【課題】深冷分離設備を運転しながら、深冷分離設備内に蓄積したＮＯｘ化合物を除去する方法を提供する。
【解決手段】熱交換器２と、気液分離槽３，４と、複数の流路５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３と、該流路の少なくとも一つに極性溶剤を注入するための流路１５とを具える深冷分離設備を用い、ＮＯｘ含有ガスを深冷分離設備１の熱交換器２に導入して冷却し、気液分離槽３，４でガス分と液分に分離して深冷分離設備１を運転しながら、前記流路の少なくとも一つに極性溶剤を注入して、深冷分離設備１内に蓄積したＮＯｘ化合物を除去する。 （もっと読む）