【課題】ブランケット等の担持体に担持される塗布層を版でパターニングすることで形成されるパターン層を基板に転写する印刷装置において版および基板をそれぞれ異なる移動体により搬送する際に両移動体の相互干渉を簡易な構成で防止することを目的とする。
【解決手段】搬送装置２を、版受取位置ＸＰ２１と版保持位置ＸＰ２３との間で版を支持しながら移動可能な版用往復移動体２５Ｌと、基板受取位置ＸＰ２５と基板保持位置ＸＰ２３との間で基板を支持しながら移動可能な基板用往復移動体２５Ｒと、両移動体２５Ｌ，２５Ｒを一体的に移動させる駆動機構２２とを備えて構成する。駆動機構２２は、両移動体２５Ｌ，２５Ｒを第１方向に移動させてそれぞれを版受取位置ＸＰ２１および基板保持位置ＸＰ２３に位置決めし、両移動体２５Ｌ，２５Ｒを第１方向と反対の第２方向に移動させてそれぞれを版保持位置ＸＰ２３および基板受取位置ＸＰ２５に位置決めする。 （もっと読む）

【課題】パターンを担持したブランケット等の担持体を基板に対して位置合せを行う（アライメント）時および担持体の中央部を基板に加圧当接する（転写）時に、担持体保持手段上での担持体の移動を防止してパターン転写を良好に行うことができるパターン転写装置を提供する。
【解決手段】押さえ部材７１に対して各ピストン７２４の先端部が遊嵌されており、水平面内で移動自在となっており、押さえ部材７１はブランケットＢＬの周縁部を押さえ付けたまま、下ステージ部５とともに移動してアライメント工程中にブランケットＢＬが吸着ステージ５１上で移動するのを確実に防止する。また、ブランケットＢＬの中央部を浮上させている際にも、押さえ部材７１は、アライメント工程が完了した時点での位置決め状態のままブランケットＢＬの周縁部を押さえ付ける。 （もっと読む）