【課題】型と成形材料とを直接接触させることなく、型に形成されている成形パターンに対応したパターンを備えた成形体の成形方法等を提供する。
【解決手段】成形パターン１３が形成されている型１１のおもて面に、弾性を備え平板状に形成された成形用基板３を設置し、型１１に空気を通すことで成形用基板３を真空吸着して弾性変形させ、成形用基板３を型１１の成形パターン１３の形状に倣わせ、成形材料５を、成形用基板３のおもて面に供給し、成形材料５を硬化し、硬化した成形材料５とともに成形用基板３を型１１から離す。 （もっと読む）

【課題】コンタクト・リソグラフィ・プロセスで使用されるインプリンティングの方法を改善する必要がある。
【解決手段】 本発明は、モールド（１３６）を含むテンプレート（２１４）内に変形を形成することを含む、固化したインプリンティング材料からモールドを分離する方法を提供する。変形（Ｐ２）は、固化したインプリンティング材料とモールドの間の接着力よりも大きな戻り力を生み出すのに十分なものである。例えば変形は、ポンプ・システム（５４６）によって、モールドと、モールドとは反対側のテンプレートの側面との間に生み出される圧力差から生じ得る。このようにして、歪みが、上に固化したインプリンティング材料が配設された基板に接触するのに十分な大きさの、テンプレート内の起伏になることができる。 （もっと読む）

【課題】溶液処理による配向下地層表面の汚染が無く、エッチングに起因する基板の凹部底面の面状低下の影響が無く、高記録密度の磁気記録層を高品質に維持できる磁気記録媒体、及び簡便にパターン形成した磁気記録層を基板上に形成することができる磁気記録媒体の製造方法の提供。
【解決手段】樹脂層形成工程と、凹凸部を表面に有するモールド構造体を樹脂層表面に押し当てて凹凸部を樹脂層へ転写するインプリント工程と、樹脂層に形成された凹凸部における凹部底面に残存する樹脂膜をドライエッチングにより除去し、該凹部に対応する基板表面を露出させ凸部樹脂層のみを基板上に残す残膜除去工程と、凹部に対応する基板表面に凸部樹脂層の凸部高さの半分以下の厚みとなるように磁気記録層を形成する磁気記録層形成工程と、磁気記録層が付着した凸部樹脂層を除去する凸部樹脂層除去工程と含む磁気記録媒体の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】高精度な転写を維持しつつ、スループットを向上する微細構造転写装置および微細構造転写方法を提供する。
【解決手段】微細構造転写装置１０は、成形部１と、試料保持部材１１と、移動部材１２と、真空チャンバ１３と、排気部材１４とを備えている。成形部１は、表面に微細な凹凸が形成されたスタンパ６を含む。試料保持部材１１は、試料Ｓを保持する。移動部材１２は、試料保持部材１１から成形部１に試料Ｓを移動する。真空チャンバ１３は、成形部１と、試料保持部材１１と、移動部材１２とを内部に配置する。排気部材１４は、真空チャンバ１３の内部から雰囲気ガスを排出して真空チャンバ１３内の圧力を大気圧より下げる。 （もっと読む）

パターン（１２）をスタンプ（１０）から基板（２０）に転写するための装置（１）は、基板（２０）を支持するためのテーブル（２２）と、可撓なスタンプ（１０）と、該スタンプ（１０）の一部に圧力を加えるための圧力室（２７）を有する可動に配列される本体（２５）とを含むので、その部分は基板（２０）に向かって押し付けられ、基板（２０）と接触する。パターン転写プロセス中、本体（２５）は移動される。結果として、スタンプ（１０）の隣接する部分は、基板（２０）に向かって押し付けられ、基板（２０）と接触し、且つ、再び所定位置に移動して戻ることが許容されるプロセスを連続的に通る。このようにして、振動の導入なしに、スタンプ（１０）のパターン（１２）を基板（２０）に転写することが達成されるので、パターン（１２）の転写は極めて正確に行われる。
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