国際特許分類［G01N21/956］の内容
物理学 (1,541,580) | 測定；試験 (294,940) | 材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析 (128,275) | 光学的手段，すなわち．赤外線，可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析 (28,618) | 特殊な応用に特に適合したシステム (7,977) | きず，欠陥，または汚れの存在の調査 (6,670) | 調査対象物の材質や形に特徴付けられるもの (3,597) | 物体表面のパターンの検査 (2,601)
国際特許分類［G01N21/956］に分類される特許
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スクリーン印刷用製版の検査装置
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検査装置
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表面検査装置及び表面検査方法
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半導体素子画像認識装置及び半導体素子画像認識方法
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欠陥検査方法
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検査装置
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外観検査装置
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欠陥修正装置および欠陥修正方法
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検査システム及びレシピ設定方法
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積層基板の検査装置および検査方法
【課題】簡易な構成で大面積の積層基板を高速で高精度に検査できる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板Ｋ０上にモリブデン層Ｋ１が形成されると共にモリブデン層Ｋ１上に薄膜Ｋ２，Ｋ３が形成された基板Ｋの、薄膜Ｋ２，Ｋ３側から形成されたパターニングを検査する検査装置１であって、移送中の基板Ｋのガラス基板Ｋ０側に光を照射する下部照明１０と、移送中の基板Ｋの薄膜Ｋ２，Ｋ３側に光を照射する上部照明２０とを設けると共に、基板Ｋを透過する下部照明１０の光軸Ｐ上で且つ基板Ｋで乱反射する上部照明２０の光軸Ｄ上に配置された第１ラインセンサカメラ１１と、基板Ｋで正反射する上部照明２０の光軸Ｓ上に配置された第２ラインセンサカメラ２１とを設け、ラインセンサカメラ１１，２１で検知した光の状態に基づいてパターニングの良否を判断する突き抜け検査用パソコン１２及び擦れ検査用パソコン２２を具備する。
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