【課題】 アパーチャの回転角度の調整を簡便に行える荷電ビーム描画装置を実現すること。
【解決手段】 荷電ビーム露光装置は、荷電ビーム２を放射する荷電ビーム源１と、第１の回転調整用の開口部を含む第１成形アパーチャマスク５と、第２の回転調整用の開口部を含む第２成形アパーチャマスク１０と、荷電ビーム源１から放射して、第１および第２の回転調整用の開口部を通過し、第２成型アパーチャ１０と略平行な面内における荷電ビームの強度分布を検出する検出器１４と、第１成形アパーチャマスク５を回転させ、第１・第２成形アパーチャマスク５，１０間の相対的な回転角度を制御する制御回路３１と、制御回路３１により上記相対的な回転角度を複数回変え、各回転角度毎に検出器１４により荷電ビーム１を検出することで得られた複数の検出結果に基づいて、上記相対的な回転角度のずれが所定の範囲内に収まる相対的な回転角度を取得し、かつ、上記相対的な回転角度が取得した回転角度となるように制御回路３１に指示を与える回転角度取得・指示回路２３を備えている。 （もっと読む）