【課題】コア部材の体積を小さくすることにより熱容量を小さくして放熱性を向上させることが可能な吸着パッドのコア部材を提供する。
【解決手段】コア部材１２は、ワーク１００に当接する吸着面を有し、前記吸着面側から前記吸着面と対向する装着面側へ向けて吸引路１５が設けられるようにした。この吸引路は、前記装着面側においては、開口して流体吸引口１６を形成し、また、この吸引路は、前記吸着面側においては、底部を貫通して前記吸着面に開口する吸引孔によって外部と連通しており、前記流体吸引口を介して前記吸引孔から流体が通過するようにした。更に、前記吸引路の内周面は、前記流体吸引口側へ行くに従って徐々に拡径する拡径部１９を有するようにした。 （もっと読む）

【課題】搬送ハンドからウエハーへの直接的・間接的な伝熱量を最小化してウエハーの高温化を防止するスピナーシステムの搬送ロボットハンドを提供する。
【解決手段】搬送対象のウエハーを真空で吸着固定する搬送ロボットであって、搬送ハンドに備えられる‘Ｕ’字形の吸着部上の分岐する両側端部と分岐開始部の中央部にそれぞれ一つずつ三角形の配置をなすように接触リング部が形成され、前記接触リング部の中心に、真空吸入圧が印加される真空ホールが形成される。よって、接触リング部によるウエハーの接触面積を減らし、その突出高を増大させることによって搬送ハンドから搬送されるウエハーへの直接的・間接的な伝熱量を減少させ、また搬送ハンドがウエハーを下ろしてから帰還するかホームポジションで待機する時点で冷却されて、以後に搬送されるウエハーへの伝熱量を減少させることができる。 （もっと読む）

【課題】ウエーハの裏面に装着された接着フィルムが付着することなく搬送することができるウエーハの搬送装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルに載置されたウエーハを吸引保持する保持パッドを備えたウエーハの搬送装置であって、保持パッド２は、下面に開口する複数の吸引孔３６を備えた保持プレート３と、保持プレートの上面に下面が積層され保持プレートとの間に複数の吸引孔と連通する吸引通路形成する吸引通路形成プレート４と、吸引通路形成プレートの上面に下面が積層され吸引通路形成プレートとの間に冷却室５０を形成する冷却室形成プレート５とを具備しており、保持パッド２の吸引通路４１が吸引手段に連通され、冷却室５０が冷却媒体供給手段に連通されている。 （もっと読む）

【課題】パッド部材と蛇腹部材との間の密着性を安定に維持でき、パッド部材の交換も可能な真空吸着パッドを提供する。
【解決手段】本発明に係る真空吸着パッド１１は、内部に排気通路１２が形成されたベース部材１３と、ベース部材１３と一体的に取り付けられ内部が排気通路１３と連通する蛇腹部材１４と、蛇腹部材１４の先端１４ｂに取り付けられ吸着孔１５ａを有するパッド部材１５とを備え、パッド部材１５は、蛇腹部材１４の先端１４ｂに嵌入され内部に吸着孔１５ａが形成された嵌入軸部１５ｂを有するとともに、蛇腹部材１４の先端１４ｂには、嵌入軸部１５ｂとの間の密着状態を保持する環状弾性部材１７が装着されている。 （もっと読む）

【課題】被搬送物を着脱自在に確実にかつ安定して吸着して保持する保持装置を提供すること。
【解決手段】基部に配置されて第１通路１１１Ａを有する継手部１１１と、第２通路１１３Ａを有し第１通路１１１Ａと第２通路１１３Ａを通じて吸引することで被搬送物Ｄを保持するノズル先端部１１３と、ノズル先端部１１３と継手部１１１を接続する伸縮自在な胴体部１１４であり、第２通路１１３Ａと第１通路１１１Ａとを連絡する胴体部１１４と、ノズル先端部１１３と継手部１１１の間に配置されてノズル先端部１１３を継手部１１１から離れる方向に沿って付勢するための付勢部材と、基部に対して固定されている受け部１１６でありノズル先端部１１３が被搬送物Ｄを吸着する時にノズル先端部１１３を付勢部材１１５の力に抗してノズル先端部１１３の軸方向に移動する際にノズル先端部１１３を案内する案内孔を有する受け部１１６を備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ベンチュリ効果を使用して、被加工部材を保持し、保持力の方向及び／又はそれと垂直な方向に被加工部材を搬送する装置及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 上記目的を達成するため、被加工部材の表面の開口部に係合された保持プラグと、上記被加工部材の保持サイドの平面に面し、上記表面に平行な平面である、上記保持プラグを囲む保持面と、上記保持プラグの領域に配置され、さらに上記被加工部材の表面及び平坦かつ平行の領域部分間に形成されたギャップを介してガス流れを発生させるためのスペースにガス若しくはガス混合物を注入するためのガス供給とを設ける。
本発明によれば、装置と被加工部材との間でガス流れのベンチュリ効果を使用することにより、開口部を備える被加工部材をリフトし、保持し、そして搬送することができる。 （もっと読む）

【課題】 静電チャックと基板との間にトレーを介在させることなく、静電チャックに複数枚の基板を設置できる静電チャックを提供する。
【解決手段】 本発明の静電チャック１０は、そのチャック台１３の上面に、複数のチャック領域１６を備えている。各チャック領域１６は、チャック台１３の上面に複数突出形成された島状部１７の各々の上面に形成されている。各島状部１７の内部には、基板吸着用の双極型の電極層と、基板冷却用ガスの流出孔１８がそれぞれ設けられている。この構成により、複数の基板が載置されたトレー上面にカバーを取り付けて基板をトレー４０に保持する作業が不要となるので、作業性および生産性が向上し、基板の冷却効率も高められる。 （もっと読む）