【課題】流体制御弁を開閉する際に必要なトルクを軽減する。
【解決手段】流体制御弁１は、ノブ２０とピストン１０の間に、ノブ２０と連結するカム部材６が介在していること、（１）カム部材６のピストン１０と当接する当接端面６６に、凹形状のカム面６２が形成されていること、及び、ピストン１０のカム面６２と当接する部分に凸形状のピストン係合部１０１が形成されていること、又は、（２）カム部材６のピストン１０と当接する当接端面６６に、凸形状のカム面６２が形成されていること、及び、ピストン１０のカム面６２と当接する部分に凹形状のピストン係合部１０１が形成されていること、のいずれか一つの組み合わせを有することとする。 （もっと読む）

【課題】弁体の可動量が大きい場合であっても、弁体の移動方向において、小型化を図ることが可能なバルブ駆動機構を提供すること。
【解決手段】流体の流入部または流体の流出部を開閉する弁体１４の開閉動作を行うバルブ駆動機構５は、駆動用コイル２６と、駆動用コイル２６の一端面に対向配置される略平板状の駆動用磁石２７と、駆動用コイル２６が形成される基板２５と、Ｚ方向を軸方向として配置され基板２５を回動可能に支持する軸受部２８とを備えている。このバルブ駆動機構５は、駆動用磁石２７に対する軸受部２８を中心とした基板２５の揺動動作によって、弁体１４の開閉動作を行う。また、駆動用コイル２６の端部に接続されるリード線４７は、基板２５の側面２５ｅ、２５ｆに沿って引き回されている。 （もっと読む）

【課題】スティッキング現象の発生を抑制することで信頼性の高い動作を実現できるマイクロバルブを提供する。
【解決手段】半導体基板を用いて形成され、フレーム１１、弁体部１２、およびビーム１３を有する弁体基板１と、表面に開口する弁孔２１を有し、該弁孔２１に弁体部１２が一致するようにしてフレーム１１を表面に固定することにより弁体基板１が搭載される弁座基板２と、弁体基板１における弁座基板２側とは反対側の表面に搭載される第１基板３と、を具備する。弁体部１２と弁座基板２との互いの対向面の少なくとも一方の表面に、弁孔２１を弁体部１２で閉止した状態において流体リーク量が許容範囲に納まるように高さ設計され弁体部１２と弁座基板２とが固着するのを防止する複数の微小突起８を設けてある。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータ１６が縮む時に圧電素子に掛かる引っ張り力を緩和し、高温環境下に於いても安定した流量制御を行えるようにする。
【解決手段】 弁座８ｄを有するボディ８と、弁座８ｄに当離座する金属ダイヤフラム９と、ボディ８側に昇降自在に支持されたアクチュエータボックス１３と、ボディ８側に固定された割りベース１１と、アクチュエータボックス１３を下方へ押圧附勢して金属ダイヤフラム９を弁座８ｄへ当座させる皿バネ１５と、アクチュエータボックス１３内に収容され、電圧の印加により上方へ伸長してアクチュエータボックス１３を皿バネ１５の弾性力に抗して押し上げる圧電アクチュエータ１６とから成る圧電素子駆動式制御弁１に於いて、割りベース１１と圧電アクチュエータ１６との間に、圧電アクチュエータ１６の圧電素子に常時圧縮力を加える予圧機構２０を介設する。 （もっと読む）

【課題】 電気的に弁の操作を行うことができる弁装置において、電磁石を用いずに小型化を達成し、さらに弁の駆動機構の配設の自由度が高い構成を提供する。
【解決手段】 第２のワイヤアクチュエータ１０９に通電して収縮させると、係合ピン１０８が矢印１１１の方向の付勢力に抗して軸１１０の回りに回動し、係合ピン１０８がシリンダ１０４内から退避し、ヘッドピン１０６の大径部１０６ｂから外れる。係合ピン１０８の係合が解除されることにより、バネ１０５の付勢力によってヘッドピン１０６がＺ軸方向と逆方向へ移動し、その結果、ヘッドピン１０６の先端１０６ａがダイヤフラム１０２の凸部１０２ａの裏側を押す。これにより、ダイヤフラム１０２が下方へ凸となるように変形し、ダイヤフラム１０２中心部分の凸部１０２ａが流入ポート１０１ａに当接してそれを閉塞する。 （もっと読む）

界面動電現象を利用する装置に非ニュートン流体を使用して、当該装置を流れる電気浸透流を生成する。非ニュートン流体の非線形の粘度により、界面動電装置は、外部から印加される圧力及び電位等の異なる作動条件下において作動することができる。非ニュートン流体を用いる界面動電装置は、これらに限定されないが、界面動電ポンプ、フロー制御器、ダイアフラムバルブ、及び変位システムを含む多数の用途に使用することができる。
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【課題】 バルブの動作角度に応じて，前記制御感度を自動で適切に調節することが可能なバルブポジショナ，及びバルブ駆動装置を提供することにある。
【解決手段】
バルブの目標角度に対する検出角度の偏差に基づいてバルブ駆動用アクチュエータを制御する場合に，バルブの検出角度（実際の動作角度）に基づいて，バルブ駆動用アクチュエータの制御感度を調節することを特徴とするバルブポジショナとして構成される。
具体的には，Ａ／Ｄ変換器２ｂからのデジタル信号（検出信号）が変化した場合，動作感度算出回路９が記憶部８に記憶されている動作感度テーブルを参照し，バルブの検出角度に応じて判断回路３における不感帯の幅を設定する。 （もっと読む）