国際特許分類［B24B49/12］の内容
処理操作；運輸 (1,245,546) | 研削；研磨 (20,708) | 研削または研磨するための機械，装置，または方法；研削面のドレッシングまたは正常化；研削剤，研磨剤，またはラッピング剤の供給 (15,323) | 研削工具または工作物の送り運動を制御するための計測装置；指示または計測装置の構成，例．研削開始を指示するもの (1,315) | 光学的装置を有するもの (362)
国際特許分類［B24B49/12］に分類される特許
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ケミカルメカニカルポリシングの操作をインシチュウでモニタするための装置及び方法
【課題】 研磨プロセスに関して正確性を向上し更に有用な情報を与えるために用いる事ができる終点の検出器及び方法を提供する。
【解決手段】 基板上の層の均一性を、係る層の研磨の最中にインシチュウで測定する方法である。この方法は、：研磨中にレーザービームを層へ向けるステップと；光ビームの基板からの反射されることにより発生する干渉信号をモニタするステップと；この干渉信号から均一性の尺度を計算するステップとを備えている。
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研削加工装置
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