトラクティブ法に於いて、ドライフィルムレジストを用いることで微細な金属パターンを形成できる金属パターンの形成方法を提供するものである。
【解決手段】基板上にドライフィルムレジストを貼り付け（ａ）てから、エッチング（ｄ）を行うまでの間に、ドライフィルムレジストの薄膜化処理（Ｔ１〜Ｔ４）を行う金属パターンの形成方法。 （もっと読む）