Fターム[3J102EA01]の内容
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静圧流体軸受装置
【課題】静圧軸受に加わる外乱負荷に対し、軸受剛性の維持に必要な厚さの流体膜が形成されるようにし、安定した軸受剛性を得ることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】静圧ポケットと、静圧ポケットに加圧流体を供給する流体供給手段と、流体供給手段から静圧ポケットに至る流体流路13と、流体流路13の途中に設けられ、ダイアフラム43と、弁座45と、ダイアフラム43と弁座45に囲われ、加圧流体が充填される絞り空間部44bを有し、ダイアフラム43の変形により、ダイアフラム43と弁座45との間の絞りの開度Dと、絞り空間部44bの体積が変動する可変絞り40と、静圧ポケットの圧力検出手段と、ダイアフラム43を変形させるダイアフラム変形手段50と、検知された圧力に応じて、ダイアフラム変形を作動させることにより、絞りの開度Dと絞り空間部44bの体積の変動を制御する制御手段を備えた。
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