【課題】ワークを受け渡す取数が相違する場合であっても、短時間でしかも安定してワークを受け渡すことが可能なワーク搬送方法およびワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】供給側治具１２から一回の供給動作で一定数のワーク１１を、一定数よりも多い数のワーク保持部１７を有するワーク保持治具１０におけるワーク保持部１７に供給していくワーク搬送方法である。供給側治具１２からの一定数のワーク１１の供給動作のみを複数回行い、一つの供給動作において、２つのワーク保持治具１０のワーク保持部１７への供給を含ませることにより、複数のワーク保持治具１０の全ワーク保持部１７にワークを供給する。 （もっと読む）

【課題】処理に必要な最小限の量の処理液を循環させる構成を採ることにより、処理液の使用量を低減することができる。
【解決手段】内槽３と、外槽５と、循環配管１５とには、処理状態では内槽３から外槽５に処理液が溢れ、非処理状態では内槽３から外槽５への処理液の溢れがない処理液の量が貯留されている。一方、非処理循環状態では、開閉弁３５を開放して内槽３から外槽５へ処理液を流通させて、循環配管１５を介して処理液の循環を行わせる。したがって、リフタ２７が基板Ｗとともに処理位置にない状態であっても、処理液を循環させることができ、処理に使用する処理液の量を低減することができる。その結果、温調や薬液濃度の調整を行う際には、その処理を短時間で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】比較的小型に製造でき、連続的に対象物の負圧処理を行える負圧作用装置を提供する。
【解決手段】内部で対象物Ｆを負圧処理する負圧作用部１２と、負圧作用部１２に負圧を形成する負圧形成装置１４と、負圧作用部１２内で対象物Ｆを搬送する搬送装置１６と、負圧を保持させた状態で外部ＥＸから負圧作用部１２内に対象物Ｆを投入する投入装置１８と、負圧を保持させた状態で負圧作用部１２内から外部ＥＸに対象物Ｆを排出する排出装置２０と、を備えた負圧作用装置１０からなる。投入装置１８と排出装置２０は、液体Ｌを介して外部と負圧作用部とを遮断した液体遮断態様と、外部側を開放して負圧作用部側を閉鎖した外部側開放態様と、外部側を閉鎖して負圧作用部側を開放した負圧側開放態様と、に切り換える切換手段３８を備え、これらの態様を切換ながら対象物Ｆを外部から負圧作用部内へ投入又は負圧作用部内から外部へ排出する。 （もっと読む）

【課題】液体への投入・排出時におけるワークへの負荷を低減して、ワークの折損や装置からの脱落を防止できると共に、貯留槽からリークする液体の量を削減でき、また、装置全長を短縮することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】この搬送装置１は、板状のワークＷを貯留槽の液体に対して投入・排出を行う搬送装置において、前記ワークＷの保持を行う保持部１１、１２、２１、２２を有すると共に回転可能に支持されたワーク保持手段１０、２０を備え、前記ワークＷを保持させた前記ワーク保持手段１０、２０を回転させて該ワークＷを前記貯留槽３０の液体Ｌに対して投入・排出を行う。 （もっと読む）

【課題】 薄板状被処理物の両側縁部を保持して水平搬送するクランプの自動開閉を確実かつ円滑に行なえるようにする。
【解決手段】 クランプ９の自動開閉を、エンドレスに回転駆動される水平搬送駆動手段に取付けられて回転駆動されるクランプ９の上部に付設したクランプ開閉ガイド係合部材３５の係合部３６がクランプ開閉ガイド２０の高位ガイド上面部２０ａに沿って転動される係合状態において閉状態から上下方向に離間された開状態に制御されるようにした。 （もっと読む）

【課題】各種サイズのプリント基板を略垂直姿勢で収容して搬送することができ、省スペース化を図る。
【解決手段】方形に形成された枠体と、該枠体の対向する縦枠間及び横枠間かつ片側面に所定間隔で張設された糸状線材とから成る一対のネット枠と、一対のネット枠の一方の横枠に設けられ、糸状線材が張設された片側面同士が対峙するように一対のネット枠を開閉自在に連結する兆番と、一方の横枠に対向する他方の横枠に設けられる掛止具とを具備する。 （もっと読む）

【課題】基板表面が乾燥しないように水中で基板の表面に非接触で基板を保持し、効率良く搬送する。
【解決手段】液中に水平に浸漬された基板の上方に設けられた噴射ノズルで前記基板の上方から前方に向けて液体を噴射して基板を前方に送り出す基板の搬送装置において、基板４の搬送方向に沿って往復動可能に搬送ユニット３０を設け、前記搬送ユニット３０は、上下に揺動可能に設けられ基板４を静止させるストッパ３４と、前記ストッパ３４の後方に設けられ、前記基板４の後端よりもやや後方から液体４５を前方に向けて噴射する噴射ノズル３５とを一体に備え、 前記噴射ノズル３５からの液体４５の噴射により、基板４を浮上させると共に前記ストッパ３４に基板４を当接させて静止させた状態で搬送ユニット３０を移動させて基板４を搬送するようにする。 （もっと読む）

【課題】 小型化及び小径化を図ることによって高密度での配設を可能とし、しかも十分な吸着力を発揮することが可能な部品吸着ヘッドを提供する。
【解決手段】 先端に吸着ノズルを有すると共に当該吸着ノズルに連通する吸気通路を有する搬送シャフトと、この搬送シャフトが貫通すると共に当該搬送シャフトを周方向へは回転不能に且つ軸方向へは移動自在に保持すると共に、前記搬送シャフトの吸気通路に連通する吸引孔が設けられた円筒状ハウジングとを備え、前記ハウジングは吸着ノズル側の軸方向端部に回転軸受の装着部となる回転軸部を有し、この回転軸部の吸着ノズル側の先端にはキャップ部材が装着され、このキャップ部材には前記搬送シャフトの外周面に摺接するシール部材が内蔵されている。 （もっと読む）

【課題】 たとえばワイヤソーによる切断の後に、人手を介することなく半導体ウエハを１枚ずつ分離することが可能なウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置を提供すること。
【解決手段】 積層された複数枚のウエハＷｆを搬送するウエハ搬送方法であって、液体Ｌｑ中に位置する複数枚のウエハＷｆどうしの間のいずれかに隙間を生じさせるべく、置台８１に載置された複数枚のウエハＷｆの端面に向けて液体Ｌｑを噴出する工程と、上記隙間を生じさせた状態で、複数枚のウエハＷｆのうち少なくとも最上位に位置するウエハＷｆを取り上げる工程と、を備え、置台８１には、液体Ｌｑが噴出される方向において貫通し且つ複数枚のウエハＷｆが載置される側に向かって露出している空間が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 たとえばワイヤソーによる切断の後に、人手を介することなく半導体ウエハを１枚ずつ分離することが可能なウエハ搬送方法およびウエハ搬送装置を提供すること。
【解決手段】 液体Ｌｑ中に積層された複数枚のウエハＷｆを搬送するウエハ搬送方法であって、方向ｘ１に向かう複数枚のウエハＷｆの移動を規制するサポート部材８２を、複数枚のウエハＷｆに対して方向ｘ１側に配置した状態で、複数枚のウエハＷｆどうしの間のいずれかに隙間を生じさせるべく、複数枚のウエハＷｆの端面に向けて液体Ｌｑを噴出する工程を備える。 （もっと読む）