本発明の実施形態は、標準化機械インタフェース（ＳＭＩＦ）ポッドなどの搬送コンテナをパージングする方法およびシステムを対象にしている。詳細には、浄化されたパージガスを使用して、コンテナと密閉チャンバ（たとえば半導体処理ツール）を、密閉チャンバの環境に対する有機物および他の有害な汚染物質による有害な汚染を伴うことなくインタフェースさせることができるよう、前面作動統一ポッド（ＦＯＵＰ）および他の非気密封止搬送コンテナを浄化することができる。この方法およびシステムを使用して、電子材料を製造し、かつ、処理している間、ウェハ、半導体コンポーネント、および極めて清浄な環境への露出を必要とする他の材料などの対象を搬送することができる。
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【課題】複数のクリーンルーム間で電子部品を遣り取りする場合の搬送効率アップによる生産性向上を図る。
【解決手段】 複数のクリーンルームの少なくとも１つに設けられるクレーン付のストッカー 21 と、該ストッカーの受渡領域に載置されるコンテナ 22 と、クリーンルーム内で移動する第一の搬送車 23 と、一般通路用のカバー付の第二の搬送車とを含んで構成し、ストッカー 21 と第一の搬送車 23 と第二の搬送車のそれぞれに、ストッカーと第一の搬送車間及び第一と第二の搬送車間で前記コンテナ 22 が自動的に受渡しできる移載手段 211,231 を設ける。 （もっと読む）

【課題】 製版装置の設置スペースが少なくて済むと共に、製版作業中に於ける版材の取り替えや取り扱いを簡単且つ良好に行え、然も、製版装置内の未感光の版材が露光するのを防止できるようにする。
【解決手段】 露光装置Ｃへ未感光の版材Ｐを供給する製版装置Ａの給版装置Ｂに於いて、当該給版装置Ｂを、製版装置Ａと別の位置に設置した暗室内で解梱した未感光の版材Ｐを収納する暗箱１と、暗箱１を搬送する運搬車２と、露光装置Ｃ側に設置され、運搬車２により搬送された暗箱１を受け入れて積み重ね状に格納すると共に各暗箱１の中から適宜の暗箱１を外部から遮光した状態で開放する版材供給装置３と、版材供給装置３と露光装置Ｃの間に配設され、露光装置Ｃの空間Ｓ₂ と版材供給装置３の空間Ｓ₁ とを遮断して両空間Ｓ₁ ，Ｓ₂ への光の出入りを遮るシャッター装置４と、露光装置Ｃ側に配設され、開放された暗箱１内の版材Ｐを露光装置Ｃ側へ搬送する版材搬送装置５とから構成する。 （もっと読む）

【課題】 ベルト搬送型加熱炉のベルト速度の検出を、安価な構成で行うことができ、検出に要する時間や手間を低減する。
【解決手段】 炉体１の入口側においてメッシュベルト２上にプレート２０を置き、移動するプレート２０の前端２０ａが当たることによりＯＮとなり、プレート２０が通過するとＯＦＦになるリミットスイッチ１４を、炉体１の入口上部に設置する。リミットスイッチ１４を通過したプレート２０を受け取ってメッシュベルト２上から除去する受取器を設ける。プレート２０がリミットスイッチ１４を通過するのにかかった時間を時間表示部１２に表示させ、プレート２０の長さと通過時間とからベルト速度を求める。 （もっと読む）