【課題】光偏向器を駆動するモータの回転ムラに係わりなく、光偏向器の面倒れ量を高精度で測定する。
【解決手段】副走査方向に延びる互に平行な一対のエッジと、互に傾斜した一対のエッジによって形成される一対の三角形状の開口部４Ｓ１、４Ｓ２を有するスリット４を経て、光偏向器１の走査光を受光手段５に導入する。平行な２つのエッジで毎走査ごとの走査速度を測定し、得られた走査速度情報と、傾斜した２つのエッジによって得られた副走査方向の位置情報とを用いて、走査光の副走査方向の位置を演算する。光偏向器１の回転ムラの影響をキャンセルすることで高精度な位置測定を行うことができる。 （もっと読む）