【目的】アイドルプーリを片側のみに配設した構造でありながら、アーム停止時の振動が少なく、直進運動の可能なクリーンロボットを提供する。
【構成】基台３と、第１の腕４と、第２の腕５と、第３の腕３８と、基台３に対して第１の腕４を回転させる第１の駆動手段と、第１の腕４に対して第２の腕５を回転させる第２の駆動手段と、第２の腕５に対して第３の腕３８を回転させる第３の駆動手段とを具備し、第２の駆動手段は第１の駆動プーリ２４と、第１の従動プーリ２６と、第１のタイミングベルト２５と、第３の腕３８が基台３から離れるときに第１のタイミングベルト２５のたるみ側に当接する第１のテンションプーリ２８とを備え、第３の駆動手段は第２の駆動プーリ３５と、第２の従動プーリ３３と、第２のタイミングベルト３４と、第３の腕３８が基台３から離れるときに第２のタイミングベルト２５のたるみ側に当接する第２のテンションプーリ３６とを備える。 （もっと読む）