【課題】 Ｘ線元素分析を行う前段階においてＸ線分析に適した試料上の位置を評価・判別でき、分析者が高い信頼性を確保した分析を手戻り無く、短時間に行うことができる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線検出器を備えた荷電粒子線装置において、Ｘ線検出器１２（２５〜３０）のＸ線検出面と同軸上に第一の反射電子検出器１５がＸ線検出器１２と一体もしくは独立して配置され、Ｘ線検出器１２によりＸ線信号を、第一の反射電子検出器１５により反射電子信号を同時もしくは個別に検出する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程におけるプロセスマージン評価において、人手による作業負担を軽減すること。
【解決手段】ウェーハ上の観察対象の画像から得られた情報に基づいて前記観察対象の良否を自動的に判定し、判定結果を画面に表示するステップ４０２、観察対象の良否をユーザの指示に基づき修正することが必要な観察対象を判定結果の中から抽出して表示するステップ４０３、抽出して表示された観察対象に対する判定結果をユーザの指示に基づき修正する処理するステップ４０４を実行する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ検査において異物や欠陥を見つけた場合に、これら異物等の発生原因を探求するための電子顕微鏡を用いたウェハエッジ観察に関する好適な方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェハＷＦを保持する試料ステージ２４と、半導体ウェハに電子線を照射する電子光学系１８〜２２と、当該電子線の照射により得られる二次電子あるいは反射電子を検出する検出器１５，２３と、傾斜可能なカラム１６とを備え、半導体ウェハのエッジ上におけるレシピあるいは位置情報に従って定まる位置に、試料ステージ２４によってカラム８の撮像視野を移動し、半導体ウェハのエッジにカラム１６を傾斜させた状態で電子線を照射して走査電子顕微鏡画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】直交に配置された２つの荷電粒子ビーム鏡筒を有する装置において、試料ステージ移動の操作性向上を図る。
【解決手段】集束イオンビーム鏡筒４と、それと直交する電子ビーム鏡筒５と、試料１１を移動させる試料ステージ２と、試料１１を観察する光学顕微鏡１４と、集束イオンビーム像及び電子ビーム像並びに光学顕微鏡像を表示可能な表示部９，１０と、各像の座標系に合わせて試料ステージ２を移動させるステージ制御部３と、を有する複合荷電粒子ビーム装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】ＦＩＢ鏡筒とＳＥＭ鏡筒を直角に構成した装置において、観察している試料の位置関係を作業者が把握しやすいＦＩＢ像とＳＥＭ像を表示すること。
【解決手段】ＦＩＢ鏡筒１と、ＦＩＢ鏡筒１と略直角に配置されたＳＥＭ鏡筒２と、試料４を載置する試料ステージ３と、試料４から発生する二次粒子を検出する二次電子検出器５と、検出信号からＦＩＢ像とＳＥＭ像を形成する観察像形成部１５と、ＦＩＢ像内の試料の左右の向きとＳＥＭ像内の試料の左右の向きが同じであるＦＩＢ像とＳＥＭ像を表示する表示部９と、を有する複合荷電粒子ビーム装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】近年、走査電子顕微鏡などの荷電粒子線装置はユーザの裾野が広がっている。そのユーザの誰もが手動調整技術を習得することが求められているが、観察のためのパラメータ全てを適切な値に調整することは非常に困難である。このため初心者にとっては装置の性能を十分に発揮させることが難しかった。本発明は誰もが容易に手動調整技術を習得するためのパラメータ調整練習機能を備えた荷電粒子線装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】上記課題を解決するため、フォーカス調整および非点調整の練習手段を設ける。ユーザの操作に応じて対物レンズのフォーカス条件とＸ方向非点補正器とＹ方向非点補正器の制御条件を設定し、設定されたフォーカス条件とＸ方向非点補正条件とＹ方向非点補正条件の組に応じて、当該制御条件に対応した練習用画像を記憶装置から読み出し、画面に表示することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】走査型電子顕微鏡装置を操作するための使用しやすいユーザ・インタフェースを提供すること。
【解決手段】低倍率基準画像と高倍率画像とを同一スクリーン上で組み合わせて、電子顕微鏡の高倍率画像に慣れていないユーザが、サンプル上のどこで画像が得られているかを容易に判断し、その画像とサンプルの残りとの関係を理解できるようにする走査型電子顕微鏡装置を操作するためのユーザ・インタフェース。タッチ・スクリーンを介してユーザが指示を入力することにより、電子画像の視野を変えてサンプルの異なる画像を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡による試料の構造や特性を観察する方法において、２次電子信号で得られる試料情報の選択性と画質を向上させる。
【解決手段】電子線を用いて試料の構造観察や材料特性を評価するにあたって、断続的に電子線を照射し、断続的な電子線照射下で得られる２次電子の過渡応答の中で、必要な試料情報を反映した２次電子信号を検出時間により選択することで、不要な情報の重畳を防ぎ、高画質な観察を実現する。 （もっと読む）

【課題】欠陥ファイルに登録された欠陥の位置情報を用いてファインアライメントを実行する機能を備えた観察装置において、ファインアライメント補正を正確なものとし、レビューのために要するユーザの工数を低減する。
【解決手段】レビュー装置が検出した欠陥のステージ位置から、そのステージ位置に近い欠陥候補を検査装置が提供する欠陥情報（欠陥種別，欠陥画像，欠陥サイズ）とともに一覧表示し、ファインアライメント補正に使用する欠陥を選択できるようにする。 （もっと読む）

【課題】従来の高真空型荷電粒子顕微鏡の構成を大きく変更することなく、被観察試料を大気雰囲気あるいはガス雰囲気で観察することが可能な荷電粒子線装置ないし荷電粒子顕微鏡を提供する。
【解決手段】真空雰囲気と大気雰囲気（ないしガス雰囲気）を仕切る薄膜を採用する構成の荷電粒子線装置において、上記薄膜を保持でき、かつ内部を大気雰囲気あるいはガス雰囲気に維持可能なアタッチメントを高真空型荷電粒子顕微鏡の真空試料室に挿入して使用する。当該アタッチメントは、上記真空試料室の真空隔壁に真空シールされて固定される。アタッチメント内部をヘリウムや窒素あるいは水蒸気といった大気ガスよりも質量の軽い軽元素ガスで置換することにより、更に画質が向上する。 （もっと読む）

【課題】エネルギーの異なる信号荷電粒子の合成機能を自動化する。
【解決手段】一次荷電粒子線を試料に照射する荷電粒子源と、試料から発生した信号荷電粒子のうち第１のエネルギーを有する第１の信号電子を検出する第１の検出器と、試料から発生した信号荷電粒子のうち第２のエネルギーを有する第２の信号電子を検出する第２の検出器と、第１の信号電子の信号強度と第２の信号電子の信号強度の合成比を変化させ、各合成比に対応する検出画像を生成する第１の演算部と、各合成比について生成された検出画像の所定の２つのエリアに対応する信号強度の比を算出する第２の演算部と、信号強度の比の変化に基づいて、検出画像の取得に使用する混合比を決定する第３の演算部とを荷電粒子線装置に搭載する。 （もっと読む）

【課題】従来の電子顕微鏡においては、直交度は電子顕微鏡毎に電子顕微鏡とは独立にあらかじめ直交と想定して製作された格子状サンプルを該当の顕微鏡で像観察し、該サンプルが画面上で直交として観察されるように該電子顕微鏡制御回路に補正をかけることで定義していた。また補正は画面上での目視による判断であり、補正も人による手動で実施していた。しかし、この方法においては格子状サンプルの製作上のばらつきにより、装置毎の直交度にばらつきが生じる可能性があった。また補正を手動で実施することで補正精度にばらつきが生じるといった問題があった。
【解決手段】上記目的を達成するために、直交度規定用に格子状サンプルではなく粒子状サンプルを使用し、円であるべき像を円として観察されるような調整を実施することで、直交度を規定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】大型の試料であっても大気雰囲気あるいはガス雰囲気で観察することが可能な荷電粒子線装置ないし荷電粒子顕微鏡を提供する。
【解決手段】真空雰囲気と大気雰囲気（ないしガス雰囲気）を仕切る薄膜を採用する構成の荷電粒子線装置において、荷電粒子光学系を格納する荷電粒子光学鏡筒と、当該荷電粒子光学鏡筒から出射される一次荷電粒子線が前記薄膜まで到達するための経路を真空雰囲気に維持する筐体と、上記荷電粒子光学鏡筒と第１の筐体を装置設置面に対して支持する機構とを備え、当該支持機構として、大型試料を搬入するための開放口を有する筐体、あるいは支柱など筐体以外の形状の機構を採用する。 （もっと読む）

【課題】傾斜した試料の表面をチルトビームおよび左右視差角像で、焦点を連続的に補正しながら観察する際に、発生する視野ずれを抑制することのできる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 試料１０表面に一次荷電粒子線の焦点を結ばせる対物レンズ７と一次荷電粒子線をチルトさせる傾斜角制御用偏向器５３の中間に、視野補正用アライナー５４を設置し、傾斜角制御用偏向器５３のチルト角、レンズ条件、対物レンズ７と試料１０までの距離からもとまる補正量にて、一次荷電粒子線のチルト時に発生する視野ずれを、対物レンズ７の焦点補正に連動して補正する。 （もっと読む）

【課題】階調領域の設定にユーザーの積極的な関与が必要であり、作業効率が悪い。
【解決手段】元画像について、一方の軸を表示階調、他の軸を頻度とするヒストグラムを生成する。次に、当該ヒストグラムに現れる全ての谷を対象に、１つの谷から隣の谷までの区間を１つの選択領域に設定し、表示階調範囲の全域を複数の選択領域に分割する。次に、優先度に従って、複数の選択領域の中から少なくとも一つを候補領域に選択し、当該候補領域の階調情報を強調するように元画像を階調変換した画像を画面上に表示する。 （もっと読む）

【課題】マイクロスケールの照射位置あるいは使用回数といった使用状態を簡便に管理できる機能を備えた走査電子顕微鏡あるいは荷電粒子線装置を実現する。
【解決手段】マイクロスケール上のセルの配置に対応したマップを作成し、当該マップ上に各セルの使用状態を表示する。装置ユーザは、実際に使用するマイクロスケール上のセルをマップ上に示されるセルから選択する。表示の際には、単純に使用回数を文字表示するのではなく、マップ上のセルを使用状態に応じて色分けして表示する。また、マイクロスケールの使用状態を適当なカテゴリに分類し、分類したカテゴリ毎に色分け表示する。 （もっと読む）

【課題】低高両倍率の観察画像を短い更新時間で安定して高い自由度で表示できるものとし、良好な操作性で高倍率とする所望の観察位置を素早く探査可能とする。
【解決手段】入力装置３０で指定された試料上の走査領域を電子線で２次元走査し、走査領域からの荷電粒子を検出して電子線の走査信号と同期させて画像表示装置４０に観察画像を表示する走査電子顕微鏡において、制御装置１００は、試料の第１走査領域における所定倍率の第１観察画像を取得し、画像表示装置の第１ウインドウに前記第１観察画像を表示し、入力装置３０で、第１観察画像中における位置及び領域を指定して第２走査領域を設定し、第２走査領域の前記第１倍率より大きな倍率の第２観察像を取得し、画像表示装置４０に第２観察画像を描画する第２ウインドウを、第１ウインドウの表示と合成して表示する。 （もっと読む）

【課題】画像データのより効率的な取得及び解析を可能にする。
【解決手段】荷電粒子顕微鏡を操作する方法であって、第１設定で対象物の第１領域の第１画像を記録し、第２設定で対象物の第２領域の第２画像を記録する。第２設定は、一次荷電粒子の運動エネルギー、検出器設定、ビーム電流、測定チャンバ内の圧力の少なくとも１つに関して第１設定とは異なる。第１領域及び第２領域を少なくとも部分的に含む第３領域の第３画像を記録する。第３画像の少なくとも一部を表示し、表示した第３画像内に少なくとも部分的に第１画像の表現を表示する。第１画像の表現は第１設定を示す第１インジケータを含む。表示した第３画像内に少なくとも部分的に第２画像の表現を表示する。第２画像の表現は第２設定を示す第２インジケータを含み、表示した第２インジケータは表示した第１インジケータとは異なる、方法。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする課題は、特別な検出手段を要せず顕微鏡観察しながらマニピュレータを操作するだけで微小な試料へプローブが確実に且つソフトに接触するようにアプローチ出来る手法を提示すると共に、それを実行する装置を提供することにある。
【解決手段】プローブ１をチルトさせてその先端部を試料５の目標位置に接近させながら、プローブ１先端部と前記目標位置の距離を荷電粒子ビーム顕微鏡で観察しつつ、観察画面上で前記目標位置にてプローブ１とプローブ１の影との先端部が一致する方向へ、プローブ１を移動させる。 （もっと読む）

【課題】複雑化している作業手順を簡易化し、操作性の高い荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】各操作画面を起動する順番および、次のステップへ進むための条件を作業手順として設定，登録し、作業者は予め登録しておいた作業手順を選択，実行することで自動的に操作画面の起動が行われ、また作業内容を確認することが可能であるため、操作性が向上する。同一の作業手順で運用することで、作業者間の作業の統一が図れ、作業により得られる結果の信頼性が向上する。 （もっと読む）