Fターム[5C127BB00]の内容
冷陰極の製造 (9,839) | 電界放出型のエミッタ材料 (1,222)
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陰極体の製造方法
【課題】面発光型蛍光発光装置において、十分な電子放出効率が得られる陰極の製造方法および構造を提供する。
【解決手段】タングステンまたはモリブデンからなる電極層1の上に、Ru又はYを構成材料とし電子放出層よりも小さい抵抗率を有する導電性の第2の層2を、スパッタにより1nmから200nmの厚さに成膜し、第2の層2の上に電子放出層として、仕事関数が第2の層2の金属よりも小さく、且つ3.6eV以下の希土類材料からなる層をリアクティブスパッタにより1原子層から10nmの間の膜厚に積層形成する。
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