【課題】 高温のウェハをより高速に冷却し，ウェハの温度をより早く安定させる。
【解決手段】 クーリング装置４３内に，ウェハＷを載置し冷却する冷却板６０と，冷却板６０と共に処理室Ｓを形成する蓋体６６を設ける。蓋体６６の内部には，恒温水が流通する管路６８を設け，蓋体６６を低温度に調節できるようにする。蓋体６６を昇降機構６７によって支持し，上下に移動可能にする。蓋体６６の内周は冷却板６０の外周よりも大きい。ウェハＷが冷却板６０上に載置され，冷却される際に，蓋体６６を下降させて，処理室Ｓを形成すると共に，低温の蓋体６０をウェハＷに近づけて，ウェハＷの冷却を促進させる。 （もっと読む）