張力・速度計測装置および方法
【課題】ウェブの種類によらずにウェブの張力を高精度に計測し、同時にウェブの速度を安価に計測する。
【解決手段】張力・速度計測装置は、搬送装置によって搬送中のウェブ11にレーザ光を放射する半導体レーザ1と、発振波長が増加する第1の発振期間と発振波長が減少する第2の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように半導体レーザ1を動作させるレーザドライバ4と、半導体レーザ1からのレーザ光とウェブ11からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード2と電流−電圧変換増幅部5とフィルタ部6と、フィルタ部6の出力に含まれる干渉波形の周期を計測する信号抽出部7と、信号抽出部7が計測した個々の周期の基準周期に対する変化に基づいてウェブ11の速度および張力を算出する演算部8とを備える。
【解決手段】張力・速度計測装置は、搬送装置によって搬送中のウェブ11にレーザ光を放射する半導体レーザ1と、発振波長が増加する第1の発振期間と発振波長が減少する第2の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように半導体レーザ1を動作させるレーザドライバ4と、半導体レーザ1からのレーザ光とウェブ11からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード2と電流−電圧変換増幅部5とフィルタ部6と、フィルタ部6の出力に含まれる干渉波形の周期を計測する信号抽出部7と、信号抽出部7が計測した個々の周期の基準周期に対する変化に基づいてウェブ11の速度および張力を算出する演算部8とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、搬送装置によって送出側から受取側まで搬送中の物体であるウェブの速度と張力を計測する張力・速度計測装置および方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
紙、フィルム、セロファン、金属箔、ゴムなどのロール状に巻き取った物体(以下、ウェブと呼ぶ)を送出部から繰り出して、ウェブに対して所定の処理を行い、処理後のウェブを受取部によって巻き取るウェブ搬送装置では、送出部のロールの巻径と受取部のロールの巻径の変化に伴ってウェブの張力も変化する。したがって、適切な張力制御をおこたると、ウェブのしわやたわみの発生、ウェブの厚さの変化などを引き起こし、最悪の場合はウェブの切断にいたるため、張力制御が必要となる。
【0003】
従来、ウェブの張力を測定する方法としては、ロール軸に掛かる力から張力を算出する接触式の方法がある。また、別の方法として、ウェブの固有振動から張力を算出する非接触式の方法がある(特許文献1参照)。ただし、ウェブ搬送装置では、ウェブの移動速度を一定に制御し、巻き出し・巻き取りしたウェブの長さを正確に計測する必要があるが、これらの方法では、ウェブの速度を同時に測ることはできない。
【0004】
ウェブの速度と巻き取ったウェブの長さを計測する方法としては、一般的にはロール軸の回転数からウェブの速度を求め、この速度からウェブの長さを間接的に算出する方法があるが、ウェブの伸び縮みや巻き取りの張力による誤差が大きい。
また、ウェブの速度を計測する別の手段として、非接触式のドップラーレーザ速度計がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特公平6−63825号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
ロール軸に掛かる力からウェブの張力を算出する接触式の方法では、図37に示すようにロール300の箇所でウェブ301を曲げて、ロール300の軸にかかる力からウェブ301の張力を算出するため、曲げることが難しいウェブ、例えば鋼板などに適用することができないという問題点があった。
【0007】
一方、ウェブの固有振動から張力を算出する非接触式の方法では、曲げることが難しいウェブにも適用することができる。しかし、この方法では、マイクロフォンを用いて集音し、ウェブの固有振動周波数を求めているため、外乱、すなわち雑音の混入に弱いという問題点があった。
また、ロール軸に掛かる力からウェブの張力を算出する方法やウェブの固有振動から張力を算出する方法では、ウェブの速度を同時に測ることができないという問題点があった。
【0008】
ロール軸の回転数からウェブの速度を求める方法では、ウェブの伸び縮みや巻き取りの張力による誤差が大きく、その結果として速度から間接的に算出するウェブの長さも誤差が大きくなってしまうという問題点があった。このため、ロール状に巻き取った形で販売されているウェブは規定値よりも長めで売られているものが多く、無駄が生じていた。
また、非接触式のドップラーレーザ速度計には、非常に高価であるという問題点があった。
【0009】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、ウェブの種類によらずにウェブの張力を高精度に計測することができ、ウェブの張力と同時にウェブの速度を安価に計測することができる張力・速度計測装置および方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明の張力・速度計測装置は、搬送装置によって送出側から受取側まで搬送中の物体であるウェブにレーザ光を放射する半導体レーザと、発振波長が連続的に単調増加する第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する第2の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように前記半導体レーザを動作させる発振波長変調手段と、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記ウェブからの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段と、この検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に計測する信号抽出手段と、この信号抽出手段が計測した個々の周期の基準周期に対する変化に基づいて、前記ウェブの速度およびウェブの張力の少なくとも一方を算出する演算手段とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例において、前記演算手段は、前記信号抽出手段が計測した個々の周期の基準周期に対する変化量に基づいて前記ウェブの速度を算出する速度算出手段と、前記基準周期をしきい値として前記干渉波形の周期を2値化する2値化手段と、この2値化手段の出力の周期を測定する周期測定手段と、この周期測定手段が測定した周期から前記ウェブの振動周波数を算出する周波数算出手段と、前記ウェブの速度と前記ウェブの振動周波数に基づいて前記ウェブの張力を算出する張力算出手段とを備えることを特徴とするものである。
【0011】
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例は、さらに、前記信号抽出手段の計測結果から、前記基準周期の第1の所定数倍未満の周期の度数と前記基準周期の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期の度数とを求める度数分別手段と、前記信号抽出手段の計測結果から、前記基準周期の第1の所定数倍未満の周期と前記基準周期の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期とを抽出する周期分別手段と、前記度数分別手段が求めた度数と前記周期分別手段が抽出した周期とに基づいて前記基準周期を補正する基準周期補正手段とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例において、前記基準周期補正手段は、補正前の前記基準周期をT0、前記基準周期T0の第1の所定数倍未満の周期の度数をNs、前記基準周期T0の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期の度数をN、前記基準周期T0の第1の所定数倍未満の周期に含まれるj番目(jは1〜Nsの整数)の周期をTsj、前記基準周期T0の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期に含まれるi番目(iは1〜Nの整数)の周期をTiとしたとき、(ΣTi−Ns×T0+ΣTsj)/(N−Ns)または(ΣTi+ΣTsj)/Nにより前記基準周期T0の補正値を算出することを特徴とするものである。
【0012】
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例は、さらに、前記信号抽出手段が計測した所定数の干渉波形の周期の平均を前記基準周期の初期値とする基準周期算出手段を備えることを特徴とするものである。
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例は、さらに、前記検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第1の発振期間と前記第2の発振期間の各々について数える計数手段と、この計数手段によって干渉波形の数を数える期間における最小発振波長と最大発振波長と前記計数手段の計数結果とから前記半導体レーザと前記ウェブとの距離を算出する距離算出手段と、この距離算出手段が算出した距離から前記基準周期の初期値を求める基準周期算出手段とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例は、さらに、前記検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第1の発振期間と前記第2の発振期間の各々について数える計数手段と、前記干渉波形の数の平均値を算出することにより前記半導体レーザと前記ウェブとの平均距離に比例した干渉波形の数である距離比例個数を求める距離比例個数算出手段と、前記距離比例個数から前記基準周期の初期値を算出する基準周期算出手段とを備えることを特徴とするものである。
【0013】
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例において、前記演算手段は、さらに、前記信号抽出手段で計測された補正対象の干渉波形の周期に対して、その直前と直後のうち少なくとも一方において計測された干渉波形の周期の移動平均値を算出する移動平均値算出手段と、前記補正対象の干渉波形の周期と前記移動平均値とを比較することにより前記補正対象の干渉波形の周期を補正する周期補正手段とを備え、前記2値化手段は、前記干渉波形の周期を2値化する代わりに、前記周期補正手段によって補正された周期を、前記基準周期をしきい値として2値化することを特徴とするものである。
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例において、前記移動平均値算出手段は、前記補正対象の干渉波形の周期の直前に計測された所定数の干渉波形の周期の移動平均値と前記補正対象の干渉波形の周期の直後に計測された所定数の干渉波形の周期の移動平均値とを算出し、前記周期補正手段は、前記移動平均値算出手段が算出した2つの移動平均値のうち小さい方をT1、大きい方をT2とし、Tx=T1+α・(T2−T1)としたとき(0≦α≦1)、前記補正対象の干渉波形の周期が前記Txの所定数k倍未満の場合は(kは1未満の正の値)、この補正対象の干渉波形の周期と次に計測された干渉波形の周期とを合わせた周期を補正後の干渉波形の周期とし、周期を合わせた波形を1つの波形とし、前記補正対象の干渉波形の周期が前記Txの(m−0.5)倍以上で且つ前記Txの(m+0.5)倍未満の場合は(mは2以上の自然数)、前記補正対象の干渉波形の周期をm等分した周期をそれぞれ補正後の周期とし、補正後の周期の波形がm個あるものとすることを特徴とするものである。
【0014】
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例において、前記演算手段は、さらに、前記周期測定手段の測定結果から一定時間における2値化出力の周期の度数分布を作成する2値化出力周期度数分布作成手段と、前記2値化出力の周期の度数分布から前記2値化出力の周期の分布の代表値である代表周期を算出する代表周期算出手段と、前記2値化出力周期度数分布作成手段が度数分布作成の対象とする期間と同じ一定時間の期間において前記2値化出力のパルスの数を数える2値化出力計数手段と、前記2値化出力の周期の度数分布から、前記代表周期の第1の所定数倍以下である階級の度数の総和Nsと前記代表周期の第2の所定数倍以上である階級の度数の総和Nwとを求め、これらの度数NsとNwに基づいて前記2値化出力計数手段の計数結果を補正する計測結果補正手段とを備え、前記周波数算出手段は、前記周期測定手段が測定した周期から前記ウェブの振動周波数を算出する代わりに、前記計測結果補正手段で補正された計数結果と前記一定時間に基づいて前記ウェブの振動周波数を算出することを特徴とするものである。
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例において、前記代表周期算出手段は、階級値と度数との積が最大となる階級値を前記代表周期とすることを特徴とするものである。
【0015】
また、本発明の張力・速度計測方法は、搬送装置によって送出側から受取側まで搬送中の物体であるウェブにレーザ光を放射する半導体レーザを、発振波長が連続的に単調増加する第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する第2の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように動作させる発振手順と、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記ウェブからの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手順と、この検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に計測する信号抽出手順と、この信号抽出手順で計測した個々の周期の基準周期に対する変化に基づいて、前記ウェブの速度およびウェブの張力の少なくとも一方を算出する演算手順とを備えることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【0016】
本発明によれば、ウェブの種類によらずにウェブの張力を高精度に計測することができ、ウェブの張力と同時にウェブの速度を安価に計測することができる張力・速度計測装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る張力・速度計測装置の構成を示すブロック図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態に係る張力・速度計測装置を適用するウェブ搬送装置の構成を示すブロック図である。
【図3】本発明の第1の実施の形態における半導体レーザの発振波長の時間変化の1例を示す図である。
【図4】本発明の第1の実施の形態における電流−電圧変換増幅部の出力電圧波形およびフィルタ部の出力電圧波形を模式的に示す波形図である。
【図5】モードホップパルスについて説明するための図である。
【図6】半導体レーザの発振波長とフォトダイオードの出力波形との関係を示す図である。
【図7】本発明の第1の実施の形態における信号抽出部の構成の1例を示すブロック図である。
【図8】本発明の第1の実施の形態における信号抽出部の動作を説明するための図である。
【図9】本発明の第1の実施の形態における演算部の構成の1例を示すブロック図である。
【図10】本発明の第1の実施の形態における演算部の速度算出処理を示すフローチャートである。
【図11】本発明の第1の実施の形態における演算部の張力算出処理を示すフローチャートである。
【図12】本発明の第1の実施の形態における基準周期の補正原理を説明するための図である。
【図13】モードホップパルスの周期の度数分布を示す図である。
【図14】ノイズを含むモードホップパルスの周期の度数分布を示す図である。
【図15】本発明の第2の実施の形態における演算部の構成の1例を示すブロック図である。
【図16】本発明の第3の実施の形態における演算部の構成の1例を示すブロック図である。
【図17】本発明の第3の実施の形態における距離比例個数算出部の動作を説明するための図である。
【図18】本発明の第3の実施の形態における符号付与部の動作を説明するための図である。
【図19】本発明の第3の実施の形態における符号付与部の動作を説明するための図である。
【図20】本発明の第4の実施の形態における演算部の構成の1例を示すブロック図である。
【図21】本発明の第4の実施の形態における周期補正部の動作を説明するための図である。
【図22】本発明の第4の実施の形態における信号抽出部の計測結果の補正原理を説明するための図である。
【図23】2倍の周期になったモードホップパルスの周期の度数分布を示す図である。
【図24】計数時に欠落したモードホップパルスのうち2分割されたモードホップパルスの周期の度数分布を示す図である。
【図25】計数時に欠落したモードホップパルスのうち2分割されたモードホップパルスの周期の度数分布を示す図である。
【図26】ウェブが等速運動している場合のウェブとの距離の変化を示す図である。
【図27】ウェブが等速運動している場合のモードホップパルスの周期の度数分布を示す図である。
【図28】ウェブの速度が変化している場合のウェブとの距離の変化およびウェブの速度の変化を示す図である。
【図29】ウェブの速度が変化している場合のモードホップパルスの周期の度数分布を示す図である。
【図30】本発明の第6の実施の形態における演算部の構成の1例を示すブロック図である。
【図31】本発明の第6の実施の形態における周期の度数分布の1例を示す図である。
【図32】本発明の第6の実施の形態においてカウンタの計数結果の補正に用いる度数を模式的に表す図である。
【図33】本発明の第6の実施の形態におけるカウンタの計数結果の補正原理を説明するための図である。
【図34】本発明の第7の実施の形態における半導体レーザの発振波長の時間変化および計数部の計数結果の時間変化を示す図である。
【図35】本発明の第8の実施の形態に係る張力・速度計測装置の構成を示すブロック図である。
【図36】張力・速度計測装置のセンサモジュールの別の配置例を示す図である。
【図37】ロール軸に掛かる力からウェブの張力を算出する方法を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【0018】
[第1の実施の形態]
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態に係る張力・速度計測装置の構成を示すブロック図である。図1の張力・速度計測装置は、測定対象のウェブ11にレーザ光を放射する半導体レーザ1と、半導体レーザ1の光出力を電気信号に変換するフォトダイオード2と、半導体レーザ1からの光を集光して放射すると共に、ウェブ11からの戻り光を集光して半導体レーザ1に入射させるレンズ3と、半導体レーザ1を駆動する発振波長変調手段となるレーザドライバ4と、フォトダイオード2の出力電流を電圧に変換して増幅する電流−電圧変換増幅部5と、電流−電圧変換増幅部5の出力電圧から搬送波を除去するフィルタ部6と、フィルタ部6の出力電圧に含まれる自己結合信号であるモードホップパルス(以下、MHPとする)の周期を計測する信号抽出部7と、信号抽出部7が計測した個々の周期の基準周期に対する変化に基づいてウェブ11の張力と速度とを算出する演算部8と、演算部8の計測結果を表示する表示部9とを有する。
【0019】
半導体レーザ1とフォトダイオード2とレンズ3とは、センサモジュール10を構成している。また、フォトダイオード2と電流−電圧変換増幅部5とは、検出手段を構成している。
【0020】
図2は本実施の形態の張力・速度計測装置を適用するウェブ搬送装置の構成を示すブロック図である。ウェブ搬送装置は、送出側ガイド軸100と、受取側ガイド軸101と、送出側ガイド軸100に装着される送出側ロール102と、受取側ガイド軸101に装着される受取側ロール103と、送出側ガイド軸100を駆動し、送出側ロール102を回転させる送出側モータ駆動部(不図示)と、受取側ガイド軸101を駆動し、受取側ロール103を回転させる受取側モータ駆動部(不図示)と、送出側モータ駆動部と受取側モータ駆動部とを制御する制御部104とを有する。
【0021】
送出側モータ駆動部が送出側ロール102を回転させると、送出側ロール102に巻かれたウェブ11が繰り出される。受取側では、受取側モータ駆動部が受取側ロール103を回転させることにより、受取側ロール103がウェブ11を巻き取る。
制御部104は、ウェブ11の張力と速度とがそれぞれ所望の値になるように、送出側モータ駆動部と受取側モータ駆動部とを制御する。
【0022】
半導体レーザ1とフォトダイオード2とレンズ3とからなるセンサモジュール10は、図2に示すように送出側ガイド軸100と受取側ガイド軸101間のウェブ11上に配置され、ウェブ11に対してレーザ光を斜方照射する。レーザ光を斜方照射するのは、ウェブ11の速度を計測するためである。
図1のレーザドライバ4と電流−電圧変換増幅部5とフィルタ部6と信号抽出部7と演算部8と表示部9とは、制御部104の内部に設けられる。
【0023】
次に、本実施の形態の張力・速度計測装置の動作を詳細に説明する。以下、説明容易にするために、半導体レーザ1には、モードホッピング現象を持たない型(VCSEL型、DFBレーザ型)のものが用いられているものと想定する。
【0024】
レーザドライバ4は、時間に関して一定の変化率で増減を繰り返す三角波駆動電流を注入電流として半導体レーザ1に供給する。これにより、半導体レーザ1は、注入電流の大きさに比例して発振波長が一定の変化率で連続的に増加する第1の発振期間と発振波長が一定の変化率で連続的に減少する第2の発振期間とを交互に繰り返すように駆動される。図3は、半導体レーザ1の発振波長の時間変化を示す図である。図3において、P1は第1の発振期間、P2は第2の発振期間、λaは各期間における発振波長の最小値、λbは各期間における発振波長の最大値、Ttは三角波の周期である。本実施の形態では、発振波長の最大値λbおよび発振波長の最小値λaはそれぞれ常に一定になされており、それらの差λb−λaも常に一定になされている。
【0025】
半導体レーザ1から出射したレーザ光は、レンズ3によって集光され、ウェブ11に入射する。ウェブ11で反射された光の一部は、レンズ3によって集光され、半導体レーザ1に入射する。ただし、レンズ3による集光は必須ではない。フォトダイオード2は、半導体レーザ1の内部又はその近傍に配置され、半導体レーザ1の光出力を電流に変換する。電流−電圧変換増幅部5は、フォトダイオード2の出力電流を電圧に変換して増幅する。
【0026】
フィルタ部6は、変調波から重畳信号を抽出する機能を有するものである。図4(A)は電流−電圧変換増幅部5の出力電圧波形を模式的に示す図、図4(B)はフィルタ部6の出力電圧波形を模式的に示す図である。これらの図は、フォトダイオード2の出力に相当する図4(A)の波形(変調波)から、図3の半導体レーザ1の発振波形(搬送波)を除去して、図4(B)のMHP波形(干渉波形)を抽出する過程を表している。
【0027】
次に、信号抽出部7は、フィルタ部6の出力電圧に含まれるMHPの周期をMHPが発生する度に計測する。ここで、自己結合信号であるMHPについて説明する。図5に示すように、ミラー層1013からウェブ11までの距離をL、レーザの発振波長をλとすると、以下の共振条件を満足するとき、ウェブ11からの戻り光と半導体レーザ1の光共振器内のレーザ光は強め合い、レーザ出力がわずかに増加する。
L=qλ/2 ・・・(1)
式(1)において、qは整数である。この現象は、ウェブ11からの散乱光が極めて微弱であっても、半導体レーザ1の共振器内の見かけの反射率が増加することにより、増幅作用が生じ、十分観測できる。
【0028】
図6は、半導体レーザ1の発振波長をある一定の割合で変化させたときの発振波長とフォトダイオード2の出力波形との関係を示す図である。式(1)に示したL=qλ/2を満足したときに、戻り光と光共振器内のレーザ光の位相差が0°(同位相)になって、戻り光と光共振器内のレーザ光とが最も強め合い、L=qλ/2+λ/4のときに、位相差が180°(逆位相)になって、戻り光と光共振器内のレーザ光とが最も弱め合う。そのため、半導体レーザ1の発振波長を変化させていくと、レーザ出力が強くなるところと弱くなるところとが交互に繰り返し現れ、このときのレーザ出力をフォトダイオード2で検出すると、図6に示すように一定周期の階段状の波形が得られる。このような波形は一般的には干渉縞と呼ばれる。この階段状の波形、すなわち干渉縞の1つ1つがMHPである。前記のとおり、ある一定時間において半導体レーザ1の発振波長を変化させた場合、測定距離に比例してMHPの数は変化する。
【0029】
図7は信号抽出部7の構成の1例を示すブロック図である。信号抽出部7は、2値化部70と、周期測定部71とから構成される。
図8(A)〜図8(D)は信号抽出部7の動作を説明するための図であり、図8(A)はフィルタ部6の出力電圧の波形、すなわちMHPの波形を模式的に示す図、図8(B)は図8(A)に対応する2値化部70の出力を示す図、図8(C)は信号抽出部7に入力されるサンプリングクロックCLKを示す図、図8(D)は図8(B)に対応する周期測定部71の測定結果を示す図である。
【0030】
まず、信号抽出部7の2値化部70は、図8(A)に示すフィルタ部6の出力電圧が「1」(ハイレベル)か「0」(ローレベル)かを判定して、図8(B)のような判定結果を出力する。このとき、2値化部70は、フィルタ部6の出力電圧が上昇してしきい値TH1以上になったときに2値化出力を「1」とし、フィルタ部6の出力電圧が下降してしきい値TH2(TH2<TH1)以下になったときに2値化出力を「0」とすることにより、フィルタ部6の出力を2値化する。
【0031】
周期測定部71は、2値化部70の出力の立ち上がりエッジの周期(すなわち、MHPの周期)を立ち上がりエッジが発生する度に測定する。このとき、周期測定部71は、図8(C)に示すサンプリングクロックCLKの周期を1単位としてMHPの周期を測定する。図8(D)の例では、周期測定部71は、MHPの周期としてTα,Tβ,Tγを順次測定している。図8(C)、図8(D)から明らかなように、周期Tα,Tβ,Tγの大きさは、それぞれ5[samplings]、4[samplings]、2[samplings]である。サンプリングクロックCLKの周波数は、MHPの取り得る最高周波数に対して十分に高いものとする。
【0032】
次に、演算部8は、信号抽出部7の計測結果に基づいて、MHPの周期の変化からウェブ11の速度と張力とを算出する。図9は演算部8の構成の1例を示すブロック図である。演算部8は、信号抽出部7の計測結果等を記憶する記憶部80と、基準周期の初期値を算出する基準周期算出部81と、信号抽出部7が計測した個々の周期の基準周期に対する変化量に基づいてウェブ11の速度を算出する速度算出部82と、信号抽出部7の計測結果を2値化する2値化部83と、2値化部83の出力の周期を測定する周期測定部84と、周期測定部84が測定した周期からウェブ11の振動周波数を算出する周波数算出部85と、ウェブ11の速度と振動周波数に基づいてウェブ11の張力を算出する張力算出部86と、信号抽出部7の計測結果から、基準周期の第1の所定数倍未満の周期の度数と基準周期の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期の度数とを求める度数分別部87と、信号抽出部7の計測結果から、基準周期の第1の所定数倍未満の周期と基準周期の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期とを抽出する周期分別部88と、度数分別部87が求めた度数と周期分別部88が抽出した周期とに基づいて基準周期を補正する基準周期補正部89とから構成される。
【0033】
まず、演算部8の速度算出処理について説明する。図10は演算部8の速度算出処理を示すフローチャートである。
信号抽出部7の計測結果は、演算部8の記憶部80に格納される。基準周期算出部81は、基準周期T0[samplings]の初期値を予め算出して記憶部80に格納する。具体的には、基準周期算出部81は、ウェブ搬送装置によってウェブ11の搬送が開始された搬送初期時に信号抽出部7によって計測された所定数のMHPの周期の移動平均値を基準周期T0の初期値とする。
【0034】
サンプリングクロックCLKの周波数をfad[Hz]、半導体レーザ1の発振平均波長をλ[m]とし、演算対象のMHPの周期が基準周期T0からn[samplings]長くなったとすると、この演算対象のMHPの周期におけるウェブ11の進行方向の変位D[m]は次式のようになる。
D=n×λ/(2×T0) ・・・(2)
【0035】
演算対象のMHPの周期が基準周期T0からn[samplings]短くなった場合には、式(2)の周期変化量nの符号を負にすればよい。半導体レーザ1の発振波長が増加する第1の発振期間P1において、変位Dが正の場合、ウェブ11の移動方向は半導体レーザ1から遠ざかる方向であり、変位Dが負の場合、ウェブ11の移動方向は半導体レーザ1に接近する方向である。また、発振波長が減少する第2の発振期間P2において、変位Dが正の場合、ウェブ11の移動方向は半導体レーザ1に接近する方向であり、変位Dが負の場合、ウェブ11の移動方向は半導体レーザ1から遠ざかる方向である。
【0036】
また、演算対象のMHPの周期は(T0+n)/fadなので、演算対象のMHPの周期におけるウェブ11の速度V[m/s]は次式のようになる。
V=n×λ/(2×T0)×fad/(T0+n) ・・・(3)
【0037】
速度算出部82は、信号抽出部7によって計測され記憶部80に記憶されたMHPの周期の基準周期T0に対する周期変化量nを求め(図10ステップS100)、式(3)によりウェブ11の速度Vを算出する(ステップS101)。速度算出部82は、以上のような速度算出処理をMHPが発生する度に行う。
【0038】
次に、速度算出処理と平行して行われる張力算出処理について説明する。図11は演算部8の張力算出処理を示すフローチャートである。
2値化部83は、基準周期T0をしきい値として信号抽出部7の計測結果を2値化する(図11ステップS200)。具体的には、2値化部83は、信号抽出部7によって計測され記憶部80に記憶されたMHPの周期が基準周期T0以上であれば2値化出力を「1」(ハイレベル)とし、MHPの周期が基準周期T0未満であれば2値化出力を「0」(ローレベル)とする。2値化部83の出力は記憶部80に格納される。2値化部83は、このような2値化処理をMHPが発生する度に行う。
【0039】
続いて、周期測定部84は、2値化部83の出力の立ち上がりエッジの周期を立ち上がりエッジが発生する度に測定する(図11ステップS201)。このとき、周期測定部84は、上記のサンプリングクロックCLKの周期を1単位として2値化出力の周期を測定する。周期測定部84の測定結果は記憶部80に格納される。
【0040】
ウェブ11に張力が掛かっていると、ウェブ11は張力に応じた固有の振動周波数で振動している。周期測定部84がMHPの周期を2値化した2値化出力の周期を求めることは、鉛直方向(図2の上下方向)に沿って振動しているウェブ11の振動周期を求めることを意味する。この振動周期からウェブ11の振動周波数を求めることが可能である。周波数算出部85は、周期測定部84が測定した周期Tsigからウェブ11の振動周波数fsig[Hz]を次式のように算出する(図11ステップS202)。
fsig=fad/Tsig ・・・(4)
【0041】
上記のとおり、fadはサンプリングクロックCLKの周波数である。周波数算出部85の算出結果は、記憶部80に格納される。周波数算出部85は、周波数算出処理を周期測定部84によって周期Tsigが測定される度に行う。
張力算出部86は、速度算出部82が算出したウェブ11の速度Vと周波数算出部85が算出したウェブ11の振動周波数fsigとからウェブ11の張力F[N]を次式のように算出する(図11ステップS203)。
F=M×W×(2×S×fsig−V)2×10-9 ・・・(5)
【0042】
式(5)において、Mはウェブ11の1mm幅あたりの単位質量[g/m]、Wはウェブ11の幅[mm]、Sはウェブ11のスパン[mm]、すなわち図2の送出側ガイド軸100と受取側ガイド軸101間の距離である。なお、式(5)では、ウェブ11の速度Vをmm/sの単位で用いている。張力算出部86は、張力算出処理を周波数算出部85によって振動周波数fsigが算出される度に行う。
【0043】
以上で、演算部8の速度算出処理と張力算出処理とが終了する。表示部9は、演算部8が算出したウェブ11の速度Vと張力Fとを表示する。
ウェブ搬送装置の制御部104は、演算部8の算出結果に基づいて、ウェブ11の速度と張力とがそれぞれ所望の値になるように、送出側モータ駆動部と受取側モータ駆動部とを制御する。
【0044】
次に、基準周期T0の補正について説明する。本実施の形態によれば、高分解能の計測を実現することができるが、半面、基準周期T0の分解能が低く精度が低下する傾向にあり、速度Vや張力Fの絶対精度が低下する可能性がある。そこで、本実施の形態では、基準周期T0を補正し、速度Vや張力Fの計測精度の低下を回避する。
【0045】
度数分別部87は、信号抽出部7によって計測され記憶部80に記憶されたMHPの周期の度数を、現在の基準周期T0の0.5倍未満の周期の度数Nsと、基準周期T0の0.5倍以上1.5倍以下の周期の度数Nと、これら以外の周期の度数の3つに分別する。
【0046】
周期分別部88は、信号抽出部7によって計測され記憶部80に記憶されたMHPの周期を、現在の基準周期T0の0.5倍未満の周期Ts(0.5T0>Ts)と、基準周期T0の0.5倍以上1.5倍以下の周期T(0.5T0≦T≦1.5T0)と、これら以外の周期の3つに分別する。
度数分別部87と周期分別部88とは、以上の分別処理を所定の測定期間毎に行う。第1の発振期間P1と第2の発振期間P2の各々を測定期間として設定してもよいし、これらの発振期間P1,P2とは別の長さで測定期間を設定してもよい。
【0047】
続いて、基準周期補正部89は、現在の基準周期T0と、基準周期T0の0.5倍未満の周期の度数Nsと、基準周期T0の0.5倍以上1.5倍以下の周期の度数Nと、基準周期T0の0.5倍未満の周期Tsと、基準周期T0の0.5倍以上1.5倍以下の周期Tとから、以下の式のように基準周期T0の補正値T0’を算出する。
T0’=(ΣTi−Ns×T0+ΣTsj)/(N−Ns) ・・・(6)
【0048】
式(6)において、Tiは基準周期T0の0.5倍以上1.5倍以下の周期Tに含まれるi番目(iは1〜Nの整数)の周期を意味し、Tsjは基準周期T0の0.5倍未満の周期Tsに含まれるj番目(jは1〜Nsの整数)の周期を意味する。
また、基準周期補正部89は、次式により基準周期T0の補正値T0’を算出してもよい。
T0’=(ΣTi+ΣTsj)/N ・・・(7)
【0049】
そして、基準周期補正部89は、式(6)または式(7)によって算出した補正値T0’を新たな基準周期T0として記憶部80に設定する。基準周期補正部89は、以上のような基準周期T0の補正を上記測定期間毎に行う。
【0050】
図12は基準周期T0の補正原理を説明するための図であり、フィルタ部6の出力電圧の波形、すなわちMHPの波形を模式的に示す図である。本来、MHPの周期は半導体レーザ1とウェブ11との距離によって異なるが、ウェブ11との距離が不変であれば、MHPは同じ周期で出現する。しかし、ノイズのために、MHPの波形には欠落が生じたり、信号として数えるべきでない波形が生じたりして、MHPの周期に誤差が生じる。
【0051】
信号の欠落が生じると、欠落が生じた箇所でのMHPの周期Twは、本来の周期のおよそ2倍になる。つまり、MHPの周期が基準周期T0のおよそ2倍以上の場合には、信号に欠落が生じていると判断できる。また、ノイズをカウントした箇所でのMHPの周期Tsは、本来の周期のおよそ0.5倍になる。つまり、MHPの周期が基準周期T0のおよそ0.5倍未満の場合には、信号を過剰に数えていると判断できる。以上の考え方により、ノイズをカウントしたと見なす周期Tsと信号に欠落が生じたと見なす周期Twを分別できることになる。
【0052】
半導体レーザ1の発振波長変化が線形である場合、MHPの周期は基準周期T0を中心にして正規分布する(図13)。
MHPの波形に欠落が生じた場合を考えると、計測時に欠落が生じたとしても、元々の正規分布は変化しないため、基準周期T0の1.5倍よりも長い周期の度数は無視してもよく、基準周期T0の0.5倍以上1.5倍以下のMHPの周期とその度数から基準周期T0の補正値T0’を算出すればよいことになる。
【0053】
また、ノイズによって2分割されたMHPの周期を考えると、ノイズを過剰に数えた結果として2分割されたMHPの周期は、ランダムな割合で2分割されるが、分割される前の周期がT0を中心とした正規分布であるために、0.5T0に対して対称な度数分布になる(図14のa)。
【0054】
そこで、2分割されたMHPの周期のうち基準周期T0の0.5倍以上の周期の度数は無視し、基準周期T0の0.5倍未満の周期の度数Nsを減算して、基準周期T0の補正値T0’を算出すればよいことになる。この考え方に基づく算出方法が式(6)による算出方法である。また、基準周期T0の0.5倍以上1.5倍以下の周期Tに、基準周期T0の0.5倍未満の周期Tsも加算して、基準周期T0の補正値T0’を算出してもよい。この考え方に基づく算出方法が式(7)による算出方法である。
【0055】
以上が、基準周期T0の補正原理である。なお、信号に欠落が生じたと見なす周期Twを決めるためのしきい値を基準周期T0の1.5倍の値とした理由は、ノイズをカウントしたと見なす周期Tsを決めるためのしきい値(基準周期T0の0.5倍の値)との対称性を考慮したためである。つまり、正規分布は、平均値を中心に対称な分布である。正規分布の平均値を算出する母集団として、周期が短い側の値を基準周期T0の0.5倍としたため、周期が長い側については周期が短い側との対称性を考慮して基準周期T0の1.5倍にしている。
【0056】
以上のように、本実施の形態では、ウェブ11の張力を非接触式で計測できることから、鋼板のような曲げることが難しいウェブ11にも適用することができ、ウェブ11の種類によらずにウェブの張力を計測することができる。
【0057】
また、本実施の形態では、外乱光に強いという利点を有する自己結合型レーザ計測器を用いてウェブ11の張力を計測するので、マイクロフォンを用いてウェブの振動周波数を求める従来の方法に比べて、外乱に対する耐性を向上させることができる。また、本実施の形態では、ウェブの張力と同時に、ウェブの速度を計測することができる。本実施の形態の張力・速度計測装置は、ドップラーレーザ速度計に比べて安価に実現することができる。また、本実施の形態では、基準周期T0を補正することにより、ウェブ11の速度や張力の計測精度の低下を回避することができる。
【0058】
[第2の実施の形態]
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。本実施の形態は基準周期T0の初期値の他の求め方を説明するものである。図15は本実施の形態の演算部8aの構成の1例を示すブロック図である。演算部8aは、記憶部80と、速度算出部82と、2値化部83と、周期測定部84と、周波数算出部85と、張力算出部86と、度数分別部87と、周期分別部88と、基準周期補正部89と、フィルタ部6の出力信号に含まれるMHPの数を数える計数部90と、計数部90によってMHPの数を数える期間における最小発振波長と最大発振波長と計数部90の計数結果とから半導体レーザ1とウェブ11との距離を算出する距離算出部91と、距離算出部91が算出した距離から基準周期T0の初期値を求める基準周期算出部92とから構成される。
【0059】
本実施の形態では、半導体レーザ1の発振波長の変化速度が一定で、かつ発振波長の最大値λbおよび発振波長の最小値λaがそれぞれ一定で、それらの差λb−λaも一定である必要がある。
【0060】
半導体レーザ1、フォトダイオード2、レーザドライバ4、電流−電圧変換増幅部5、フィルタ部6、信号抽出部7、速度算出部82、2値化部83、周期測定部84、周波数算出部85、張力算出部86、度数分別部87、周期分別部88および基準周期補正部89の動作は、第1の実施の形態と同じであるので、計数部90と距離算出部91と基準周期算出部92による基準周期T0の初期値の算出処理について説明する。
【0061】
計数部90は、フィルタ部6の出力に含まれるMHPの数を第1の発振期間P1と第2の発振期間P2の各々について数える。計数部90は、論理ゲートからなるカウンタを利用するものでもよいし、FFT(Fast Fourier Transform)を利用してMHPの周波数(すなわち単位時間あたりのMHPの数)を計測するものでもよい。計数部90の計数結果は記憶部80に格納される。
【0062】
次に、距離算出部91は、半導体レーザ1の最小発振波長λaと最大発振波長λbと計数部90が数えたMHPの数に基づいて、半導体レーザ1とウェブ11との距離を算出する。本実施の形態では、ウェブ11の状態を所定の条件を満たす微小変位状態、あるいは微小変位状態よりも動きが大きい変位状態のいずれかであるとする。発振期間P1と発振期間P2の1期間あたりのウェブ11の平均変位をVとしたとき、微小変位状態とは(λb−λa)/λb>V/Lbを満たす状態であり(ただし、Lbは時刻tのときの距離)、変位状態とは(λb−λa)/λb≦V/Lbを満たす状態である。
【0063】
まず、距離算出部91は、現時刻tにおける距離の候補値Lα(t),Lβ(t)と速度の候補値Vα(t),Vβ(t)を次式のように算出する。
Lα(t)=λa×λb×(MHP(t−1)+MHP(t))
/{4×(λb−λa)} ・・・(8)
Lβ(t)=λa×λb×(|MHP(t−1)−MHP(t)|)
/{4×(λb−λa)} ・・・(9)
Vα(t)=(MHP(t−1)−MHP(t))×λb/4 ・・・(10)
Vβ(t)=(MHP(t−1)+MHP(t))×λb/4 ・・・(11)
【0064】
式(8)〜式(11)において、MHP(t)は現時刻tにおいて算出されたMHPの数、MHP(t−1)はMHP(t)の1回前に算出されたMHPの数である。例えば、MHP(t)が第1の発振期間P1の計数結果であるとすれば、MHP(t−1)は第2の発振期間P2の計数結果であり、逆にMHP(t)が第2の発振期間P2の計数結果であるとすれば、MHP(t−1)は第1の発振期間P1の計数結果である。
【0065】
候補値Lα(t),Vα(t)はウェブ11が微小変位状態にあると仮定して計算した値であり、候補値Lβ(t),Vβ(t)はウェブ11が変位状態にあると仮定して計算した値である。距離算出部91は、式(8)〜式(11)の計算を計数部90によってMHPの数が測定される時刻毎(発振期間毎)に行う。
【0066】
続いて、距離算出部91は、微小変位状態と変位状態の各々について、現時刻tにおける距離の候補値と、直前の時刻における距離の候補値との差である履歴変位を次式のように算出する。なお、式(12)、式(13)では、現時刻tの1回前に算出された距離の候補値をLα(t−1),Lβ(t−1)としている。
Vcalα(t)=Lα(t)−Lα(t−1) ・・・(12)
Vcalβ(t)=Lβ(t)−Lβ(t−1) ・・・(13)
【0067】
履歴変位Vcalα(t)はウェブ11が微小変位状態にあると仮定して計算した値であり、履歴変位Vcalβ(t)はウェブ11が変位状態にあると仮定して計算した値である。距離算出部91は、式(12)〜式(13)の計算を計数部90によってMHPの数が測定される時刻毎に行う。なお、式(10)〜式(13)においては、ウェブ11が本実施の形態の張力・速度計測装置に近づく方向を正の速度、遠ざかる方向を負の速度と定めている。
次に、距離算出部91は、式(8)〜式(13)の算出結果を用いて、ウェブ11の状態を判定する。
【0068】
特開2006−313080号公報(以下、参考文献と呼ぶ)に記載されているように、距離算出部91は、ウェブ11が微小変位状態にあると仮定して計算した履歴変位Vcalα(t)の符号が一定で、かつウェブ11が微小変位状態にあると仮定して計算した速度の候補値Vα(t)と履歴変位Vcalα(t)の絶対値の平均値とが等しい場合、ウェブ11が微小変位状態で等速度運動していると判定する。
【0069】
また、参考文献に記載されているように、距離算出部91は、ウェブ11が変位状態にあると仮定して計算した履歴変位Vcalβ(t)の符号が一定で、かつウェブ11が変位状態にあると仮定して計算した速度の候補値Vβ(t)と履歴変位Vcalβ(t)の絶対値の平均値とが等しい場合、ウェブ11が変位状態で等速度運動していると判定する。
【0070】
また、参考文献に記載されているように、距離算出部91は、ウェブ11が微小変位状態にあると仮定して計算した履歴変位Vcalα(t)の符号がMHPの数が測定される時刻毎に反転し、かつウェブ11が微小変位状態にあると仮定して計算した速度の候補値Vα(t)と履歴変位Vcalα(t)の絶対値の平均値とが一致しない場合、ウェブ11が微小変位状態で等速度運動以外の運動をしていると判定する。
【0071】
なお、速度の候補値Vβ(t)に着目すると、Vβ(t)の絶対値は定数となり、この値は半導体レーザ1の波長変化率(λb−λa)/λbと等しい。そこで、距離算出部91は、ウェブ11が変位状態にあると仮定して計算した速度の候補値Vβ(t)の絶対値が波長変化率と等しく、かつウェブ11が微小変位状態にあると仮定して計算した速度の候補値Vα(t)と履歴変位Vcalα(t)の絶対値の平均値とが一致しない場合、ウェブ11が微小変位状態で等速度運動以外の運動をしていると判定してもよい。
【0072】
また、参考文献に記載されているように、距離算出部91は、ウェブ11が変位状態にあると仮定して計算した履歴変位Vcalβ(t)の符号がMHPの数が測定される時刻毎に反転し、かつウェブ11が変位状態にあると仮定して計算した速度の候補値Vβ(t)と履歴変位Vcalβ(t)の絶対値の平均値とが一致しない場合、ウェブ11が変位状態で等速度運動以外の運動をしていると判定する。
【0073】
なお、速度の候補値Vα(t)に着目すると、Vα(t)の絶対値は定数となり、この値は半導体レーザ1の波長変化率(λb−λa)/λbと等しい。したがって、距離算出部91は、ウェブ11が微小変位状態にあると仮定して計算した速度の候補値Vα(t)の絶対値が波長変化率と等しく、かつウェブ11が変位状態にあると仮定して計算した速度の候補値Vβ(t)と履歴変位Vcalβ(t)の絶対値の平均値とが一致しない場合、ウェブ11が変位状態で等速度運動以外の運動をしていると判定してもよい。
【0074】
距離算出部91は、上記の判定結果に基づいて半導体レーザ1とウェブ11との距離を確定する。すなわち、距離算出部91は、ウェブ11が微小変位状態で等速度運動していると判定された場合、距離の候補値Lα(t)を半導体レーザ1とウェブ11との距離とし、ウェブ11が変位状態で等速度運動していると判定された場合、距離の候補値Lβ(t)を半導体レーザ1とウェブ11との距離とする。
【0075】
また、距離算出部91は、ウェブ11が微小変位状態で等速度運動以外の運動をしていると判定された場合、距離の候補値Lα(t)を半導体レーザ1とウェブ11との距離とする。ただし、実際の距離は、距離の候補値Lα(t)の平均値となる。また、距離算出部91は、ウェブ11が変位状態で等速度運動以外の運動をしていると判定された場合、距離の候補値Lβ(t)を半導体レーザ1とウェブ11との距離とする。ただし、実際の距離は、距離の候補値Lβ(t)の平均値となる。
【0076】
次に、基準周期算出部92は、距離算出部91が算出した距離からMHPの周期を求め、この周期を基準周期T0の初期値として記憶部80に格納する。MHPの周波数は測定距離に比例し、MHPの周期は測定距離に反比例する。そこで、MHPの周期と距離との関係を予め求めて基準周期算出部92のデータベース(不図示)に登録しておけば、基準周期算出部92は、距離算出部91によって算出された距離に対応するMHPの周期をデータベースから取得することにより、MHPの周期を求めることができる。あるいは、MHPの周期と距離との関係を示す数式を予め求めて設定しておけば、基準周期算出部92は、距離算出部91によって算出された距離を数式に代入することにより、MHPの周期を算出することができる。以上のようにして、本実施の形態では、基準周期T0の初期値を求めることができる。
【0077】
[第3の実施の形態]
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。本実施の形態は、基準周期T0の初期値の他の求め方を説明するものである。図16は本実施の形態の演算部8bの構成の1例を示すブロック図である。演算部8bは、記憶部80と、速度算出部82と、2値化部83と、周期測定部84と、周波数算出部85と、張力算出部86と、度数分別部87と、周期分別部88と、基準周期補正部89と、計数部90と、半導体レーザ1とウェブ11との平均距離に比例したMHPの数(以下、距離比例個数とする)NLを求める距離比例個数算出部93と、計数部90の計数結果の増減方向の一致不一致あるいは計数結果の平均値の変化に応じて、計数部90の最新の計数結果に正負の符号を付与する符号付与部94と、距離比例個数NLからMHPの周期を算出する基準周期算出部95とから構成される。
【0078】
半導体レーザ1、フォトダイオード2、レーザドライバ4、電流−電圧変換増幅部5、フィルタ部6、信号抽出部7、速度算出部82、2値化部83、周期測定部84、周波数算出部85、張力算出部86、度数分別部87、周期分別部88および基準周期補正部89の動作は、第1の実施の形態と同じであるので、計数部90と距離比例個数算出部93と符号付与部94と基準周期算出部95による基準周期T0の初期値の算出処理について説明する。
【0079】
計数部90の動作は第2の実施の形態で説明したとおりである。距離比例個数算出部93は、記憶部80に格納された、計数部90の計数結果から距離比例個数NLを求める。図17(A)、図17(B)は距離比例個数算出部93の動作を説明するための図であり、図17(A)は半導体レーザ1の発振波長の時間変化を示す図、図17(B)は計数部90の計数結果の時間変化を示す図である。図17(B)において、Nuは第1の発振期間P1の計数結果、Ndは第2の発振期間P2の計数結果である。
【0080】
図17(A)から明らかなように、第1の発振期間P1と第2の発振期間P2は交互に訪れるので、計数結果Nuと計数結果Ndも交互に現れる。計数結果Nu,Ndは、距離比例個数NLとウェブ11の変位に比例したMHPの数(以下、変位比例個数とする)NVとの和もしくは差である。距離比例個数NLは、計数結果NuとNdの平均値に相当する。また、計数結果NuまたはNdと距離比例個数NLとの差が、変位比例個数NVに相当する。
【0081】
距離比例個数算出部93は、次式に示すように現時刻t以前の計数結果NuとNdとを用いて、距離比例個数NLを算出する。
NL=(Nu+Nd)/2 ・・・(14)
【0082】
ただし、距離比例個数算出部93は、ウェブ11の速度および張力の計測開始初期には、式(14)を用いて距離比例個数NLを算出するが、途中からは式(14)の代わりに後述する符号付き計数結果を用いる次式により距離比例個数NLを算出する。
NL=(Nu’+Nd’)/2 ・・・(15)
【0083】
式(15)において、Nu’は計数結果Nuに後述する符号付与処理を施した後の符号付き計数結果、Nd’は計数結果Ndに符号付与処理を施した後の符号付き計数結果である。式(15)が使用されるのは、符号付与部94が符号付き計数結果を出力したとき以降である。
距離比例個数NLは、記憶部80に格納される。距離比例個数算出部93は、以上のような距離比例個数NLの算出処理を、計数部90によってMHPの数が測定される時刻毎(発振期間毎)に行う。
【0084】
次に、符号付与部94は、計数部90の計数結果Nu,Ndの増減方向の一致不一致、あるいは計数結果Nu,Ndの平均値の変化に基づいて、計数部90の最新の計数結果に正負の符号を付与する。図18(A)、図18(B)、図19(A)、図19(B)は符号付与部94の動作を説明するための図であり、図18(A)、図19(B)は半導体レーザ1の発振波長の時間変化を示す図、図18(B)、図19(B)は計数部90の計数結果の時間変化を示す図である。なお、図18(B)、図19(B)の例では、計数結果Nuが、半導体レーザ1の発振波長の伸び縮み方向がウェブ11の速度方向と対向しているときの計数結果Nαである場合を示している。
【0085】
ウェブ11の振動に伴う半導体レーザ1とウェブ11との距離変化率が半導体レーザ1の発振波長変化率よりも小さく、ウェブ11が鉛直方向に沿って単振動している場合、第1の発振期間P1の計数結果Nuの時間変化と第2の発振期間P2の計数結果Ndの時間変化は、図18(B)に示すように互いの位相差が180度の正弦波形となる。参考文献では、このときのウェブ11の状態を微小変位状態としている。
【0086】
一方、半導体レーザ1とウェブ11との距離変化率が半導体レーザ1の発振波長変化率よりも大きい場合、計数結果Ndの時間変化は、図19(B)の負側の波形250が正側の波形251に折り返された形になる。参考文献では、この計数結果の折り返しが生じている部分におけるウェブ11の状態を変位状態としている。一方、計数結果の折り返しが生じていない部分におけるウェブ11の状態は、上記の微小変位状態である。
【0087】
計数結果の折り返しが生じている部分において、計数結果をそのまま用いて距離比例個数NLを算出すると、距離比例個数NLが本来の値と異なる値になる。
つまり、距離比例個数NLを正しく求めるためには、ウェブ11が変位状態であるか微小変位状態であるかを判定し、ウェブ11が変位状態である場合には、正側に折り返されている計数結果に負の符号を付与する補正を行う必要がある。
【0088】
符号付与部94は、図18(B)に示すように計数結果Nuの時間変化と計数結果Ndの時間変化が同相でない場合、計数部90の現時刻tの計数結果N(t)に正の符号を付与した符号付き計数結果N’(t)を出力し、図19(B)に示すように計数結果Nuの時間変化と計数結果Ndの時間変化が同相である場合、現時刻tの計数結果N(t)に負の符号を付与した符号付き計数結果N’(t)を出力する。
【0089】
現時刻tの計数結果がNuであれば、計数結果Nuの増減は、現時刻tの計数結果Nu(t)と2回前の計数結果Nu(t−2)との差Nu(t)−Nu(t−2)の符号で判別することができ、計数結果Ndの増減は、1回前の計数結果Nd(t−1)と3回前の計数結果Nd(t−3)との差Nd(t−1)−Nd(t−3)の符号で判別することができる。一方、現時刻tの計数結果がNdであれば、計数結果Nuの増減は、1回前の計数結果Nu(t−1)と3回前の計数結果Nu(t−3)との差Nu(t−1)−Nu(t−3)の符号で判別することができ、計数結果Ndの増減は、現時刻tの計数結果Nd(t)と2回前の計数結果Nd(t−2)との差Nd(t)−Nd(t−2)の符号で判別することができる。
【0090】
このような増減の判別の結果、計数結果Nu,Ndが共に増加している場合あるいは共に減少している場合は、計数結果Nuの時間変化と計数結果Ndの時間変化が同相であり、ウェブ11が変位状態であると判断することができる。また、計数結果Nu,Ndのどちらか一方が増加していて他方が減少している場合は、計数結果Nuの時間変化と計数結果Ndの時間変化が同相でなく、ウェブ11が変位状態でないと判断することができる。
【0091】
また、図19(B)で説明したような計数結果の折り返しが生じると、計数結果Nu,Ndの平均値に変化が生じる。そこで、符号付与部94は、計数結果Nu,Ndの平均値の変化に応じて計数部90の最新の計数結果に正負の符号を付与するようにしてもよい。
【0092】
この場合、符号付与部94は、現時刻t以前に求めた計数結果Nuの最新の平均値がこの値よりも前に求めた計数結果Nuの平均値に対して所定のしきい値以内であり、かつ現時刻t以前に求めた計数結果Ndの最新の平均値がこの値よりも前に求めた計数結果Nuの平均値に対して所定のしきい値以内である場合、現時刻tの計数結果N(t)に正の符号を付与した符号付き計数結果N’(t)を出力する。また、符号付与部94は、現時刻t以前に求めた計数結果Nuの最新の平均値がこの値よりも前に求めた計数結果Nuの平均値に対して所定のしきい値を超えて変化したり、現時刻t以前に求めた計数結果Ndの最新の平均値がこの値よりも前に求めた計数結果Nuの平均値に対して所定のしきい値を超えて変化したりした場合、現時刻tの計数結果N(t)に負の符号を付与した符号付き計数結果N’(t)を出力する。
【0093】
符号付き計数結果N’(t)は、記憶部80に格納される。符号付与部94は、以上のような符号付与処理を、計数部90によってMHPの数が測定される時刻毎(発振期間毎)に行う。
【0094】
次に、基準周期算出部95は、距離比例個数NLから基準周期T0を次式のように算出する。
T0=C/(2×f×NL) ・・・(16)
ここで、fは三角波の周波数、Cは光速である。基準周期算出部95は、式(16)によって算出した周期を基準周期T0の初期値として記憶部80に格納すればよい。以上のようにして、本実施の形態では、基準周期T0の初期値を求めることができる。
【0095】
[第4の実施の形態]
次に、本発明の第4の実施の形態について説明する。第1の実施の形態では、2値化部83が基準周期T0をしきい値として信号抽出部7の計測結果を2値化し、周期測定部84が2値化部83の出力の周期を測定しているが、2値化する前にノイズ除去のために信号抽出部7の計測結果を補正してもよい。
【0096】
図20は本実施の形態の演算部8の構成の1例を示すブロック図である。本実施の形態の演算部8は、記憶部80と、基準周期算出部81と、速度算出部82と、後述する周期補正部97の出力を2値化する2値化部83aと、周期測定部84と、周波数算出部85と、張力算出部86と、度数分別部87と、周期分別部88と、基準周期補正部89と、移動平均値算出部96と、周期補正部97とから構成される。
【0097】
第1の実施の形態で説明したとおり、記憶部80は、信号抽出部7の計測結果を記憶する。移動平均値算出部96は、補正対象のMHPの周期の直前に計測された所定数のMHPの周期と補正対象のMHPの周期の直後に計測された所定数のMHPの周期との移動平均値Taveを算出する。ここで、補正対象のMHPの周期をTi、補正対象のMHPの前後からそれぞれ所定数k個のMHPの周期を算出に用いるとすると、移動平均値Taveは次式のようになる。
【0098】
【数1】
【0099】
周期補正部97は、移動平均値算出部96が算出した移動平均値Taveと補正対象のMHPの周期Tとを比較することにより、補正対象のMHPの周期Tを補正する。図21(A)〜図21(F)は周期補正部97の動作を説明するための図である。
【0100】
周期補正部97は、図21(A)に示すように補正対象のMHPの周期Tが0.5Tave未満の場合、図21(B)に示すように補正対象のMHPの周期Tと次に計測されたMHPの周期Tnextとを合わせた周期を補正後のMHPの周期T’とする。
周期補正部97は、補正対象のMHPの周期Tが0.5Tave以上1.5Tave未満の場合、補正対象のMHPの周期Tを補正しない。
【0101】
また、周期補正部97は、図21(C)に示すように補正対象のMHPの周期Tが1.5Tave以上2.5Tave未満の場合、図21(D)に示すように補正対象のMHPの周期Tを2等分した周期をそれぞれ補正後の周期T1’,T2’とする。
また、周期補正部97は、図21(E)に示すように補正対象のMHPの周期Tが2.5Tave以上3.5Tave未満の場合、図21(F)に示すように補正対象のMHPの周期Tを3等分した周期をそれぞれ補正後の周期T1’,T2’,T3’とする。3.5Tave以上についても同様である。すなわち、周期補正部97は、補正対象のMHPの周期Tが(m−0.5)Tave以上で(m+0.5)Tave未満の場合(mは2以上の自然数)、補正対象のMHPの周期Tをm等分した周期をそれぞれ補正後の周期とする。周期補正部97は、以上のような補正処理を信号抽出部7から計測結果が出力される度に行う。
【0102】
図22は信号抽出部7の計測結果の補正原理を説明するための図であり、フィルタ部6の出力電圧の波形、すなわちMHPの波形を模式的に示す図である。ただし、説明を簡単にするため、ここでの原理はウェブ11が静止している場合もしくはウェブ11の振動の中心が変化しない場合を説明しており、補正対象のMHPの周期の比較対象として移動平均値Taveの代わりに、基準周期T0を用いている。基準周期T0は、ウェブ11が静止していたときのMHPの周期、算出された距離におけるMHPの周期、もしくは周期補正部97による周期補正の直前に計測された一定数のMHPの周期の移動平均値のいずれかである。ウェブ11の振動の中心が変化する場合の周期補正の原理については後述する。
【0103】
MHPの周期はウェブ11との距離によって異なるが、ウェブ11との距離が不変であれば、MHPは同じ周期で出現する。しかし、ノイズのために、MHPの波形には欠落が生じたり、信号として数えるべきでない波形が生じたりして、MHPの周期に誤差が生じる。
信号の欠落が生じると、欠落が生じた箇所でのMHPの周期Twは、本来の周期のおよそ2倍になる。つまり、MHPの周期が基準周期T0のおよそ2倍以上の場合には、信号に欠落が生じていると判断できる。そこで、周期Twを2等分することで、信号の欠落を補正することができる。
【0104】
また、ノイズをカウントした箇所でのMHPの周期Tsは、本来の周期のおよそ0.5倍になる。つまり、MHPの周期が基準周期T0のおよそ0.5倍未満の場合には、信号を過剰に数えていると判断できる。そこで、周期Tsと次に計測される周期Tnextとを加算することで、誤って数えたノイズを補正することができる。
【0105】
以上が、MHPの周期補正の基本原理である。次に、信号に欠落が生じたと見なす周期Twを決めるためのしきい値を基準周期T0(実際に用いるのは移動平均値Tave)の2倍の値とせずに、1.5倍とする理由について説明する。半導体レーザ1の発振波長変化が線形である場合、MHPの周期は基準周期T0を中心にして正規分布する。
【0106】
ここで、MHPの波形に欠落が生じた場合を考える。MHPの強度が小さいために計測時に欠落が生じた場合のMHPの周期は、本来のMHPの周期がT0を中心とした正規分布であるために、平均値が2T0、標準偏差2σの正規分布(図23のf)になる。j[%]のMHPが欠落したときに、第1の発振期間P1または第2の発振期間P2のいずれかにおいて信号抽出部7がMHPの数を数えた結果、MHPの数がNであったとすると、この欠落によって周期が2倍になったMHPの周期の度数はNw(=j[%]・N)である。また、計測時の欠落によって減少した後のおおよそT0の周期の度数は、図23に示すgであり、図23のhに示す度数の減少分は2Nw(=2j[%])である。したがって、第1の発振期間P1または第2の発振期間P2のいずれかにおいて、MHPの欠落が生じなかった場合の本来のMHPの数N’は以下の式で表すことができる。
N’=N+j[%]=N+Nw ・・・(18)
【0107】
次に、MHPの周期の計測結果を補正するためのしきい値について考える。ここで、計測時の欠落によって周期が2倍になったMHPの周期の度数Nwのうちノイズによってp[%]が2分割された場合を仮定する。欠落したMHPのうち2分割されたMHPの周期の度数は、Nw’(=j・p[%]・N)である。再度2分割されたMHPの周期の度数分布は、図24のようになる。Nwとみなす周期のしきい値を1.5T0にすると、周期が0.5T0以下のMHPの周期の度数は0.5Nw’(=0.5p[%]・Nw)、周期が0.5T0から1.5T0までのMHPの周期の度数はNw’(=p[%]・Nw)、周期が1.5T0以上のMHPの周期の度数は0.5Nw’(=0.5p[%]・Nw)となる。
【0108】
よって、全てのMHPの周期の度数分布は図25のようになり、上記のTsに対応する周期の度数Nsのしきい値を0.5T0、上記のTwに対応する周期の度数Nwのしきい値を1.5T0にすると、計数結果Nは以下の式で表すことができる。
N=(N’−2Nw)+(Nw−Nw’)+2Nw’=N’−Nw+Nw’
・・・(19)
【0109】
式(19)より、補正された結果は以下のようになり、計数時にMHPの欠落が生じなかった場合の本来のMHPの数N’が算出されることが分かる。
N−0.5Nw’+(0.5Nw’+(Nw−Nw’))
=(N−Nw+Nw’)+(0.5Nw’+(Nw−Nw’))
=N’ ・・・(20)
【0110】
以上のことから、度数Nwを求める際の周期のしきい値を基準周期T0の1.5倍とすれば、計数結果Nを補正できることが分かる。MHPの周期Tと計数結果Nとは、三角波の半周期あたりのサンプリングクロック数をMとすると、T=M/Nの関係にあり、Mは一定値であるから、信号に欠落が生じたと見なす周期Twを決めるためのしきい値は、計数結果Nの場合と同様に、基準周期T0の1.5倍とすればよいことが分かる。
【0111】
次に、ウェブ11の振動の中心が変化する場合の周期補正の原理について説明する。MHPの周波数は、ウェブ11との距離に比例した周波数(このときの周期が基準周期T0)とウェブ11の速度に比例する周波数との和で表すことができる。ウェブ11がある状態でMHPの周期がTの場合、個々のMHPの周期の確率分布はノイズなどによってばらつきが生じ、Tを中心とした概ね正規分布になる。よって、ウェブ11が静止している場合、個々のMHPの周期の確率分布も基準周期T0を中心とした正規分布になり、静止している期間のMHPの周期の度数分布は、前記のように基準周期T0を中心とした正規分布になる。
【0112】
ここで、図26に示すようにウェブ11が等速運動している場合を考える。自己結合型のレーザセンサでは、ウェブ11の速度の変化によるMHPの周波数の変化割合と比較すると、ウェブ11との距離の変化によるMHPの周期の変化は非常に小さい。このため、個々のMHPの周期の確率分布は、図26のA点でもB点でも、ウェブ11との平均距離に相当するT0から速度の大きさの分だけ周期が変化した値Tを中心とした正規分布になるため、A点からB点の期間のMHPの周期の度数分布も、Tを中心とした正規分布になる(図27)。
【0113】
次に、図28(A)、図28(B)に示すようにウェブ11の速度が変化している場合を考える。ここでは、簡略化するために、折れ線運動を考える。すなわち、ウェブ11との距離Lを期間Aにおける距離LAと期間Bにおける距離LBに簡略化し、同様にウェブ11の速度Vを期間Aにおける速度VAと期間Bにおける速度VBに簡略化する。このようにウェブ11の運動を簡略化すると、MHPの周期の度数分布は図29のようになる。図29においてTAは期間Aにおけるウェブ11の平均速度に対応するMHPの周期、TBは期間Bにおけるウェブ11の平均速度に対応するMHPの周期である。
【0114】
ウェブ11の速度変化がなだらかに変化しているとしたら、図28(A)、図28(B)の時刻tでのウェブ11の速度は速度VAとVBとの間にあるので、MHPの周期も周期TAとTBとの間にある。このときのMHPの周期をTXとすると、信号に欠落が生じて2つのMHPが1つになった場合のMHPの周期の確率分布は、2TXを中心とした正規分布になると考えられる。また、周期TXのMHPがノイズで2分割された場合のMHPの2つの確率分布は、0.5TXを軸にした対称の形になる。したがって、TAからTBの間の値と考えられるTXの周期補正を考える場合、基準周期T0の代わりに、TAとTBの移動平均値Taveを基準として周期補正を行うことが妥当である。以上が、ウェブ11の振動の中心が変化する場合のMHPの周期補正の原理である。
【0115】
2値化部83aは、周期補正部97によって補正されたMHPの周期を、基準周期T0をしきい値として2値化する。
基準周期算出部81、速度算出部82、周期測定部84、周波数算出部85、張力算出部86、度数分別部87、周期分別部88および基準周期補正部89の動作は、第1の実施の形態で説明したとおりである。
こうして、本実施の形態では、MHPの周期の誤差を補正することができるので、ウェブ11の速度や張力の計測精度を向上させることができる。
【0116】
[第5の実施の形態]
次に、本発明の第5の実施の形態について説明する。本実施の形態は、補正対象のMHPの周期の比較対象として移動平均値Taveを用いる代わりに、補正対象のMHPの周期の直前に計測された所定数のMHPの周期の移動平均値TAと補正対象のMHPの周期の直後に計測された所定数のMHPの周期の移動平均値TBとを用いるものである。本実施の形態においても、張力・速度計測装置の構成および演算部の構成は第4の実施の形態と同様であるので、図1、図20の符号を用いて説明する。
【0117】
本実施の形態の移動平均値算出部96は、補正対象のMHPの周期の直前に計測された所定数のMHPの周期の移動平均値TAと補正対象のMHPの周期の直後に計測された所定数のMHPの周期の移動平均値TBとを算出する。移動平均値算出部96は、このような算出処理を信号抽出部7から計測結果が出力される度に行う。
【0118】
周期補正部97は、移動平均値算出部96が算出した移動平均値TA,TBと補正対象のMHPの周期とを比較することにより、補正対象のMHPの周期を補正する。すなわち、周期補正部97は、TA<TBで、補正対象のMHPの周期が0.5TA未満の場合、図21(A)、図21(B)の場合と同様に補正対象のMHPの周期と次に計測されたMHPの周期とを合わせた周期を補正後のMHPの周期とする。周期補正部97は、TA<TBで、補正対象のMHPの周期が0.5TA以上1.5TB未満の場合、補正対象のMHPの周期を補正しない。周期補正部97は、TA<TBで、補正対象のMHPの周期が(m−0.5)TB以上で(m+0.5)TB未満の場合(mは2以上の自然数)、図21(C)、図21(D)、図21(E)、図21(F)の場合と同様に補正対象のMHPの周期をm等分した周期をそれぞれ補正後の周期とする。
【0119】
また、周期補正部97は、TA>TBで、補正対象のMHPの周期が0.5TB未満の場合、補正対象のMHPの周期と次に計測されたMHPの周期とを合わせた周期を補正後のMHPの周期とする。周期補正部97は、TA>TBで、補正対象のMHPの周期が0.5TB以上1.5TA未満の場合、補正対象のMHPの周期を補正しない。周期補正部97は、TA>TBで、補正対象のMHPの周期が(m−0.5)TA以上で(m+0.5)TA未満の場合、補正対象のMHPの周期をm等分した周期をそれぞれ補正後の周期とする。
【0120】
移動平均値算出部96と周期補正部97以外の動作は、第4の実施の形態と同じである。こうして、本実施の形態では、第4の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
なお、第4の実施の形態と第5の実施の形態とを統一した思想で表現すると、周期補正部97の動作は以下のようになる。すなわち、周期補正部97は、移動平均値算出部96が算出した2つの移動平均値のうち小さい方をT1、大きい方をT2とし、Tx=T1+α・(T2−T1)としたとき(0≦α≦1)、補正対象のMHPの周期がk・Tx未満の場合は(kは1未満の正の値)、補正対象のMHPの周期と次に計測されたMHPの周期とを合わせた周期を補正後のMHPの周期とし、周期を合わせた波形を1つの波形とする。また、周期補正部97は、補正対象のMHPの周期が(m−0.5)・Tx以上で(m+0.5)・Tx未満の場合は(mは2以上の自然数)、補正対象のMHPの周期をm等分した周期をそれぞれ補正後の周期とし、補正後の周期の波形がm個あるものとする。
【0121】
[第6の実施の形態]
次に、本発明の第6の実施の形態について説明する。第1の実施の形態では、2値化部83が基準周期T0をしきい値として信号抽出部7の計測結果を2値化し、周期測定部84が2値化部83の出力の周期を測定しているが、2値化した後にノイズ除去のために2値化部83の出力を補正してもよい。
【0122】
図30は本実施の形態の演算部8の構成の1例を示すブロック図である。演算部8は、記憶部80と、基準周期算出部81と、速度算出部82と、2値化部83と、周期測定部84と、後述する計測結果補正部111によって補正された計数結果に基づいてウェブ11の振動周波数を算出する周波数算出部85aと、張力算出部86と、度数分別部87と、周期分別部88と、基準周期補正部89と、2値化出力の周期の度数分布を作成する度数分布作成部98と、2値化出力の周期の分布の代表値である代表周期を算出する代表周期算出部99と、2値化出力のパルスの数を数える2値化出力計数手段となるカウンタ110と、カウンタ110の計数結果を補正する計測結果補正部111とから構成される。
【0123】
周期測定部84は、第1の実施の形態で説明したとおり、2値化部83の出力の周期を測定する。周期測定部84の測定結果は記憶部80に格納される。
次に、度数分布作成部98は、周期測定部84の測定結果から、一定時間TD(TDは例えばMHP100個分の時間)における周期の度数分布を作成する。図31は度数分布の1例を示す図である。度数分布作成部98が作成した度数分布は、記憶部80に格納される。度数分布作成部98は、このような度数分布の作成をTD時間毎に行う。
【0124】
続いて、代表周期算出部99は、度数分布作成部98が作成した度数分布から、2値化部83の出力の周期の代表値である代表周期TEを算出する。一般に、周期の代表値は最頻値や中央値であるが、本実施の形態においては、最頻値や中央値が周期の代表値として適していない。そこで、代表周期算出部99は、階級値と度数との積が最大となる階級値を代表周期TEとする。表1に、度数分布の数値例およびこの数値例における階級値と度数との積を示す。
【0125】
【表1】
【0126】
表1の例では、度数が最大である最頻値(階級値)は1である。これに対して、階級値と度数との積が最大となる階級値は6であり、最頻値とは異なる値になっている。階級値と度数との積が最大となる階級値を代表周期TEとする理由については後述する。算出された代表周期TEの値は、記憶部80に格納される。代表周期算出部99は、このような代表周期TEの算出を、度数分布作成部98によって度数分布が作成される度に行う。
【0127】
一方、カウンタ110は、周期測定部84および度数分布作成部98と並行して動作し、度数分布作成部98が度数分布作成の対象とする期間と同じ一定時間TDの期間において、2値化部83の出力の立ち上がりエッジの数N(すなわち、2値化部83の出力の「1」のパルスの数)を数える。カウンタ110の計数結果Nは、記憶部80に格納される。カウンタ110は、このような2値化部83の出力の計数をTD時間毎に行う。
【0128】
計測結果補正部111は、度数分布作成部98が作成した度数分布から、代表周期TEの0.5倍以下である階級の度数の総和Nsと、代表周期TEの1.5倍以上である階級の度数の総和Nwとを求め、カウンタ110の計数結果Nを次式のように補正する。
N’=N−Ns+Nw ・・・(21)
式(21)において、N’は補正後の計数結果である。この補正後の計数結果N’は、記憶部80に格納される。計測結果補正部111は、このような補正をTD時間毎に行う。
【0129】
図32は度数の総和NsとNwを模式的に表す図である。図32において、Tsは代表周期TEの0.5倍の階級値、Twは代表周期TEの1.5倍の階級値である。図32における階級が、周期の代表値であることは言うまでもない。なお、図32では記載を簡略化するため、代表周期TEとTsとの間、及び代表周期TEとTwとの間の度数分布を省略している。
【0130】
図33はカウンタ110の計数結果の補正原理を説明するための図であり、図33(A)は2値化部83の出力を示す図、図33(B)は図33(A)に対応するカウンタ110の計数結果を示す図である。
本来、2値化部83の出力の周期はウェブ11の振動周波数によって異なるが、ウェブ11の振動周波数が不変であれば、2値化部83の出力のパルスは同じ周期で出現する。しかし、ノイズのために、MHPの波形には欠落が生じたり、信号として数えるべきでない波形が生じたりして、結果として2値化部83の出力の波形にも欠落や信号として数えるべきでない波形が生じ、2値化部83の出力のパルスの計数結果に誤差が生じる。
【0131】
信号の欠落が生じると、欠落が生じた箇所での2値化部83の出力の周期Twは、本来の周期のおよそ2倍になる。つまり、2値化部83の出力の周期が代表周期TEのおよそ2倍以上の場合には、信号に欠落が生じていると判断できる。そこで、周期Tw以上の階級の度数の総和Nwを信号が欠落した回数と見なし、このNwをカウンタ110の計数結果Nに加算することで、信号の欠落を補正することができる。
【0132】
また、スパイクノイズなどによって本来の信号が分割された箇所での2値化部83の出力の周期Tsは、本来の周期と比較して0.5倍よりも短い信号と0.5倍よりも長い信号の2つになる。つまり、2値化部83の出力の周期が代表周期TEのおよそ0.5倍以下の場合には、信号を過剰に数えていると判断できる。そこで、周期Ts以下の階級の度数の総和Nsを信号を過剰に数えた回数と見なし、このNsをカウンタ110の計数結果Nから減算することで、誤って数えたノイズを補正することができる。以上が、式(21)に示した計数結果の補正原理である。
【0133】
周波数算出部85aは、計測結果補正部111が計算した補正後の計数結果N’に基づいて、ウェブ11の振動周波数fsigを次式のように算出する。
fsig=N’/TD ・・・(22)
【0134】
基準周期算出部81、速度算出部82、張力算出部86、度数分別部87、周期分別部88および基準周期補正部89の動作は、第1の実施の形態で説明したとおりである。
以上のように、本実施の形態では、2値化部83の出力の周期を測定して一定時間TDにおける周期の度数分布を作成し、周期の度数分布から2値化部83の出力の周期の分布の代表値である代表周期TEを算出し、一定時間TDの期間において2値化部83の出力のパルスの数を数え、度数分布から、代表周期TEの0.5倍以下である階級の度数の総和Nsと代表周期TEの1.5倍以上である階級の度数の総和Nwとを求め、これらの度数NsとNwに基づいて2値化部83の出力のパルスの計数結果を補正することにより、2値化部83の出力の計数誤差を補正することができるので、ウェブ11の振動周波数の測定精度を向上させることができる。その結果、本実施の形態では、ウェブ11の速度や張力の計測精度を向上させることができる。
【0135】
[第7の実施の形態]
次に、本発明の第7の実施の形態について説明する。第1〜第6の実施の形態では、半導体レーザ1を三角波状に発振させていたが、これに限るものではなく、図34(A)に示すように半導体レーザ1を鋸波状に発振させてもよい。すなわち、本実施の形態では、第1の発振期間P1または第2の発振期間P2のいずれか一方が繰り返し存在するように半導体レーザ1を動作させればよい。
【0136】
本実施の形態のように半導体レーザ1を鋸波状に発振させる場合においても、半導体レーザ1の発振波長の変化速度が一定であることが必要である。第1の発振期間P1または第2の発振期間P2における動作は、三角波発振の場合と同様である。図34(A)に示すように第1の発振期間P1のみが繰り返し存在する鋸波状の発振の場合は第1の発振期間P1の処理を繰り返し行えばよく、第2の発振期間P2のみが繰り返し存在する鋸波状の発振の場合は第2の発振期間P2の処理を繰り返し行えばよいことは言うまでもない。
【0137】
ただし、計数部90の計数結果を示す図34(B)からも明らかなように、本実施の形態では、計数結果Nu,Ndの平均値を求めることはできない。したがって、半導体レーザ1を鋸波状に発振させる構成を、第3の実施の形態に適用することはできない。
【0138】
[第8の実施の形態]
次に、本発明の第8の実施の形態について説明する。第1〜第7の実施の形態では、MHP波形を含む電気信号を検出する検出手段としてフォトダイオード2と電流−電圧変換増幅部5とを用いたが、フォトダイオードを使用することなくMHP波形を抽出することも可能である。図35は本発明の第8の実施の形態に係る張力・速度計測装置の構成を示すブロック図であり、図1と同様の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の張力・速度計測装置は、第1〜第7の実施の形態のフォトダイオード2と電流−電圧変換増幅部5の代わりに、検出手段として電圧検出部12を用いるものである。
【0139】
電圧検出部12は、半導体レーザ1の端子間電圧、すなわちアノード−カソード間電圧を検出して増幅する。半導体レーザ1から放射されたレーザ光とウェブ11からの戻り光とによって干渉が生じるとき、半導体レーザ1の端子間電圧には、MHP波形が現れる。したがって、半導体レーザ1の端子間電圧からMHP波形を抽出することが可能である。
【0140】
フィルタ部6は、電圧検出部12の出力電圧から搬送波を除去する。張力・速度計測装置のその他の構成は、第1〜第7の実施の形態と同じである。
こうして、本実施の形態では、フォトダイオードを使用することなくMHP波形を抽出することができ、第1〜第7の実施の形態と比較して張力・速度計測装置の部品を削減することができ、張力・速度計測装置のコストを低減することができる。また、本実施の形態では、フォトダイオードを使用しないので、外乱光による影響を除去することができる。
【0141】
本実施の形態では、レーザドライバ4から半導体レーザ1に供給する駆動電流をレーザ発振のしきい値電流付近に制御することが好ましい。これにより、半導体レーザ1の端子間電圧からMHPを抽出することが容易になる。
【0142】
なお、第1〜第8の実施の形態において少なくとも信号抽出部7と演算部8,8a,8bと制御部104とは、例えばCPU、記憶装置およびインタフェースを備えたコンピュータとこれらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。このようなコンピュータを動作させるためのプログラムは、フレキシブルディスク、CD−ROM、DVD−ROM、メモリカードなどの記録媒体に記録された状態で提供される。CPUは、読み込んだプログラムを記憶装置に書き込み、このプログラムに従って第1〜第8の実施の形態で説明した処理を実行する。
【0143】
また、第1〜第8の実施の形態では、センサモジュール10を図2に示すように配置したが、これに限るものではない。例えば図36に示すように、半導体レーザ1からのレーザ光が送出側ロール102の箇所または受取側ロール103の箇所でウェブ11に入射するようにしてもよい。この場合、測定可能な物理量は、ウェブ11の速度と、半導体レーザ1とウェブ11との距離であり、ウェブ11の張力を測定することはできない。ウェブ11との距離を測定すれば、ロールの半径を間接的に算出することができ、ロール半径のモニタリングが実現できる。なお、自己結合型のレーザ計測器において、物体との距離を測定することは周知技術である。また、送出側ロール102の箇所または受取側ロール103の箇所で、レーザ光をウェブ11に対して垂直に照射した場合には、ウェブ11との距離のみを測定することができる。
【産業上の利用可能性】
【0144】
本発明は、搬送装置によって送出側から受取側まで搬送中の物体であるウェブの速度と張力を測定する技術に適用することができる。
【符号の説明】
【0145】
1…半導体レーザ、2…フォトダイオード、3…レンズ、4…レーザドライバ、5…電流−電圧変換増幅部、6…フィルタ部、7…信号抽出部、8,8a,8b…演算部、9…表示部、10…センサモジュール、11…ウェブ、12…電圧検出部、80…記憶部、81…基準周期算出部、82…速度算出部、83…2値化部、84…周期測定部、85…周波数算出部、86…張力算出部、87…度数分別部、88…周期分別部、89…基準周期補正部、90…計数部、91…距離算出部、92…基準周期算出部、93…距離比例個数算出部、94…符号付与部、95…基準周期算出部、96…移動平均値算出部、97…周期補正部、98…度数分布作成部、99…代表周期算出部、100…送出側ガイド軸、101…受取側ガイド軸、102…送出側ロール、103…受取側ロール、104…制御部、110…カウンタ、111…計測結果補正部。
【技術分野】
【0001】
本発明は、搬送装置によって送出側から受取側まで搬送中の物体であるウェブの速度と張力を計測する張力・速度計測装置および方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
紙、フィルム、セロファン、金属箔、ゴムなどのロール状に巻き取った物体(以下、ウェブと呼ぶ)を送出部から繰り出して、ウェブに対して所定の処理を行い、処理後のウェブを受取部によって巻き取るウェブ搬送装置では、送出部のロールの巻径と受取部のロールの巻径の変化に伴ってウェブの張力も変化する。したがって、適切な張力制御をおこたると、ウェブのしわやたわみの発生、ウェブの厚さの変化などを引き起こし、最悪の場合はウェブの切断にいたるため、張力制御が必要となる。
【0003】
従来、ウェブの張力を測定する方法としては、ロール軸に掛かる力から張力を算出する接触式の方法がある。また、別の方法として、ウェブの固有振動から張力を算出する非接触式の方法がある(特許文献1参照)。ただし、ウェブ搬送装置では、ウェブの移動速度を一定に制御し、巻き出し・巻き取りしたウェブの長さを正確に計測する必要があるが、これらの方法では、ウェブの速度を同時に測ることはできない。
【0004】
ウェブの速度と巻き取ったウェブの長さを計測する方法としては、一般的にはロール軸の回転数からウェブの速度を求め、この速度からウェブの長さを間接的に算出する方法があるが、ウェブの伸び縮みや巻き取りの張力による誤差が大きい。
また、ウェブの速度を計測する別の手段として、非接触式のドップラーレーザ速度計がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特公平6−63825号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
ロール軸に掛かる力からウェブの張力を算出する接触式の方法では、図37に示すようにロール300の箇所でウェブ301を曲げて、ロール300の軸にかかる力からウェブ301の張力を算出するため、曲げることが難しいウェブ、例えば鋼板などに適用することができないという問題点があった。
【0007】
一方、ウェブの固有振動から張力を算出する非接触式の方法では、曲げることが難しいウェブにも適用することができる。しかし、この方法では、マイクロフォンを用いて集音し、ウェブの固有振動周波数を求めているため、外乱、すなわち雑音の混入に弱いという問題点があった。
また、ロール軸に掛かる力からウェブの張力を算出する方法やウェブの固有振動から張力を算出する方法では、ウェブの速度を同時に測ることができないという問題点があった。
【0008】
ロール軸の回転数からウェブの速度を求める方法では、ウェブの伸び縮みや巻き取りの張力による誤差が大きく、その結果として速度から間接的に算出するウェブの長さも誤差が大きくなってしまうという問題点があった。このため、ロール状に巻き取った形で販売されているウェブは規定値よりも長めで売られているものが多く、無駄が生じていた。
また、非接触式のドップラーレーザ速度計には、非常に高価であるという問題点があった。
【0009】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、ウェブの種類によらずにウェブの張力を高精度に計測することができ、ウェブの張力と同時にウェブの速度を安価に計測することができる張力・速度計測装置および方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明の張力・速度計測装置は、搬送装置によって送出側から受取側まで搬送中の物体であるウェブにレーザ光を放射する半導体レーザと、発振波長が連続的に単調増加する第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する第2の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように前記半導体レーザを動作させる発振波長変調手段と、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記ウェブからの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段と、この検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に計測する信号抽出手段と、この信号抽出手段が計測した個々の周期の基準周期に対する変化に基づいて、前記ウェブの速度およびウェブの張力の少なくとも一方を算出する演算手段とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例において、前記演算手段は、前記信号抽出手段が計測した個々の周期の基準周期に対する変化量に基づいて前記ウェブの速度を算出する速度算出手段と、前記基準周期をしきい値として前記干渉波形の周期を2値化する2値化手段と、この2値化手段の出力の周期を測定する周期測定手段と、この周期測定手段が測定した周期から前記ウェブの振動周波数を算出する周波数算出手段と、前記ウェブの速度と前記ウェブの振動周波数に基づいて前記ウェブの張力を算出する張力算出手段とを備えることを特徴とするものである。
【0011】
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例は、さらに、前記信号抽出手段の計測結果から、前記基準周期の第1の所定数倍未満の周期の度数と前記基準周期の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期の度数とを求める度数分別手段と、前記信号抽出手段の計測結果から、前記基準周期の第1の所定数倍未満の周期と前記基準周期の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期とを抽出する周期分別手段と、前記度数分別手段が求めた度数と前記周期分別手段が抽出した周期とに基づいて前記基準周期を補正する基準周期補正手段とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例において、前記基準周期補正手段は、補正前の前記基準周期をT0、前記基準周期T0の第1の所定数倍未満の周期の度数をNs、前記基準周期T0の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期の度数をN、前記基準周期T0の第1の所定数倍未満の周期に含まれるj番目(jは1〜Nsの整数)の周期をTsj、前記基準周期T0の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期に含まれるi番目(iは1〜Nの整数)の周期をTiとしたとき、(ΣTi−Ns×T0+ΣTsj)/(N−Ns)または(ΣTi+ΣTsj)/Nにより前記基準周期T0の補正値を算出することを特徴とするものである。
【0012】
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例は、さらに、前記信号抽出手段が計測した所定数の干渉波形の周期の平均を前記基準周期の初期値とする基準周期算出手段を備えることを特徴とするものである。
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例は、さらに、前記検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第1の発振期間と前記第2の発振期間の各々について数える計数手段と、この計数手段によって干渉波形の数を数える期間における最小発振波長と最大発振波長と前記計数手段の計数結果とから前記半導体レーザと前記ウェブとの距離を算出する距離算出手段と、この距離算出手段が算出した距離から前記基準周期の初期値を求める基準周期算出手段とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例は、さらに、前記検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第1の発振期間と前記第2の発振期間の各々について数える計数手段と、前記干渉波形の数の平均値を算出することにより前記半導体レーザと前記ウェブとの平均距離に比例した干渉波形の数である距離比例個数を求める距離比例個数算出手段と、前記距離比例個数から前記基準周期の初期値を算出する基準周期算出手段とを備えることを特徴とするものである。
【0013】
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例において、前記演算手段は、さらに、前記信号抽出手段で計測された補正対象の干渉波形の周期に対して、その直前と直後のうち少なくとも一方において計測された干渉波形の周期の移動平均値を算出する移動平均値算出手段と、前記補正対象の干渉波形の周期と前記移動平均値とを比較することにより前記補正対象の干渉波形の周期を補正する周期補正手段とを備え、前記2値化手段は、前記干渉波形の周期を2値化する代わりに、前記周期補正手段によって補正された周期を、前記基準周期をしきい値として2値化することを特徴とするものである。
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例において、前記移動平均値算出手段は、前記補正対象の干渉波形の周期の直前に計測された所定数の干渉波形の周期の移動平均値と前記補正対象の干渉波形の周期の直後に計測された所定数の干渉波形の周期の移動平均値とを算出し、前記周期補正手段は、前記移動平均値算出手段が算出した2つの移動平均値のうち小さい方をT1、大きい方をT2とし、Tx=T1+α・(T2−T1)としたとき(0≦α≦1)、前記補正対象の干渉波形の周期が前記Txの所定数k倍未満の場合は(kは1未満の正の値)、この補正対象の干渉波形の周期と次に計測された干渉波形の周期とを合わせた周期を補正後の干渉波形の周期とし、周期を合わせた波形を1つの波形とし、前記補正対象の干渉波形の周期が前記Txの(m−0.5)倍以上で且つ前記Txの(m+0.5)倍未満の場合は(mは2以上の自然数)、前記補正対象の干渉波形の周期をm等分した周期をそれぞれ補正後の周期とし、補正後の周期の波形がm個あるものとすることを特徴とするものである。
【0014】
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例において、前記演算手段は、さらに、前記周期測定手段の測定結果から一定時間における2値化出力の周期の度数分布を作成する2値化出力周期度数分布作成手段と、前記2値化出力の周期の度数分布から前記2値化出力の周期の分布の代表値である代表周期を算出する代表周期算出手段と、前記2値化出力周期度数分布作成手段が度数分布作成の対象とする期間と同じ一定時間の期間において前記2値化出力のパルスの数を数える2値化出力計数手段と、前記2値化出力の周期の度数分布から、前記代表周期の第1の所定数倍以下である階級の度数の総和Nsと前記代表周期の第2の所定数倍以上である階級の度数の総和Nwとを求め、これらの度数NsとNwに基づいて前記2値化出力計数手段の計数結果を補正する計測結果補正手段とを備え、前記周波数算出手段は、前記周期測定手段が測定した周期から前記ウェブの振動周波数を算出する代わりに、前記計測結果補正手段で補正された計数結果と前記一定時間に基づいて前記ウェブの振動周波数を算出することを特徴とするものである。
また、本発明の張力・速度計測装置の1構成例において、前記代表周期算出手段は、階級値と度数との積が最大となる階級値を前記代表周期とすることを特徴とするものである。
【0015】
また、本発明の張力・速度計測方法は、搬送装置によって送出側から受取側まで搬送中の物体であるウェブにレーザ光を放射する半導体レーザを、発振波長が連続的に単調増加する第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する第2の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように動作させる発振手順と、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記ウェブからの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手順と、この検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に計測する信号抽出手順と、この信号抽出手順で計測した個々の周期の基準周期に対する変化に基づいて、前記ウェブの速度およびウェブの張力の少なくとも一方を算出する演算手順とを備えることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【0016】
本発明によれば、ウェブの種類によらずにウェブの張力を高精度に計測することができ、ウェブの張力と同時にウェブの速度を安価に計測することができる張力・速度計測装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【0017】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る張力・速度計測装置の構成を示すブロック図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態に係る張力・速度計測装置を適用するウェブ搬送装置の構成を示すブロック図である。
【図3】本発明の第1の実施の形態における半導体レーザの発振波長の時間変化の1例を示す図である。
【図4】本発明の第1の実施の形態における電流−電圧変換増幅部の出力電圧波形およびフィルタ部の出力電圧波形を模式的に示す波形図である。
【図5】モードホップパルスについて説明するための図である。
【図6】半導体レーザの発振波長とフォトダイオードの出力波形との関係を示す図である。
【図7】本発明の第1の実施の形態における信号抽出部の構成の1例を示すブロック図である。
【図8】本発明の第1の実施の形態における信号抽出部の動作を説明するための図である。
【図9】本発明の第1の実施の形態における演算部の構成の1例を示すブロック図である。
【図10】本発明の第1の実施の形態における演算部の速度算出処理を示すフローチャートである。
【図11】本発明の第1の実施の形態における演算部の張力算出処理を示すフローチャートである。
【図12】本発明の第1の実施の形態における基準周期の補正原理を説明するための図である。
【図13】モードホップパルスの周期の度数分布を示す図である。
【図14】ノイズを含むモードホップパルスの周期の度数分布を示す図である。
【図15】本発明の第2の実施の形態における演算部の構成の1例を示すブロック図である。
【図16】本発明の第3の実施の形態における演算部の構成の1例を示すブロック図である。
【図17】本発明の第3の実施の形態における距離比例個数算出部の動作を説明するための図である。
【図18】本発明の第3の実施の形態における符号付与部の動作を説明するための図である。
【図19】本発明の第3の実施の形態における符号付与部の動作を説明するための図である。
【図20】本発明の第4の実施の形態における演算部の構成の1例を示すブロック図である。
【図21】本発明の第4の実施の形態における周期補正部の動作を説明するための図である。
【図22】本発明の第4の実施の形態における信号抽出部の計測結果の補正原理を説明するための図である。
【図23】2倍の周期になったモードホップパルスの周期の度数分布を示す図である。
【図24】計数時に欠落したモードホップパルスのうち2分割されたモードホップパルスの周期の度数分布を示す図である。
【図25】計数時に欠落したモードホップパルスのうち2分割されたモードホップパルスの周期の度数分布を示す図である。
【図26】ウェブが等速運動している場合のウェブとの距離の変化を示す図である。
【図27】ウェブが等速運動している場合のモードホップパルスの周期の度数分布を示す図である。
【図28】ウェブの速度が変化している場合のウェブとの距離の変化およびウェブの速度の変化を示す図である。
【図29】ウェブの速度が変化している場合のモードホップパルスの周期の度数分布を示す図である。
【図30】本発明の第6の実施の形態における演算部の構成の1例を示すブロック図である。
【図31】本発明の第6の実施の形態における周期の度数分布の1例を示す図である。
【図32】本発明の第6の実施の形態においてカウンタの計数結果の補正に用いる度数を模式的に表す図である。
【図33】本発明の第6の実施の形態におけるカウンタの計数結果の補正原理を説明するための図である。
【図34】本発明の第7の実施の形態における半導体レーザの発振波長の時間変化および計数部の計数結果の時間変化を示す図である。
【図35】本発明の第8の実施の形態に係る張力・速度計測装置の構成を示すブロック図である。
【図36】張力・速度計測装置のセンサモジュールの別の配置例を示す図である。
【図37】ロール軸に掛かる力からウェブの張力を算出する方法を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【0018】
[第1の実施の形態]
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態に係る張力・速度計測装置の構成を示すブロック図である。図1の張力・速度計測装置は、測定対象のウェブ11にレーザ光を放射する半導体レーザ1と、半導体レーザ1の光出力を電気信号に変換するフォトダイオード2と、半導体レーザ1からの光を集光して放射すると共に、ウェブ11からの戻り光を集光して半導体レーザ1に入射させるレンズ3と、半導体レーザ1を駆動する発振波長変調手段となるレーザドライバ4と、フォトダイオード2の出力電流を電圧に変換して増幅する電流−電圧変換増幅部5と、電流−電圧変換増幅部5の出力電圧から搬送波を除去するフィルタ部6と、フィルタ部6の出力電圧に含まれる自己結合信号であるモードホップパルス(以下、MHPとする)の周期を計測する信号抽出部7と、信号抽出部7が計測した個々の周期の基準周期に対する変化に基づいてウェブ11の張力と速度とを算出する演算部8と、演算部8の計測結果を表示する表示部9とを有する。
【0019】
半導体レーザ1とフォトダイオード2とレンズ3とは、センサモジュール10を構成している。また、フォトダイオード2と電流−電圧変換増幅部5とは、検出手段を構成している。
【0020】
図2は本実施の形態の張力・速度計測装置を適用するウェブ搬送装置の構成を示すブロック図である。ウェブ搬送装置は、送出側ガイド軸100と、受取側ガイド軸101と、送出側ガイド軸100に装着される送出側ロール102と、受取側ガイド軸101に装着される受取側ロール103と、送出側ガイド軸100を駆動し、送出側ロール102を回転させる送出側モータ駆動部(不図示)と、受取側ガイド軸101を駆動し、受取側ロール103を回転させる受取側モータ駆動部(不図示)と、送出側モータ駆動部と受取側モータ駆動部とを制御する制御部104とを有する。
【0021】
送出側モータ駆動部が送出側ロール102を回転させると、送出側ロール102に巻かれたウェブ11が繰り出される。受取側では、受取側モータ駆動部が受取側ロール103を回転させることにより、受取側ロール103がウェブ11を巻き取る。
制御部104は、ウェブ11の張力と速度とがそれぞれ所望の値になるように、送出側モータ駆動部と受取側モータ駆動部とを制御する。
【0022】
半導体レーザ1とフォトダイオード2とレンズ3とからなるセンサモジュール10は、図2に示すように送出側ガイド軸100と受取側ガイド軸101間のウェブ11上に配置され、ウェブ11に対してレーザ光を斜方照射する。レーザ光を斜方照射するのは、ウェブ11の速度を計測するためである。
図1のレーザドライバ4と電流−電圧変換増幅部5とフィルタ部6と信号抽出部7と演算部8と表示部9とは、制御部104の内部に設けられる。
【0023】
次に、本実施の形態の張力・速度計測装置の動作を詳細に説明する。以下、説明容易にするために、半導体レーザ1には、モードホッピング現象を持たない型(VCSEL型、DFBレーザ型)のものが用いられているものと想定する。
【0024】
レーザドライバ4は、時間に関して一定の変化率で増減を繰り返す三角波駆動電流を注入電流として半導体レーザ1に供給する。これにより、半導体レーザ1は、注入電流の大きさに比例して発振波長が一定の変化率で連続的に増加する第1の発振期間と発振波長が一定の変化率で連続的に減少する第2の発振期間とを交互に繰り返すように駆動される。図3は、半導体レーザ1の発振波長の時間変化を示す図である。図3において、P1は第1の発振期間、P2は第2の発振期間、λaは各期間における発振波長の最小値、λbは各期間における発振波長の最大値、Ttは三角波の周期である。本実施の形態では、発振波長の最大値λbおよび発振波長の最小値λaはそれぞれ常に一定になされており、それらの差λb−λaも常に一定になされている。
【0025】
半導体レーザ1から出射したレーザ光は、レンズ3によって集光され、ウェブ11に入射する。ウェブ11で反射された光の一部は、レンズ3によって集光され、半導体レーザ1に入射する。ただし、レンズ3による集光は必須ではない。フォトダイオード2は、半導体レーザ1の内部又はその近傍に配置され、半導体レーザ1の光出力を電流に変換する。電流−電圧変換増幅部5は、フォトダイオード2の出力電流を電圧に変換して増幅する。
【0026】
フィルタ部6は、変調波から重畳信号を抽出する機能を有するものである。図4(A)は電流−電圧変換増幅部5の出力電圧波形を模式的に示す図、図4(B)はフィルタ部6の出力電圧波形を模式的に示す図である。これらの図は、フォトダイオード2の出力に相当する図4(A)の波形(変調波)から、図3の半導体レーザ1の発振波形(搬送波)を除去して、図4(B)のMHP波形(干渉波形)を抽出する過程を表している。
【0027】
次に、信号抽出部7は、フィルタ部6の出力電圧に含まれるMHPの周期をMHPが発生する度に計測する。ここで、自己結合信号であるMHPについて説明する。図5に示すように、ミラー層1013からウェブ11までの距離をL、レーザの発振波長をλとすると、以下の共振条件を満足するとき、ウェブ11からの戻り光と半導体レーザ1の光共振器内のレーザ光は強め合い、レーザ出力がわずかに増加する。
L=qλ/2 ・・・(1)
式(1)において、qは整数である。この現象は、ウェブ11からの散乱光が極めて微弱であっても、半導体レーザ1の共振器内の見かけの反射率が増加することにより、増幅作用が生じ、十分観測できる。
【0028】
図6は、半導体レーザ1の発振波長をある一定の割合で変化させたときの発振波長とフォトダイオード2の出力波形との関係を示す図である。式(1)に示したL=qλ/2を満足したときに、戻り光と光共振器内のレーザ光の位相差が0°(同位相)になって、戻り光と光共振器内のレーザ光とが最も強め合い、L=qλ/2+λ/4のときに、位相差が180°(逆位相)になって、戻り光と光共振器内のレーザ光とが最も弱め合う。そのため、半導体レーザ1の発振波長を変化させていくと、レーザ出力が強くなるところと弱くなるところとが交互に繰り返し現れ、このときのレーザ出力をフォトダイオード2で検出すると、図6に示すように一定周期の階段状の波形が得られる。このような波形は一般的には干渉縞と呼ばれる。この階段状の波形、すなわち干渉縞の1つ1つがMHPである。前記のとおり、ある一定時間において半導体レーザ1の発振波長を変化させた場合、測定距離に比例してMHPの数は変化する。
【0029】
図7は信号抽出部7の構成の1例を示すブロック図である。信号抽出部7は、2値化部70と、周期測定部71とから構成される。
図8(A)〜図8(D)は信号抽出部7の動作を説明するための図であり、図8(A)はフィルタ部6の出力電圧の波形、すなわちMHPの波形を模式的に示す図、図8(B)は図8(A)に対応する2値化部70の出力を示す図、図8(C)は信号抽出部7に入力されるサンプリングクロックCLKを示す図、図8(D)は図8(B)に対応する周期測定部71の測定結果を示す図である。
【0030】
まず、信号抽出部7の2値化部70は、図8(A)に示すフィルタ部6の出力電圧が「1」(ハイレベル)か「0」(ローレベル)かを判定して、図8(B)のような判定結果を出力する。このとき、2値化部70は、フィルタ部6の出力電圧が上昇してしきい値TH1以上になったときに2値化出力を「1」とし、フィルタ部6の出力電圧が下降してしきい値TH2(TH2<TH1)以下になったときに2値化出力を「0」とすることにより、フィルタ部6の出力を2値化する。
【0031】
周期測定部71は、2値化部70の出力の立ち上がりエッジの周期(すなわち、MHPの周期)を立ち上がりエッジが発生する度に測定する。このとき、周期測定部71は、図8(C)に示すサンプリングクロックCLKの周期を1単位としてMHPの周期を測定する。図8(D)の例では、周期測定部71は、MHPの周期としてTα,Tβ,Tγを順次測定している。図8(C)、図8(D)から明らかなように、周期Tα,Tβ,Tγの大きさは、それぞれ5[samplings]、4[samplings]、2[samplings]である。サンプリングクロックCLKの周波数は、MHPの取り得る最高周波数に対して十分に高いものとする。
【0032】
次に、演算部8は、信号抽出部7の計測結果に基づいて、MHPの周期の変化からウェブ11の速度と張力とを算出する。図9は演算部8の構成の1例を示すブロック図である。演算部8は、信号抽出部7の計測結果等を記憶する記憶部80と、基準周期の初期値を算出する基準周期算出部81と、信号抽出部7が計測した個々の周期の基準周期に対する変化量に基づいてウェブ11の速度を算出する速度算出部82と、信号抽出部7の計測結果を2値化する2値化部83と、2値化部83の出力の周期を測定する周期測定部84と、周期測定部84が測定した周期からウェブ11の振動周波数を算出する周波数算出部85と、ウェブ11の速度と振動周波数に基づいてウェブ11の張力を算出する張力算出部86と、信号抽出部7の計測結果から、基準周期の第1の所定数倍未満の周期の度数と基準周期の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期の度数とを求める度数分別部87と、信号抽出部7の計測結果から、基準周期の第1の所定数倍未満の周期と基準周期の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期とを抽出する周期分別部88と、度数分別部87が求めた度数と周期分別部88が抽出した周期とに基づいて基準周期を補正する基準周期補正部89とから構成される。
【0033】
まず、演算部8の速度算出処理について説明する。図10は演算部8の速度算出処理を示すフローチャートである。
信号抽出部7の計測結果は、演算部8の記憶部80に格納される。基準周期算出部81は、基準周期T0[samplings]の初期値を予め算出して記憶部80に格納する。具体的には、基準周期算出部81は、ウェブ搬送装置によってウェブ11の搬送が開始された搬送初期時に信号抽出部7によって計測された所定数のMHPの周期の移動平均値を基準周期T0の初期値とする。
【0034】
サンプリングクロックCLKの周波数をfad[Hz]、半導体レーザ1の発振平均波長をλ[m]とし、演算対象のMHPの周期が基準周期T0からn[samplings]長くなったとすると、この演算対象のMHPの周期におけるウェブ11の進行方向の変位D[m]は次式のようになる。
D=n×λ/(2×T0) ・・・(2)
【0035】
演算対象のMHPの周期が基準周期T0からn[samplings]短くなった場合には、式(2)の周期変化量nの符号を負にすればよい。半導体レーザ1の発振波長が増加する第1の発振期間P1において、変位Dが正の場合、ウェブ11の移動方向は半導体レーザ1から遠ざかる方向であり、変位Dが負の場合、ウェブ11の移動方向は半導体レーザ1に接近する方向である。また、発振波長が減少する第2の発振期間P2において、変位Dが正の場合、ウェブ11の移動方向は半導体レーザ1に接近する方向であり、変位Dが負の場合、ウェブ11の移動方向は半導体レーザ1から遠ざかる方向である。
【0036】
また、演算対象のMHPの周期は(T0+n)/fadなので、演算対象のMHPの周期におけるウェブ11の速度V[m/s]は次式のようになる。
V=n×λ/(2×T0)×fad/(T0+n) ・・・(3)
【0037】
速度算出部82は、信号抽出部7によって計測され記憶部80に記憶されたMHPの周期の基準周期T0に対する周期変化量nを求め(図10ステップS100)、式(3)によりウェブ11の速度Vを算出する(ステップS101)。速度算出部82は、以上のような速度算出処理をMHPが発生する度に行う。
【0038】
次に、速度算出処理と平行して行われる張力算出処理について説明する。図11は演算部8の張力算出処理を示すフローチャートである。
2値化部83は、基準周期T0をしきい値として信号抽出部7の計測結果を2値化する(図11ステップS200)。具体的には、2値化部83は、信号抽出部7によって計測され記憶部80に記憶されたMHPの周期が基準周期T0以上であれば2値化出力を「1」(ハイレベル)とし、MHPの周期が基準周期T0未満であれば2値化出力を「0」(ローレベル)とする。2値化部83の出力は記憶部80に格納される。2値化部83は、このような2値化処理をMHPが発生する度に行う。
【0039】
続いて、周期測定部84は、2値化部83の出力の立ち上がりエッジの周期を立ち上がりエッジが発生する度に測定する(図11ステップS201)。このとき、周期測定部84は、上記のサンプリングクロックCLKの周期を1単位として2値化出力の周期を測定する。周期測定部84の測定結果は記憶部80に格納される。
【0040】
ウェブ11に張力が掛かっていると、ウェブ11は張力に応じた固有の振動周波数で振動している。周期測定部84がMHPの周期を2値化した2値化出力の周期を求めることは、鉛直方向(図2の上下方向)に沿って振動しているウェブ11の振動周期を求めることを意味する。この振動周期からウェブ11の振動周波数を求めることが可能である。周波数算出部85は、周期測定部84が測定した周期Tsigからウェブ11の振動周波数fsig[Hz]を次式のように算出する(図11ステップS202)。
fsig=fad/Tsig ・・・(4)
【0041】
上記のとおり、fadはサンプリングクロックCLKの周波数である。周波数算出部85の算出結果は、記憶部80に格納される。周波数算出部85は、周波数算出処理を周期測定部84によって周期Tsigが測定される度に行う。
張力算出部86は、速度算出部82が算出したウェブ11の速度Vと周波数算出部85が算出したウェブ11の振動周波数fsigとからウェブ11の張力F[N]を次式のように算出する(図11ステップS203)。
F=M×W×(2×S×fsig−V)2×10-9 ・・・(5)
【0042】
式(5)において、Mはウェブ11の1mm幅あたりの単位質量[g/m]、Wはウェブ11の幅[mm]、Sはウェブ11のスパン[mm]、すなわち図2の送出側ガイド軸100と受取側ガイド軸101間の距離である。なお、式(5)では、ウェブ11の速度Vをmm/sの単位で用いている。張力算出部86は、張力算出処理を周波数算出部85によって振動周波数fsigが算出される度に行う。
【0043】
以上で、演算部8の速度算出処理と張力算出処理とが終了する。表示部9は、演算部8が算出したウェブ11の速度Vと張力Fとを表示する。
ウェブ搬送装置の制御部104は、演算部8の算出結果に基づいて、ウェブ11の速度と張力とがそれぞれ所望の値になるように、送出側モータ駆動部と受取側モータ駆動部とを制御する。
【0044】
次に、基準周期T0の補正について説明する。本実施の形態によれば、高分解能の計測を実現することができるが、半面、基準周期T0の分解能が低く精度が低下する傾向にあり、速度Vや張力Fの絶対精度が低下する可能性がある。そこで、本実施の形態では、基準周期T0を補正し、速度Vや張力Fの計測精度の低下を回避する。
【0045】
度数分別部87は、信号抽出部7によって計測され記憶部80に記憶されたMHPの周期の度数を、現在の基準周期T0の0.5倍未満の周期の度数Nsと、基準周期T0の0.5倍以上1.5倍以下の周期の度数Nと、これら以外の周期の度数の3つに分別する。
【0046】
周期分別部88は、信号抽出部7によって計測され記憶部80に記憶されたMHPの周期を、現在の基準周期T0の0.5倍未満の周期Ts(0.5T0>Ts)と、基準周期T0の0.5倍以上1.5倍以下の周期T(0.5T0≦T≦1.5T0)と、これら以外の周期の3つに分別する。
度数分別部87と周期分別部88とは、以上の分別処理を所定の測定期間毎に行う。第1の発振期間P1と第2の発振期間P2の各々を測定期間として設定してもよいし、これらの発振期間P1,P2とは別の長さで測定期間を設定してもよい。
【0047】
続いて、基準周期補正部89は、現在の基準周期T0と、基準周期T0の0.5倍未満の周期の度数Nsと、基準周期T0の0.5倍以上1.5倍以下の周期の度数Nと、基準周期T0の0.5倍未満の周期Tsと、基準周期T0の0.5倍以上1.5倍以下の周期Tとから、以下の式のように基準周期T0の補正値T0’を算出する。
T0’=(ΣTi−Ns×T0+ΣTsj)/(N−Ns) ・・・(6)
【0048】
式(6)において、Tiは基準周期T0の0.5倍以上1.5倍以下の周期Tに含まれるi番目(iは1〜Nの整数)の周期を意味し、Tsjは基準周期T0の0.5倍未満の周期Tsに含まれるj番目(jは1〜Nsの整数)の周期を意味する。
また、基準周期補正部89は、次式により基準周期T0の補正値T0’を算出してもよい。
T0’=(ΣTi+ΣTsj)/N ・・・(7)
【0049】
そして、基準周期補正部89は、式(6)または式(7)によって算出した補正値T0’を新たな基準周期T0として記憶部80に設定する。基準周期補正部89は、以上のような基準周期T0の補正を上記測定期間毎に行う。
【0050】
図12は基準周期T0の補正原理を説明するための図であり、フィルタ部6の出力電圧の波形、すなわちMHPの波形を模式的に示す図である。本来、MHPの周期は半導体レーザ1とウェブ11との距離によって異なるが、ウェブ11との距離が不変であれば、MHPは同じ周期で出現する。しかし、ノイズのために、MHPの波形には欠落が生じたり、信号として数えるべきでない波形が生じたりして、MHPの周期に誤差が生じる。
【0051】
信号の欠落が生じると、欠落が生じた箇所でのMHPの周期Twは、本来の周期のおよそ2倍になる。つまり、MHPの周期が基準周期T0のおよそ2倍以上の場合には、信号に欠落が生じていると判断できる。また、ノイズをカウントした箇所でのMHPの周期Tsは、本来の周期のおよそ0.5倍になる。つまり、MHPの周期が基準周期T0のおよそ0.5倍未満の場合には、信号を過剰に数えていると判断できる。以上の考え方により、ノイズをカウントしたと見なす周期Tsと信号に欠落が生じたと見なす周期Twを分別できることになる。
【0052】
半導体レーザ1の発振波長変化が線形である場合、MHPの周期は基準周期T0を中心にして正規分布する(図13)。
MHPの波形に欠落が生じた場合を考えると、計測時に欠落が生じたとしても、元々の正規分布は変化しないため、基準周期T0の1.5倍よりも長い周期の度数は無視してもよく、基準周期T0の0.5倍以上1.5倍以下のMHPの周期とその度数から基準周期T0の補正値T0’を算出すればよいことになる。
【0053】
また、ノイズによって2分割されたMHPの周期を考えると、ノイズを過剰に数えた結果として2分割されたMHPの周期は、ランダムな割合で2分割されるが、分割される前の周期がT0を中心とした正規分布であるために、0.5T0に対して対称な度数分布になる(図14のa)。
【0054】
そこで、2分割されたMHPの周期のうち基準周期T0の0.5倍以上の周期の度数は無視し、基準周期T0の0.5倍未満の周期の度数Nsを減算して、基準周期T0の補正値T0’を算出すればよいことになる。この考え方に基づく算出方法が式(6)による算出方法である。また、基準周期T0の0.5倍以上1.5倍以下の周期Tに、基準周期T0の0.5倍未満の周期Tsも加算して、基準周期T0の補正値T0’を算出してもよい。この考え方に基づく算出方法が式(7)による算出方法である。
【0055】
以上が、基準周期T0の補正原理である。なお、信号に欠落が生じたと見なす周期Twを決めるためのしきい値を基準周期T0の1.5倍の値とした理由は、ノイズをカウントしたと見なす周期Tsを決めるためのしきい値(基準周期T0の0.5倍の値)との対称性を考慮したためである。つまり、正規分布は、平均値を中心に対称な分布である。正規分布の平均値を算出する母集団として、周期が短い側の値を基準周期T0の0.5倍としたため、周期が長い側については周期が短い側との対称性を考慮して基準周期T0の1.5倍にしている。
【0056】
以上のように、本実施の形態では、ウェブ11の張力を非接触式で計測できることから、鋼板のような曲げることが難しいウェブ11にも適用することができ、ウェブ11の種類によらずにウェブの張力を計測することができる。
【0057】
また、本実施の形態では、外乱光に強いという利点を有する自己結合型レーザ計測器を用いてウェブ11の張力を計測するので、マイクロフォンを用いてウェブの振動周波数を求める従来の方法に比べて、外乱に対する耐性を向上させることができる。また、本実施の形態では、ウェブの張力と同時に、ウェブの速度を計測することができる。本実施の形態の張力・速度計測装置は、ドップラーレーザ速度計に比べて安価に実現することができる。また、本実施の形態では、基準周期T0を補正することにより、ウェブ11の速度や張力の計測精度の低下を回避することができる。
【0058】
[第2の実施の形態]
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。本実施の形態は基準周期T0の初期値の他の求め方を説明するものである。図15は本実施の形態の演算部8aの構成の1例を示すブロック図である。演算部8aは、記憶部80と、速度算出部82と、2値化部83と、周期測定部84と、周波数算出部85と、張力算出部86と、度数分別部87と、周期分別部88と、基準周期補正部89と、フィルタ部6の出力信号に含まれるMHPの数を数える計数部90と、計数部90によってMHPの数を数える期間における最小発振波長と最大発振波長と計数部90の計数結果とから半導体レーザ1とウェブ11との距離を算出する距離算出部91と、距離算出部91が算出した距離から基準周期T0の初期値を求める基準周期算出部92とから構成される。
【0059】
本実施の形態では、半導体レーザ1の発振波長の変化速度が一定で、かつ発振波長の最大値λbおよび発振波長の最小値λaがそれぞれ一定で、それらの差λb−λaも一定である必要がある。
【0060】
半導体レーザ1、フォトダイオード2、レーザドライバ4、電流−電圧変換増幅部5、フィルタ部6、信号抽出部7、速度算出部82、2値化部83、周期測定部84、周波数算出部85、張力算出部86、度数分別部87、周期分別部88および基準周期補正部89の動作は、第1の実施の形態と同じであるので、計数部90と距離算出部91と基準周期算出部92による基準周期T0の初期値の算出処理について説明する。
【0061】
計数部90は、フィルタ部6の出力に含まれるMHPの数を第1の発振期間P1と第2の発振期間P2の各々について数える。計数部90は、論理ゲートからなるカウンタを利用するものでもよいし、FFT(Fast Fourier Transform)を利用してMHPの周波数(すなわち単位時間あたりのMHPの数)を計測するものでもよい。計数部90の計数結果は記憶部80に格納される。
【0062】
次に、距離算出部91は、半導体レーザ1の最小発振波長λaと最大発振波長λbと計数部90が数えたMHPの数に基づいて、半導体レーザ1とウェブ11との距離を算出する。本実施の形態では、ウェブ11の状態を所定の条件を満たす微小変位状態、あるいは微小変位状態よりも動きが大きい変位状態のいずれかであるとする。発振期間P1と発振期間P2の1期間あたりのウェブ11の平均変位をVとしたとき、微小変位状態とは(λb−λa)/λb>V/Lbを満たす状態であり(ただし、Lbは時刻tのときの距離)、変位状態とは(λb−λa)/λb≦V/Lbを満たす状態である。
【0063】
まず、距離算出部91は、現時刻tにおける距離の候補値Lα(t),Lβ(t)と速度の候補値Vα(t),Vβ(t)を次式のように算出する。
Lα(t)=λa×λb×(MHP(t−1)+MHP(t))
/{4×(λb−λa)} ・・・(8)
Lβ(t)=λa×λb×(|MHP(t−1)−MHP(t)|)
/{4×(λb−λa)} ・・・(9)
Vα(t)=(MHP(t−1)−MHP(t))×λb/4 ・・・(10)
Vβ(t)=(MHP(t−1)+MHP(t))×λb/4 ・・・(11)
【0064】
式(8)〜式(11)において、MHP(t)は現時刻tにおいて算出されたMHPの数、MHP(t−1)はMHP(t)の1回前に算出されたMHPの数である。例えば、MHP(t)が第1の発振期間P1の計数結果であるとすれば、MHP(t−1)は第2の発振期間P2の計数結果であり、逆にMHP(t)が第2の発振期間P2の計数結果であるとすれば、MHP(t−1)は第1の発振期間P1の計数結果である。
【0065】
候補値Lα(t),Vα(t)はウェブ11が微小変位状態にあると仮定して計算した値であり、候補値Lβ(t),Vβ(t)はウェブ11が変位状態にあると仮定して計算した値である。距離算出部91は、式(8)〜式(11)の計算を計数部90によってMHPの数が測定される時刻毎(発振期間毎)に行う。
【0066】
続いて、距離算出部91は、微小変位状態と変位状態の各々について、現時刻tにおける距離の候補値と、直前の時刻における距離の候補値との差である履歴変位を次式のように算出する。なお、式(12)、式(13)では、現時刻tの1回前に算出された距離の候補値をLα(t−1),Lβ(t−1)としている。
Vcalα(t)=Lα(t)−Lα(t−1) ・・・(12)
Vcalβ(t)=Lβ(t)−Lβ(t−1) ・・・(13)
【0067】
履歴変位Vcalα(t)はウェブ11が微小変位状態にあると仮定して計算した値であり、履歴変位Vcalβ(t)はウェブ11が変位状態にあると仮定して計算した値である。距離算出部91は、式(12)〜式(13)の計算を計数部90によってMHPの数が測定される時刻毎に行う。なお、式(10)〜式(13)においては、ウェブ11が本実施の形態の張力・速度計測装置に近づく方向を正の速度、遠ざかる方向を負の速度と定めている。
次に、距離算出部91は、式(8)〜式(13)の算出結果を用いて、ウェブ11の状態を判定する。
【0068】
特開2006−313080号公報(以下、参考文献と呼ぶ)に記載されているように、距離算出部91は、ウェブ11が微小変位状態にあると仮定して計算した履歴変位Vcalα(t)の符号が一定で、かつウェブ11が微小変位状態にあると仮定して計算した速度の候補値Vα(t)と履歴変位Vcalα(t)の絶対値の平均値とが等しい場合、ウェブ11が微小変位状態で等速度運動していると判定する。
【0069】
また、参考文献に記載されているように、距離算出部91は、ウェブ11が変位状態にあると仮定して計算した履歴変位Vcalβ(t)の符号が一定で、かつウェブ11が変位状態にあると仮定して計算した速度の候補値Vβ(t)と履歴変位Vcalβ(t)の絶対値の平均値とが等しい場合、ウェブ11が変位状態で等速度運動していると判定する。
【0070】
また、参考文献に記載されているように、距離算出部91は、ウェブ11が微小変位状態にあると仮定して計算した履歴変位Vcalα(t)の符号がMHPの数が測定される時刻毎に反転し、かつウェブ11が微小変位状態にあると仮定して計算した速度の候補値Vα(t)と履歴変位Vcalα(t)の絶対値の平均値とが一致しない場合、ウェブ11が微小変位状態で等速度運動以外の運動をしていると判定する。
【0071】
なお、速度の候補値Vβ(t)に着目すると、Vβ(t)の絶対値は定数となり、この値は半導体レーザ1の波長変化率(λb−λa)/λbと等しい。そこで、距離算出部91は、ウェブ11が変位状態にあると仮定して計算した速度の候補値Vβ(t)の絶対値が波長変化率と等しく、かつウェブ11が微小変位状態にあると仮定して計算した速度の候補値Vα(t)と履歴変位Vcalα(t)の絶対値の平均値とが一致しない場合、ウェブ11が微小変位状態で等速度運動以外の運動をしていると判定してもよい。
【0072】
また、参考文献に記載されているように、距離算出部91は、ウェブ11が変位状態にあると仮定して計算した履歴変位Vcalβ(t)の符号がMHPの数が測定される時刻毎に反転し、かつウェブ11が変位状態にあると仮定して計算した速度の候補値Vβ(t)と履歴変位Vcalβ(t)の絶対値の平均値とが一致しない場合、ウェブ11が変位状態で等速度運動以外の運動をしていると判定する。
【0073】
なお、速度の候補値Vα(t)に着目すると、Vα(t)の絶対値は定数となり、この値は半導体レーザ1の波長変化率(λb−λa)/λbと等しい。したがって、距離算出部91は、ウェブ11が微小変位状態にあると仮定して計算した速度の候補値Vα(t)の絶対値が波長変化率と等しく、かつウェブ11が変位状態にあると仮定して計算した速度の候補値Vβ(t)と履歴変位Vcalβ(t)の絶対値の平均値とが一致しない場合、ウェブ11が変位状態で等速度運動以外の運動をしていると判定してもよい。
【0074】
距離算出部91は、上記の判定結果に基づいて半導体レーザ1とウェブ11との距離を確定する。すなわち、距離算出部91は、ウェブ11が微小変位状態で等速度運動していると判定された場合、距離の候補値Lα(t)を半導体レーザ1とウェブ11との距離とし、ウェブ11が変位状態で等速度運動していると判定された場合、距離の候補値Lβ(t)を半導体レーザ1とウェブ11との距離とする。
【0075】
また、距離算出部91は、ウェブ11が微小変位状態で等速度運動以外の運動をしていると判定された場合、距離の候補値Lα(t)を半導体レーザ1とウェブ11との距離とする。ただし、実際の距離は、距離の候補値Lα(t)の平均値となる。また、距離算出部91は、ウェブ11が変位状態で等速度運動以外の運動をしていると判定された場合、距離の候補値Lβ(t)を半導体レーザ1とウェブ11との距離とする。ただし、実際の距離は、距離の候補値Lβ(t)の平均値となる。
【0076】
次に、基準周期算出部92は、距離算出部91が算出した距離からMHPの周期を求め、この周期を基準周期T0の初期値として記憶部80に格納する。MHPの周波数は測定距離に比例し、MHPの周期は測定距離に反比例する。そこで、MHPの周期と距離との関係を予め求めて基準周期算出部92のデータベース(不図示)に登録しておけば、基準周期算出部92は、距離算出部91によって算出された距離に対応するMHPの周期をデータベースから取得することにより、MHPの周期を求めることができる。あるいは、MHPの周期と距離との関係を示す数式を予め求めて設定しておけば、基準周期算出部92は、距離算出部91によって算出された距離を数式に代入することにより、MHPの周期を算出することができる。以上のようにして、本実施の形態では、基準周期T0の初期値を求めることができる。
【0077】
[第3の実施の形態]
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。本実施の形態は、基準周期T0の初期値の他の求め方を説明するものである。図16は本実施の形態の演算部8bの構成の1例を示すブロック図である。演算部8bは、記憶部80と、速度算出部82と、2値化部83と、周期測定部84と、周波数算出部85と、張力算出部86と、度数分別部87と、周期分別部88と、基準周期補正部89と、計数部90と、半導体レーザ1とウェブ11との平均距離に比例したMHPの数(以下、距離比例個数とする)NLを求める距離比例個数算出部93と、計数部90の計数結果の増減方向の一致不一致あるいは計数結果の平均値の変化に応じて、計数部90の最新の計数結果に正負の符号を付与する符号付与部94と、距離比例個数NLからMHPの周期を算出する基準周期算出部95とから構成される。
【0078】
半導体レーザ1、フォトダイオード2、レーザドライバ4、電流−電圧変換増幅部5、フィルタ部6、信号抽出部7、速度算出部82、2値化部83、周期測定部84、周波数算出部85、張力算出部86、度数分別部87、周期分別部88および基準周期補正部89の動作は、第1の実施の形態と同じであるので、計数部90と距離比例個数算出部93と符号付与部94と基準周期算出部95による基準周期T0の初期値の算出処理について説明する。
【0079】
計数部90の動作は第2の実施の形態で説明したとおりである。距離比例個数算出部93は、記憶部80に格納された、計数部90の計数結果から距離比例個数NLを求める。図17(A)、図17(B)は距離比例個数算出部93の動作を説明するための図であり、図17(A)は半導体レーザ1の発振波長の時間変化を示す図、図17(B)は計数部90の計数結果の時間変化を示す図である。図17(B)において、Nuは第1の発振期間P1の計数結果、Ndは第2の発振期間P2の計数結果である。
【0080】
図17(A)から明らかなように、第1の発振期間P1と第2の発振期間P2は交互に訪れるので、計数結果Nuと計数結果Ndも交互に現れる。計数結果Nu,Ndは、距離比例個数NLとウェブ11の変位に比例したMHPの数(以下、変位比例個数とする)NVとの和もしくは差である。距離比例個数NLは、計数結果NuとNdの平均値に相当する。また、計数結果NuまたはNdと距離比例個数NLとの差が、変位比例個数NVに相当する。
【0081】
距離比例個数算出部93は、次式に示すように現時刻t以前の計数結果NuとNdとを用いて、距離比例個数NLを算出する。
NL=(Nu+Nd)/2 ・・・(14)
【0082】
ただし、距離比例個数算出部93は、ウェブ11の速度および張力の計測開始初期には、式(14)を用いて距離比例個数NLを算出するが、途中からは式(14)の代わりに後述する符号付き計数結果を用いる次式により距離比例個数NLを算出する。
NL=(Nu’+Nd’)/2 ・・・(15)
【0083】
式(15)において、Nu’は計数結果Nuに後述する符号付与処理を施した後の符号付き計数結果、Nd’は計数結果Ndに符号付与処理を施した後の符号付き計数結果である。式(15)が使用されるのは、符号付与部94が符号付き計数結果を出力したとき以降である。
距離比例個数NLは、記憶部80に格納される。距離比例個数算出部93は、以上のような距離比例個数NLの算出処理を、計数部90によってMHPの数が測定される時刻毎(発振期間毎)に行う。
【0084】
次に、符号付与部94は、計数部90の計数結果Nu,Ndの増減方向の一致不一致、あるいは計数結果Nu,Ndの平均値の変化に基づいて、計数部90の最新の計数結果に正負の符号を付与する。図18(A)、図18(B)、図19(A)、図19(B)は符号付与部94の動作を説明するための図であり、図18(A)、図19(B)は半導体レーザ1の発振波長の時間変化を示す図、図18(B)、図19(B)は計数部90の計数結果の時間変化を示す図である。なお、図18(B)、図19(B)の例では、計数結果Nuが、半導体レーザ1の発振波長の伸び縮み方向がウェブ11の速度方向と対向しているときの計数結果Nαである場合を示している。
【0085】
ウェブ11の振動に伴う半導体レーザ1とウェブ11との距離変化率が半導体レーザ1の発振波長変化率よりも小さく、ウェブ11が鉛直方向に沿って単振動している場合、第1の発振期間P1の計数結果Nuの時間変化と第2の発振期間P2の計数結果Ndの時間変化は、図18(B)に示すように互いの位相差が180度の正弦波形となる。参考文献では、このときのウェブ11の状態を微小変位状態としている。
【0086】
一方、半導体レーザ1とウェブ11との距離変化率が半導体レーザ1の発振波長変化率よりも大きい場合、計数結果Ndの時間変化は、図19(B)の負側の波形250が正側の波形251に折り返された形になる。参考文献では、この計数結果の折り返しが生じている部分におけるウェブ11の状態を変位状態としている。一方、計数結果の折り返しが生じていない部分におけるウェブ11の状態は、上記の微小変位状態である。
【0087】
計数結果の折り返しが生じている部分において、計数結果をそのまま用いて距離比例個数NLを算出すると、距離比例個数NLが本来の値と異なる値になる。
つまり、距離比例個数NLを正しく求めるためには、ウェブ11が変位状態であるか微小変位状態であるかを判定し、ウェブ11が変位状態である場合には、正側に折り返されている計数結果に負の符号を付与する補正を行う必要がある。
【0088】
符号付与部94は、図18(B)に示すように計数結果Nuの時間変化と計数結果Ndの時間変化が同相でない場合、計数部90の現時刻tの計数結果N(t)に正の符号を付与した符号付き計数結果N’(t)を出力し、図19(B)に示すように計数結果Nuの時間変化と計数結果Ndの時間変化が同相である場合、現時刻tの計数結果N(t)に負の符号を付与した符号付き計数結果N’(t)を出力する。
【0089】
現時刻tの計数結果がNuであれば、計数結果Nuの増減は、現時刻tの計数結果Nu(t)と2回前の計数結果Nu(t−2)との差Nu(t)−Nu(t−2)の符号で判別することができ、計数結果Ndの増減は、1回前の計数結果Nd(t−1)と3回前の計数結果Nd(t−3)との差Nd(t−1)−Nd(t−3)の符号で判別することができる。一方、現時刻tの計数結果がNdであれば、計数結果Nuの増減は、1回前の計数結果Nu(t−1)と3回前の計数結果Nu(t−3)との差Nu(t−1)−Nu(t−3)の符号で判別することができ、計数結果Ndの増減は、現時刻tの計数結果Nd(t)と2回前の計数結果Nd(t−2)との差Nd(t)−Nd(t−2)の符号で判別することができる。
【0090】
このような増減の判別の結果、計数結果Nu,Ndが共に増加している場合あるいは共に減少している場合は、計数結果Nuの時間変化と計数結果Ndの時間変化が同相であり、ウェブ11が変位状態であると判断することができる。また、計数結果Nu,Ndのどちらか一方が増加していて他方が減少している場合は、計数結果Nuの時間変化と計数結果Ndの時間変化が同相でなく、ウェブ11が変位状態でないと判断することができる。
【0091】
また、図19(B)で説明したような計数結果の折り返しが生じると、計数結果Nu,Ndの平均値に変化が生じる。そこで、符号付与部94は、計数結果Nu,Ndの平均値の変化に応じて計数部90の最新の計数結果に正負の符号を付与するようにしてもよい。
【0092】
この場合、符号付与部94は、現時刻t以前に求めた計数結果Nuの最新の平均値がこの値よりも前に求めた計数結果Nuの平均値に対して所定のしきい値以内であり、かつ現時刻t以前に求めた計数結果Ndの最新の平均値がこの値よりも前に求めた計数結果Nuの平均値に対して所定のしきい値以内である場合、現時刻tの計数結果N(t)に正の符号を付与した符号付き計数結果N’(t)を出力する。また、符号付与部94は、現時刻t以前に求めた計数結果Nuの最新の平均値がこの値よりも前に求めた計数結果Nuの平均値に対して所定のしきい値を超えて変化したり、現時刻t以前に求めた計数結果Ndの最新の平均値がこの値よりも前に求めた計数結果Nuの平均値に対して所定のしきい値を超えて変化したりした場合、現時刻tの計数結果N(t)に負の符号を付与した符号付き計数結果N’(t)を出力する。
【0093】
符号付き計数結果N’(t)は、記憶部80に格納される。符号付与部94は、以上のような符号付与処理を、計数部90によってMHPの数が測定される時刻毎(発振期間毎)に行う。
【0094】
次に、基準周期算出部95は、距離比例個数NLから基準周期T0を次式のように算出する。
T0=C/(2×f×NL) ・・・(16)
ここで、fは三角波の周波数、Cは光速である。基準周期算出部95は、式(16)によって算出した周期を基準周期T0の初期値として記憶部80に格納すればよい。以上のようにして、本実施の形態では、基準周期T0の初期値を求めることができる。
【0095】
[第4の実施の形態]
次に、本発明の第4の実施の形態について説明する。第1の実施の形態では、2値化部83が基準周期T0をしきい値として信号抽出部7の計測結果を2値化し、周期測定部84が2値化部83の出力の周期を測定しているが、2値化する前にノイズ除去のために信号抽出部7の計測結果を補正してもよい。
【0096】
図20は本実施の形態の演算部8の構成の1例を示すブロック図である。本実施の形態の演算部8は、記憶部80と、基準周期算出部81と、速度算出部82と、後述する周期補正部97の出力を2値化する2値化部83aと、周期測定部84と、周波数算出部85と、張力算出部86と、度数分別部87と、周期分別部88と、基準周期補正部89と、移動平均値算出部96と、周期補正部97とから構成される。
【0097】
第1の実施の形態で説明したとおり、記憶部80は、信号抽出部7の計測結果を記憶する。移動平均値算出部96は、補正対象のMHPの周期の直前に計測された所定数のMHPの周期と補正対象のMHPの周期の直後に計測された所定数のMHPの周期との移動平均値Taveを算出する。ここで、補正対象のMHPの周期をTi、補正対象のMHPの前後からそれぞれ所定数k個のMHPの周期を算出に用いるとすると、移動平均値Taveは次式のようになる。
【0098】
【数1】
【0099】
周期補正部97は、移動平均値算出部96が算出した移動平均値Taveと補正対象のMHPの周期Tとを比較することにより、補正対象のMHPの周期Tを補正する。図21(A)〜図21(F)は周期補正部97の動作を説明するための図である。
【0100】
周期補正部97は、図21(A)に示すように補正対象のMHPの周期Tが0.5Tave未満の場合、図21(B)に示すように補正対象のMHPの周期Tと次に計測されたMHPの周期Tnextとを合わせた周期を補正後のMHPの周期T’とする。
周期補正部97は、補正対象のMHPの周期Tが0.5Tave以上1.5Tave未満の場合、補正対象のMHPの周期Tを補正しない。
【0101】
また、周期補正部97は、図21(C)に示すように補正対象のMHPの周期Tが1.5Tave以上2.5Tave未満の場合、図21(D)に示すように補正対象のMHPの周期Tを2等分した周期をそれぞれ補正後の周期T1’,T2’とする。
また、周期補正部97は、図21(E)に示すように補正対象のMHPの周期Tが2.5Tave以上3.5Tave未満の場合、図21(F)に示すように補正対象のMHPの周期Tを3等分した周期をそれぞれ補正後の周期T1’,T2’,T3’とする。3.5Tave以上についても同様である。すなわち、周期補正部97は、補正対象のMHPの周期Tが(m−0.5)Tave以上で(m+0.5)Tave未満の場合(mは2以上の自然数)、補正対象のMHPの周期Tをm等分した周期をそれぞれ補正後の周期とする。周期補正部97は、以上のような補正処理を信号抽出部7から計測結果が出力される度に行う。
【0102】
図22は信号抽出部7の計測結果の補正原理を説明するための図であり、フィルタ部6の出力電圧の波形、すなわちMHPの波形を模式的に示す図である。ただし、説明を簡単にするため、ここでの原理はウェブ11が静止している場合もしくはウェブ11の振動の中心が変化しない場合を説明しており、補正対象のMHPの周期の比較対象として移動平均値Taveの代わりに、基準周期T0を用いている。基準周期T0は、ウェブ11が静止していたときのMHPの周期、算出された距離におけるMHPの周期、もしくは周期補正部97による周期補正の直前に計測された一定数のMHPの周期の移動平均値のいずれかである。ウェブ11の振動の中心が変化する場合の周期補正の原理については後述する。
【0103】
MHPの周期はウェブ11との距離によって異なるが、ウェブ11との距離が不変であれば、MHPは同じ周期で出現する。しかし、ノイズのために、MHPの波形には欠落が生じたり、信号として数えるべきでない波形が生じたりして、MHPの周期に誤差が生じる。
信号の欠落が生じると、欠落が生じた箇所でのMHPの周期Twは、本来の周期のおよそ2倍になる。つまり、MHPの周期が基準周期T0のおよそ2倍以上の場合には、信号に欠落が生じていると判断できる。そこで、周期Twを2等分することで、信号の欠落を補正することができる。
【0104】
また、ノイズをカウントした箇所でのMHPの周期Tsは、本来の周期のおよそ0.5倍になる。つまり、MHPの周期が基準周期T0のおよそ0.5倍未満の場合には、信号を過剰に数えていると判断できる。そこで、周期Tsと次に計測される周期Tnextとを加算することで、誤って数えたノイズを補正することができる。
【0105】
以上が、MHPの周期補正の基本原理である。次に、信号に欠落が生じたと見なす周期Twを決めるためのしきい値を基準周期T0(実際に用いるのは移動平均値Tave)の2倍の値とせずに、1.5倍とする理由について説明する。半導体レーザ1の発振波長変化が線形である場合、MHPの周期は基準周期T0を中心にして正規分布する。
【0106】
ここで、MHPの波形に欠落が生じた場合を考える。MHPの強度が小さいために計測時に欠落が生じた場合のMHPの周期は、本来のMHPの周期がT0を中心とした正規分布であるために、平均値が2T0、標準偏差2σの正規分布(図23のf)になる。j[%]のMHPが欠落したときに、第1の発振期間P1または第2の発振期間P2のいずれかにおいて信号抽出部7がMHPの数を数えた結果、MHPの数がNであったとすると、この欠落によって周期が2倍になったMHPの周期の度数はNw(=j[%]・N)である。また、計測時の欠落によって減少した後のおおよそT0の周期の度数は、図23に示すgであり、図23のhに示す度数の減少分は2Nw(=2j[%])である。したがって、第1の発振期間P1または第2の発振期間P2のいずれかにおいて、MHPの欠落が生じなかった場合の本来のMHPの数N’は以下の式で表すことができる。
N’=N+j[%]=N+Nw ・・・(18)
【0107】
次に、MHPの周期の計測結果を補正するためのしきい値について考える。ここで、計測時の欠落によって周期が2倍になったMHPの周期の度数Nwのうちノイズによってp[%]が2分割された場合を仮定する。欠落したMHPのうち2分割されたMHPの周期の度数は、Nw’(=j・p[%]・N)である。再度2分割されたMHPの周期の度数分布は、図24のようになる。Nwとみなす周期のしきい値を1.5T0にすると、周期が0.5T0以下のMHPの周期の度数は0.5Nw’(=0.5p[%]・Nw)、周期が0.5T0から1.5T0までのMHPの周期の度数はNw’(=p[%]・Nw)、周期が1.5T0以上のMHPの周期の度数は0.5Nw’(=0.5p[%]・Nw)となる。
【0108】
よって、全てのMHPの周期の度数分布は図25のようになり、上記のTsに対応する周期の度数Nsのしきい値を0.5T0、上記のTwに対応する周期の度数Nwのしきい値を1.5T0にすると、計数結果Nは以下の式で表すことができる。
N=(N’−2Nw)+(Nw−Nw’)+2Nw’=N’−Nw+Nw’
・・・(19)
【0109】
式(19)より、補正された結果は以下のようになり、計数時にMHPの欠落が生じなかった場合の本来のMHPの数N’が算出されることが分かる。
N−0.5Nw’+(0.5Nw’+(Nw−Nw’))
=(N−Nw+Nw’)+(0.5Nw’+(Nw−Nw’))
=N’ ・・・(20)
【0110】
以上のことから、度数Nwを求める際の周期のしきい値を基準周期T0の1.5倍とすれば、計数結果Nを補正できることが分かる。MHPの周期Tと計数結果Nとは、三角波の半周期あたりのサンプリングクロック数をMとすると、T=M/Nの関係にあり、Mは一定値であるから、信号に欠落が生じたと見なす周期Twを決めるためのしきい値は、計数結果Nの場合と同様に、基準周期T0の1.5倍とすればよいことが分かる。
【0111】
次に、ウェブ11の振動の中心が変化する場合の周期補正の原理について説明する。MHPの周波数は、ウェブ11との距離に比例した周波数(このときの周期が基準周期T0)とウェブ11の速度に比例する周波数との和で表すことができる。ウェブ11がある状態でMHPの周期がTの場合、個々のMHPの周期の確率分布はノイズなどによってばらつきが生じ、Tを中心とした概ね正規分布になる。よって、ウェブ11が静止している場合、個々のMHPの周期の確率分布も基準周期T0を中心とした正規分布になり、静止している期間のMHPの周期の度数分布は、前記のように基準周期T0を中心とした正規分布になる。
【0112】
ここで、図26に示すようにウェブ11が等速運動している場合を考える。自己結合型のレーザセンサでは、ウェブ11の速度の変化によるMHPの周波数の変化割合と比較すると、ウェブ11との距離の変化によるMHPの周期の変化は非常に小さい。このため、個々のMHPの周期の確率分布は、図26のA点でもB点でも、ウェブ11との平均距離に相当するT0から速度の大きさの分だけ周期が変化した値Tを中心とした正規分布になるため、A点からB点の期間のMHPの周期の度数分布も、Tを中心とした正規分布になる(図27)。
【0113】
次に、図28(A)、図28(B)に示すようにウェブ11の速度が変化している場合を考える。ここでは、簡略化するために、折れ線運動を考える。すなわち、ウェブ11との距離Lを期間Aにおける距離LAと期間Bにおける距離LBに簡略化し、同様にウェブ11の速度Vを期間Aにおける速度VAと期間Bにおける速度VBに簡略化する。このようにウェブ11の運動を簡略化すると、MHPの周期の度数分布は図29のようになる。図29においてTAは期間Aにおけるウェブ11の平均速度に対応するMHPの周期、TBは期間Bにおけるウェブ11の平均速度に対応するMHPの周期である。
【0114】
ウェブ11の速度変化がなだらかに変化しているとしたら、図28(A)、図28(B)の時刻tでのウェブ11の速度は速度VAとVBとの間にあるので、MHPの周期も周期TAとTBとの間にある。このときのMHPの周期をTXとすると、信号に欠落が生じて2つのMHPが1つになった場合のMHPの周期の確率分布は、2TXを中心とした正規分布になると考えられる。また、周期TXのMHPがノイズで2分割された場合のMHPの2つの確率分布は、0.5TXを軸にした対称の形になる。したがって、TAからTBの間の値と考えられるTXの周期補正を考える場合、基準周期T0の代わりに、TAとTBの移動平均値Taveを基準として周期補正を行うことが妥当である。以上が、ウェブ11の振動の中心が変化する場合のMHPの周期補正の原理である。
【0115】
2値化部83aは、周期補正部97によって補正されたMHPの周期を、基準周期T0をしきい値として2値化する。
基準周期算出部81、速度算出部82、周期測定部84、周波数算出部85、張力算出部86、度数分別部87、周期分別部88および基準周期補正部89の動作は、第1の実施の形態で説明したとおりである。
こうして、本実施の形態では、MHPの周期の誤差を補正することができるので、ウェブ11の速度や張力の計測精度を向上させることができる。
【0116】
[第5の実施の形態]
次に、本発明の第5の実施の形態について説明する。本実施の形態は、補正対象のMHPの周期の比較対象として移動平均値Taveを用いる代わりに、補正対象のMHPの周期の直前に計測された所定数のMHPの周期の移動平均値TAと補正対象のMHPの周期の直後に計測された所定数のMHPの周期の移動平均値TBとを用いるものである。本実施の形態においても、張力・速度計測装置の構成および演算部の構成は第4の実施の形態と同様であるので、図1、図20の符号を用いて説明する。
【0117】
本実施の形態の移動平均値算出部96は、補正対象のMHPの周期の直前に計測された所定数のMHPの周期の移動平均値TAと補正対象のMHPの周期の直後に計測された所定数のMHPの周期の移動平均値TBとを算出する。移動平均値算出部96は、このような算出処理を信号抽出部7から計測結果が出力される度に行う。
【0118】
周期補正部97は、移動平均値算出部96が算出した移動平均値TA,TBと補正対象のMHPの周期とを比較することにより、補正対象のMHPの周期を補正する。すなわち、周期補正部97は、TA<TBで、補正対象のMHPの周期が0.5TA未満の場合、図21(A)、図21(B)の場合と同様に補正対象のMHPの周期と次に計測されたMHPの周期とを合わせた周期を補正後のMHPの周期とする。周期補正部97は、TA<TBで、補正対象のMHPの周期が0.5TA以上1.5TB未満の場合、補正対象のMHPの周期を補正しない。周期補正部97は、TA<TBで、補正対象のMHPの周期が(m−0.5)TB以上で(m+0.5)TB未満の場合(mは2以上の自然数)、図21(C)、図21(D)、図21(E)、図21(F)の場合と同様に補正対象のMHPの周期をm等分した周期をそれぞれ補正後の周期とする。
【0119】
また、周期補正部97は、TA>TBで、補正対象のMHPの周期が0.5TB未満の場合、補正対象のMHPの周期と次に計測されたMHPの周期とを合わせた周期を補正後のMHPの周期とする。周期補正部97は、TA>TBで、補正対象のMHPの周期が0.5TB以上1.5TA未満の場合、補正対象のMHPの周期を補正しない。周期補正部97は、TA>TBで、補正対象のMHPの周期が(m−0.5)TA以上で(m+0.5)TA未満の場合、補正対象のMHPの周期をm等分した周期をそれぞれ補正後の周期とする。
【0120】
移動平均値算出部96と周期補正部97以外の動作は、第4の実施の形態と同じである。こうして、本実施の形態では、第4の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
なお、第4の実施の形態と第5の実施の形態とを統一した思想で表現すると、周期補正部97の動作は以下のようになる。すなわち、周期補正部97は、移動平均値算出部96が算出した2つの移動平均値のうち小さい方をT1、大きい方をT2とし、Tx=T1+α・(T2−T1)としたとき(0≦α≦1)、補正対象のMHPの周期がk・Tx未満の場合は(kは1未満の正の値)、補正対象のMHPの周期と次に計測されたMHPの周期とを合わせた周期を補正後のMHPの周期とし、周期を合わせた波形を1つの波形とする。また、周期補正部97は、補正対象のMHPの周期が(m−0.5)・Tx以上で(m+0.5)・Tx未満の場合は(mは2以上の自然数)、補正対象のMHPの周期をm等分した周期をそれぞれ補正後の周期とし、補正後の周期の波形がm個あるものとする。
【0121】
[第6の実施の形態]
次に、本発明の第6の実施の形態について説明する。第1の実施の形態では、2値化部83が基準周期T0をしきい値として信号抽出部7の計測結果を2値化し、周期測定部84が2値化部83の出力の周期を測定しているが、2値化した後にノイズ除去のために2値化部83の出力を補正してもよい。
【0122】
図30は本実施の形態の演算部8の構成の1例を示すブロック図である。演算部8は、記憶部80と、基準周期算出部81と、速度算出部82と、2値化部83と、周期測定部84と、後述する計測結果補正部111によって補正された計数結果に基づいてウェブ11の振動周波数を算出する周波数算出部85aと、張力算出部86と、度数分別部87と、周期分別部88と、基準周期補正部89と、2値化出力の周期の度数分布を作成する度数分布作成部98と、2値化出力の周期の分布の代表値である代表周期を算出する代表周期算出部99と、2値化出力のパルスの数を数える2値化出力計数手段となるカウンタ110と、カウンタ110の計数結果を補正する計測結果補正部111とから構成される。
【0123】
周期測定部84は、第1の実施の形態で説明したとおり、2値化部83の出力の周期を測定する。周期測定部84の測定結果は記憶部80に格納される。
次に、度数分布作成部98は、周期測定部84の測定結果から、一定時間TD(TDは例えばMHP100個分の時間)における周期の度数分布を作成する。図31は度数分布の1例を示す図である。度数分布作成部98が作成した度数分布は、記憶部80に格納される。度数分布作成部98は、このような度数分布の作成をTD時間毎に行う。
【0124】
続いて、代表周期算出部99は、度数分布作成部98が作成した度数分布から、2値化部83の出力の周期の代表値である代表周期TEを算出する。一般に、周期の代表値は最頻値や中央値であるが、本実施の形態においては、最頻値や中央値が周期の代表値として適していない。そこで、代表周期算出部99は、階級値と度数との積が最大となる階級値を代表周期TEとする。表1に、度数分布の数値例およびこの数値例における階級値と度数との積を示す。
【0125】
【表1】
【0126】
表1の例では、度数が最大である最頻値(階級値)は1である。これに対して、階級値と度数との積が最大となる階級値は6であり、最頻値とは異なる値になっている。階級値と度数との積が最大となる階級値を代表周期TEとする理由については後述する。算出された代表周期TEの値は、記憶部80に格納される。代表周期算出部99は、このような代表周期TEの算出を、度数分布作成部98によって度数分布が作成される度に行う。
【0127】
一方、カウンタ110は、周期測定部84および度数分布作成部98と並行して動作し、度数分布作成部98が度数分布作成の対象とする期間と同じ一定時間TDの期間において、2値化部83の出力の立ち上がりエッジの数N(すなわち、2値化部83の出力の「1」のパルスの数)を数える。カウンタ110の計数結果Nは、記憶部80に格納される。カウンタ110は、このような2値化部83の出力の計数をTD時間毎に行う。
【0128】
計測結果補正部111は、度数分布作成部98が作成した度数分布から、代表周期TEの0.5倍以下である階級の度数の総和Nsと、代表周期TEの1.5倍以上である階級の度数の総和Nwとを求め、カウンタ110の計数結果Nを次式のように補正する。
N’=N−Ns+Nw ・・・(21)
式(21)において、N’は補正後の計数結果である。この補正後の計数結果N’は、記憶部80に格納される。計測結果補正部111は、このような補正をTD時間毎に行う。
【0129】
図32は度数の総和NsとNwを模式的に表す図である。図32において、Tsは代表周期TEの0.5倍の階級値、Twは代表周期TEの1.5倍の階級値である。図32における階級が、周期の代表値であることは言うまでもない。なお、図32では記載を簡略化するため、代表周期TEとTsとの間、及び代表周期TEとTwとの間の度数分布を省略している。
【0130】
図33はカウンタ110の計数結果の補正原理を説明するための図であり、図33(A)は2値化部83の出力を示す図、図33(B)は図33(A)に対応するカウンタ110の計数結果を示す図である。
本来、2値化部83の出力の周期はウェブ11の振動周波数によって異なるが、ウェブ11の振動周波数が不変であれば、2値化部83の出力のパルスは同じ周期で出現する。しかし、ノイズのために、MHPの波形には欠落が生じたり、信号として数えるべきでない波形が生じたりして、結果として2値化部83の出力の波形にも欠落や信号として数えるべきでない波形が生じ、2値化部83の出力のパルスの計数結果に誤差が生じる。
【0131】
信号の欠落が生じると、欠落が生じた箇所での2値化部83の出力の周期Twは、本来の周期のおよそ2倍になる。つまり、2値化部83の出力の周期が代表周期TEのおよそ2倍以上の場合には、信号に欠落が生じていると判断できる。そこで、周期Tw以上の階級の度数の総和Nwを信号が欠落した回数と見なし、このNwをカウンタ110の計数結果Nに加算することで、信号の欠落を補正することができる。
【0132】
また、スパイクノイズなどによって本来の信号が分割された箇所での2値化部83の出力の周期Tsは、本来の周期と比較して0.5倍よりも短い信号と0.5倍よりも長い信号の2つになる。つまり、2値化部83の出力の周期が代表周期TEのおよそ0.5倍以下の場合には、信号を過剰に数えていると判断できる。そこで、周期Ts以下の階級の度数の総和Nsを信号を過剰に数えた回数と見なし、このNsをカウンタ110の計数結果Nから減算することで、誤って数えたノイズを補正することができる。以上が、式(21)に示した計数結果の補正原理である。
【0133】
周波数算出部85aは、計測結果補正部111が計算した補正後の計数結果N’に基づいて、ウェブ11の振動周波数fsigを次式のように算出する。
fsig=N’/TD ・・・(22)
【0134】
基準周期算出部81、速度算出部82、張力算出部86、度数分別部87、周期分別部88および基準周期補正部89の動作は、第1の実施の形態で説明したとおりである。
以上のように、本実施の形態では、2値化部83の出力の周期を測定して一定時間TDにおける周期の度数分布を作成し、周期の度数分布から2値化部83の出力の周期の分布の代表値である代表周期TEを算出し、一定時間TDの期間において2値化部83の出力のパルスの数を数え、度数分布から、代表周期TEの0.5倍以下である階級の度数の総和Nsと代表周期TEの1.5倍以上である階級の度数の総和Nwとを求め、これらの度数NsとNwに基づいて2値化部83の出力のパルスの計数結果を補正することにより、2値化部83の出力の計数誤差を補正することができるので、ウェブ11の振動周波数の測定精度を向上させることができる。その結果、本実施の形態では、ウェブ11の速度や張力の計測精度を向上させることができる。
【0135】
[第7の実施の形態]
次に、本発明の第7の実施の形態について説明する。第1〜第6の実施の形態では、半導体レーザ1を三角波状に発振させていたが、これに限るものではなく、図34(A)に示すように半導体レーザ1を鋸波状に発振させてもよい。すなわち、本実施の形態では、第1の発振期間P1または第2の発振期間P2のいずれか一方が繰り返し存在するように半導体レーザ1を動作させればよい。
【0136】
本実施の形態のように半導体レーザ1を鋸波状に発振させる場合においても、半導体レーザ1の発振波長の変化速度が一定であることが必要である。第1の発振期間P1または第2の発振期間P2における動作は、三角波発振の場合と同様である。図34(A)に示すように第1の発振期間P1のみが繰り返し存在する鋸波状の発振の場合は第1の発振期間P1の処理を繰り返し行えばよく、第2の発振期間P2のみが繰り返し存在する鋸波状の発振の場合は第2の発振期間P2の処理を繰り返し行えばよいことは言うまでもない。
【0137】
ただし、計数部90の計数結果を示す図34(B)からも明らかなように、本実施の形態では、計数結果Nu,Ndの平均値を求めることはできない。したがって、半導体レーザ1を鋸波状に発振させる構成を、第3の実施の形態に適用することはできない。
【0138】
[第8の実施の形態]
次に、本発明の第8の実施の形態について説明する。第1〜第7の実施の形態では、MHP波形を含む電気信号を検出する検出手段としてフォトダイオード2と電流−電圧変換増幅部5とを用いたが、フォトダイオードを使用することなくMHP波形を抽出することも可能である。図35は本発明の第8の実施の形態に係る張力・速度計測装置の構成を示すブロック図であり、図1と同様の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の張力・速度計測装置は、第1〜第7の実施の形態のフォトダイオード2と電流−電圧変換増幅部5の代わりに、検出手段として電圧検出部12を用いるものである。
【0139】
電圧検出部12は、半導体レーザ1の端子間電圧、すなわちアノード−カソード間電圧を検出して増幅する。半導体レーザ1から放射されたレーザ光とウェブ11からの戻り光とによって干渉が生じるとき、半導体レーザ1の端子間電圧には、MHP波形が現れる。したがって、半導体レーザ1の端子間電圧からMHP波形を抽出することが可能である。
【0140】
フィルタ部6は、電圧検出部12の出力電圧から搬送波を除去する。張力・速度計測装置のその他の構成は、第1〜第7の実施の形態と同じである。
こうして、本実施の形態では、フォトダイオードを使用することなくMHP波形を抽出することができ、第1〜第7の実施の形態と比較して張力・速度計測装置の部品を削減することができ、張力・速度計測装置のコストを低減することができる。また、本実施の形態では、フォトダイオードを使用しないので、外乱光による影響を除去することができる。
【0141】
本実施の形態では、レーザドライバ4から半導体レーザ1に供給する駆動電流をレーザ発振のしきい値電流付近に制御することが好ましい。これにより、半導体レーザ1の端子間電圧からMHPを抽出することが容易になる。
【0142】
なお、第1〜第8の実施の形態において少なくとも信号抽出部7と演算部8,8a,8bと制御部104とは、例えばCPU、記憶装置およびインタフェースを備えたコンピュータとこれらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。このようなコンピュータを動作させるためのプログラムは、フレキシブルディスク、CD−ROM、DVD−ROM、メモリカードなどの記録媒体に記録された状態で提供される。CPUは、読み込んだプログラムを記憶装置に書き込み、このプログラムに従って第1〜第8の実施の形態で説明した処理を実行する。
【0143】
また、第1〜第8の実施の形態では、センサモジュール10を図2に示すように配置したが、これに限るものではない。例えば図36に示すように、半導体レーザ1からのレーザ光が送出側ロール102の箇所または受取側ロール103の箇所でウェブ11に入射するようにしてもよい。この場合、測定可能な物理量は、ウェブ11の速度と、半導体レーザ1とウェブ11との距離であり、ウェブ11の張力を測定することはできない。ウェブ11との距離を測定すれば、ロールの半径を間接的に算出することができ、ロール半径のモニタリングが実現できる。なお、自己結合型のレーザ計測器において、物体との距離を測定することは周知技術である。また、送出側ロール102の箇所または受取側ロール103の箇所で、レーザ光をウェブ11に対して垂直に照射した場合には、ウェブ11との距離のみを測定することができる。
【産業上の利用可能性】
【0144】
本発明は、搬送装置によって送出側から受取側まで搬送中の物体であるウェブの速度と張力を測定する技術に適用することができる。
【符号の説明】
【0145】
1…半導体レーザ、2…フォトダイオード、3…レンズ、4…レーザドライバ、5…電流−電圧変換増幅部、6…フィルタ部、7…信号抽出部、8,8a,8b…演算部、9…表示部、10…センサモジュール、11…ウェブ、12…電圧検出部、80…記憶部、81…基準周期算出部、82…速度算出部、83…2値化部、84…周期測定部、85…周波数算出部、86…張力算出部、87…度数分別部、88…周期分別部、89…基準周期補正部、90…計数部、91…距離算出部、92…基準周期算出部、93…距離比例個数算出部、94…符号付与部、95…基準周期算出部、96…移動平均値算出部、97…周期補正部、98…度数分布作成部、99…代表周期算出部、100…送出側ガイド軸、101…受取側ガイド軸、102…送出側ロール、103…受取側ロール、104…制御部、110…カウンタ、111…計測結果補正部。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
搬送装置によって送出側から受取側まで搬送中の物体であるウェブにレーザ光を放射する半導体レーザと、
発振波長が連続的に単調増加する第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する第2の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように前記半導体レーザを動作させる発振波長変調手段と、
前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記ウェブからの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段と、
この検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に計測する信号抽出手段と、
この信号抽出手段が計測した個々の周期の基準周期に対する変化に基づいて、前記ウェブの速度およびウェブの張力の少なくとも一方を算出する演算手段とを備えることを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項2】
請求項1記載の張力・速度計測装置において、
前記演算手段は、
前記信号抽出手段が計測した個々の周期の基準周期に対する変化量に基づいて前記ウェブの速度を算出する速度算出手段と、
前記基準周期をしきい値として前記干渉波形の周期を2値化する2値化手段と、
この2値化手段の出力の周期を測定する周期測定手段と、
この周期測定手段が測定した周期から前記ウェブの振動周波数を算出する周波数算出手段と、
前記ウェブの速度と前記ウェブの振動周波数に基づいて前記ウェブの張力を算出する張力算出手段とを備えることを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項3】
請求項1記載の張力・速度計測装置において、
さらに、前記信号抽出手段の計測結果から、前記基準周期の第1の所定数倍未満の周期の度数と前記基準周期の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期の度数とを求める度数分別手段と、
前記信号抽出手段の計測結果から、前記基準周期の第1の所定数倍未満の周期と前記基準周期の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期とを抽出する周期分別手段と、
前記度数分別手段が求めた度数と前記周期分別手段が抽出した周期とに基づいて前記基準周期を補正する基準周期補正手段とを備えることを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項4】
請求項3記載の張力・速度計測装置において、
前記基準周期補正手段は、補正前の前記基準周期をT0、前記基準周期T0の第1の所定数倍未満の周期の度数をNs、前記基準周期T0の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期の度数をN、前記基準周期T0の第1の所定数倍未満の周期に含まれるj番目(jは1〜Nsの整数)の周期をTsj、前記基準周期T0の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期に含まれるi番目(iは1〜Nの整数)の周期をTiとしたとき、(ΣTi−Ns×T0+ΣTsj)/(N−Ns)または(ΣTi+ΣTsj)/Nにより前記基準周期T0の補正値を算出することを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項5】
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の張力・速度計測装置において、
さらに、前記信号抽出手段が計測した所定数の干渉波形の周期の平均を前記基準周期の初期値とする基準周期算出手段を備えることを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項6】
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の張力・速度計測装置において、
さらに、前記検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第1の発振期間と前記第2の発振期間の各々について数える計数手段と、
この計数手段によって干渉波形の数を数える期間における最小発振波長と最大発振波長と前記計数手段の計数結果とから前記半導体レーザと前記ウェブとの距離を算出する距離算出手段と、
この距離算出手段が算出した距離から前記基準周期の初期値を求める基準周期算出手段とを備えることを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項7】
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の張力・速度計測装置において、
さらに、前記検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第1の発振期間と前記第2の発振期間の各々について数える計数手段と、
前記干渉波形の数の平均値を算出することにより前記半導体レーザと前記ウェブとの平均距離に比例した干渉波形の数である距離比例個数を求める距離比例個数算出手段と、
前記距離比例個数から前記基準周期の初期値を算出する基準周期算出手段とを備えることを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項8】
請求項2記載の張力・速度計測装置において、
前記演算手段は、さらに、前記信号抽出手段で計測された補正対象の干渉波形の周期に対して、その直前と直後のうち少なくとも一方において計測された干渉波形の周期の移動平均値を算出する移動平均値算出手段と、
前記補正対象の干渉波形の周期と前記移動平均値とを比較することにより前記補正対象の干渉波形の周期を補正する周期補正手段とを備え、
前記2値化手段は、前記干渉波形の周期を2値化する代わりに、前記周期補正手段によって補正された周期を、前記基準周期をしきい値として2値化することを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項9】
請求項8記載の張力・速度計測装置において、
前記移動平均値算出手段は、前記補正対象の干渉波形の周期の直前に計測された所定数の干渉波形の周期の移動平均値と前記補正対象の干渉波形の周期の直後に計測された所定数の干渉波形の周期の移動平均値とを算出し、
前記周期補正手段は、前記移動平均値算出手段が算出した2つの移動平均値のうち小さい方をT1、大きい方をT2とし、Tx=T1+α・(T2−T1)としたとき(0≦α≦1)、前記補正対象の干渉波形の周期が前記Txの所定数k倍未満の場合は(kは1未満の正の値)、この補正対象の干渉波形の周期と次に計測された干渉波形の周期とを合わせた周期を補正後の干渉波形の周期とし、周期を合わせた波形を1つの波形とし、前記補正対象の干渉波形の周期が前記Txの(m−0.5)倍以上で且つ前記Txの(m+0.5)倍未満の場合は(mは2以上の自然数)、前記補正対象の干渉波形の周期をm等分した周期をそれぞれ補正後の周期とし、補正後の周期の波形がm個あるものとすることを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項10】
請求項2記載の張力・速度計測装置において、
前記演算手段は、さらに、前記周期測定手段の測定結果から一定時間における2値化出力の周期の度数分布を作成する2値化出力周期度数分布作成手段と、
前記2値化出力の周期の度数分布から前記2値化出力の周期の分布の代表値である代表周期を算出する代表周期算出手段と、
前記2値化出力周期度数分布作成手段が度数分布作成の対象とする期間と同じ一定時間の期間において前記2値化出力のパルスの数を数える2値化出力計数手段と、
前記2値化出力の周期の度数分布から、前記代表周期の第1の所定数倍以下である階級の度数の総和Nsと前記代表周期の第2の所定数倍以上である階級の度数の総和Nwとを求め、これらの度数NsとNwに基づいて前記2値化出力計数手段の計数結果を補正する計測結果補正手段とを備え、
前記周波数算出手段は、前記周期測定手段が測定した周期から前記ウェブの振動周波数を算出する代わりに、前記計測結果補正手段で補正された計数結果と前記一定時間に基づいて前記ウェブの振動周波数を算出することを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項11】
請求項10記載の張力・速度計測装置において、
前記代表周期算出手段は、階級値と度数との積が最大となる階級値を前記代表周期とすることを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項12】
搬送装置によって送出側から受取側まで搬送中の物体であるウェブにレーザ光を放射する半導体レーザを、発振波長が連続的に単調増加する第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する第2の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように動作させる発振手順と、
前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記ウェブからの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手順と、
この検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に計測する信号抽出手順と、
この信号抽出手順で計測した個々の周期の基準周期に対する変化に基づいて、前記ウェブの速度およびウェブの張力の少なくとも一方を算出する演算手順とを備えることを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項13】
請求項12記載の張力・速度計測方法において、
前記演算手順は、
前記信号抽出手順で計測した個々の周期の基準周期に対する変化量に基づいて前記ウェブの速度を算出する速度算出手順と、
前記基準周期をしきい値として前記干渉波形の周期を2値化する2値化手順と、
この2値化手順で得られた出力の周期を測定する周期測定手順と、
この周期測定手順で測定した周期から前記ウェブの振動周波数を算出する周波数算出手順と、
前記ウェブの速度と前記ウェブの振動周波数に基づいて前記ウェブの張力を算出する張力算出手順とを含むことを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項14】
請求項12記載の張力・速度計測方法において、
さらに、前記信号抽出手順の計測結果から、前記基準周期の第1の所定数倍未満の周期の度数と前記基準周期の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期の度数とを求める度数分別手順と、
前記信号抽出手順の計測結果から、前記基準周期の第1の所定数倍未満の周期と前記基準周期の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期とを抽出する周期分別手順と、
前記度数分別手順で求めた度数と前記周期分別手順で抽出した周期とに基づいて前記基準周期を補正する基準周期補正手順とを備えることを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項15】
請求項14記載の張力・速度計測方法において、
前記基準周期補正手順は、補正前の前記基準周期をT0、前記基準周期T0の第1の所定数倍未満の周期の度数をNs、前記基準周期T0の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期の度数をN、前記基準周期T0の第1の所定数倍未満の周期に含まれるj番目(jは1〜Nsの整数)の周期をTsj、前記基準周期T0の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期に含まれるi番目(iは1〜Nの整数)の周期をTiとしたとき、(ΣTi−Ns×T0+ΣTsj)/(N−Ns)または(ΣTi+ΣTsj)/Nにより前記基準周期T0の補正値を算出することを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項16】
請求項12乃至15のいずれか1項に記載の張力・速度計測方法において、
さらに、前記信号抽出手順で計測した所定数の干渉波形の周期の平均を前記基準周期の初期値とする基準周期算出手順を備えることを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項17】
請求項12乃至15のいずれか1項に記載の張力・速度計測方法において、
さらに、前記検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第1の発振期間と前記第2の発振期間の各々について数える計数手順と、
この計数手順によって干渉波形の数を数える期間における最小発振波長と最大発振波長と前記計数手順の計数結果とから前記半導体レーザと前記ウェブとの距離を算出する距離算出手順と、
この距離算出手順で算出した距離から前記基準周期の初期値を求める基準周期算出手順とを備えることを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項18】
請求項12乃至15のいずれか1項に記載の張力・速度計測方法において、
さらに、前記検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第1の発振期間と前記第2の発振期間の各々について数える計数手順と、
前記干渉波形の数の平均値を算出することにより前記半導体レーザと前記ウェブとの平均距離に比例した干渉波形の数である距離比例個数を求める距離比例個数算出手順と、
前記距離比例個数から前記基準周期の初期値を算出する基準周期算出手順とを備えることを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項19】
請求項13記載の張力・速度計測方法において、
前記演算手順は、さらに、前記信号抽出手順で計測された補正対象の干渉波形の周期に対して、その直前と直後のうち少なくとも一方において計測された干渉波形の周期の移動平均値を算出する移動平均値算出手順と、
前記補正対象の干渉波形の周期と前記移動平均値とを比較することにより前記補正対象の干渉波形の周期を補正する周期補正手順とを備え、
前記2値化手順は、前記干渉波形の周期を2値化する代わりに、前記周期補正手順によって補正された周期を、前記基準周期をしきい値として2値化することを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項20】
請求項19記載の張力・速度計測方法において、
前記移動平均値算出手順は、前記補正対象の干渉波形の周期の直前に計測された所定数の干渉波形の周期の移動平均値と前記補正対象の干渉波形の周期の直後に計測された所定数の干渉波形の周期の移動平均値とを算出し、
前記周期補正手順は、前記移動平均値算出手順で算出した2つの移動平均値のうち小さい方をT1、大きい方をT2とし、Tx=T1+α・(T2−T1)としたとき(0≦α≦1)、前記補正対象の干渉波形の周期が前記Txの所定数k倍未満の場合は(kは1未満の正の値)、この補正対象の干渉波形の周期と次に計測された干渉波形の周期とを合わせた周期を補正後の干渉波形の周期とし、周期を合わせた波形を1つの波形とし、前記補正対象の干渉波形の周期が前記Txの(m−0.5)倍以上で且つ前記Txの(m+0.5)倍未満の場合は(mは2以上の自然数)、前記補正対象の干渉波形の周期をm等分した周期をそれぞれ補正後の周期とし、補正後の周期の波形がm個あるものとすることを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項21】
請求項13記載の張力・速度計測方法において、
前記演算手順は、さらに、前記周期測定手順の測定結果から一定時間における2値化出力の周期の度数分布を作成する2値化出力周期度数分布作成手順と、
前記2値化出力の周期の度数分布から前記2値化出力の周期の分布の代表値である代表周期を算出する代表周期算出手順と、
前記2値化出力周期度数分布作成手順が度数分布作成の対象とする期間と同じ一定時間の期間において前記2値化出力のパルスの数を数える2値化出力計数手順と、
前記2値化出力の周期の度数分布から、前記代表周期の第1の所定数倍以下である階級の度数の総和Nsと前記代表周期の第2の所定数倍以上である階級の度数の総和Nwとを求め、これらの度数NsとNwに基づいて前記2値化出力計数手順の計数結果を補正する計測結果補正手順とを備え、
前記周波数算出手順は、前記周期測定手順で測定した周期から前記ウェブの振動周波数を算出する代わりに、前記計測結果補正手順で補正された計数結果と前記一定時間に基づいて前記ウェブの振動周波数を算出することを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項22】
請求項21記載の張力・速度計測方法において、
前記代表周期算出手順は、階級値と度数との積が最大となる階級値を前記代表周期とすることを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項1】
搬送装置によって送出側から受取側まで搬送中の物体であるウェブにレーザ光を放射する半導体レーザと、
発振波長が連続的に単調増加する第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する第2の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように前記半導体レーザを動作させる発振波長変調手段と、
前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記ウェブからの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段と、
この検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に計測する信号抽出手段と、
この信号抽出手段が計測した個々の周期の基準周期に対する変化に基づいて、前記ウェブの速度およびウェブの張力の少なくとも一方を算出する演算手段とを備えることを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項2】
請求項1記載の張力・速度計測装置において、
前記演算手段は、
前記信号抽出手段が計測した個々の周期の基準周期に対する変化量に基づいて前記ウェブの速度を算出する速度算出手段と、
前記基準周期をしきい値として前記干渉波形の周期を2値化する2値化手段と、
この2値化手段の出力の周期を測定する周期測定手段と、
この周期測定手段が測定した周期から前記ウェブの振動周波数を算出する周波数算出手段と、
前記ウェブの速度と前記ウェブの振動周波数に基づいて前記ウェブの張力を算出する張力算出手段とを備えることを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項3】
請求項1記載の張力・速度計測装置において、
さらに、前記信号抽出手段の計測結果から、前記基準周期の第1の所定数倍未満の周期の度数と前記基準周期の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期の度数とを求める度数分別手段と、
前記信号抽出手段の計測結果から、前記基準周期の第1の所定数倍未満の周期と前記基準周期の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期とを抽出する周期分別手段と、
前記度数分別手段が求めた度数と前記周期分別手段が抽出した周期とに基づいて前記基準周期を補正する基準周期補正手段とを備えることを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項4】
請求項3記載の張力・速度計測装置において、
前記基準周期補正手段は、補正前の前記基準周期をT0、前記基準周期T0の第1の所定数倍未満の周期の度数をNs、前記基準周期T0の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期の度数をN、前記基準周期T0の第1の所定数倍未満の周期に含まれるj番目(jは1〜Nsの整数)の周期をTsj、前記基準周期T0の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期に含まれるi番目(iは1〜Nの整数)の周期をTiとしたとき、(ΣTi−Ns×T0+ΣTsj)/(N−Ns)または(ΣTi+ΣTsj)/Nにより前記基準周期T0の補正値を算出することを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項5】
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の張力・速度計測装置において、
さらに、前記信号抽出手段が計測した所定数の干渉波形の周期の平均を前記基準周期の初期値とする基準周期算出手段を備えることを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項6】
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の張力・速度計測装置において、
さらに、前記検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第1の発振期間と前記第2の発振期間の各々について数える計数手段と、
この計数手段によって干渉波形の数を数える期間における最小発振波長と最大発振波長と前記計数手段の計数結果とから前記半導体レーザと前記ウェブとの距離を算出する距離算出手段と、
この距離算出手段が算出した距離から前記基準周期の初期値を求める基準周期算出手段とを備えることを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項7】
請求項1乃至4のいずれか1項に記載の張力・速度計測装置において、
さらに、前記検出手段の出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第1の発振期間と前記第2の発振期間の各々について数える計数手段と、
前記干渉波形の数の平均値を算出することにより前記半導体レーザと前記ウェブとの平均距離に比例した干渉波形の数である距離比例個数を求める距離比例個数算出手段と、
前記距離比例個数から前記基準周期の初期値を算出する基準周期算出手段とを備えることを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項8】
請求項2記載の張力・速度計測装置において、
前記演算手段は、さらに、前記信号抽出手段で計測された補正対象の干渉波形の周期に対して、その直前と直後のうち少なくとも一方において計測された干渉波形の周期の移動平均値を算出する移動平均値算出手段と、
前記補正対象の干渉波形の周期と前記移動平均値とを比較することにより前記補正対象の干渉波形の周期を補正する周期補正手段とを備え、
前記2値化手段は、前記干渉波形の周期を2値化する代わりに、前記周期補正手段によって補正された周期を、前記基準周期をしきい値として2値化することを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項9】
請求項8記載の張力・速度計測装置において、
前記移動平均値算出手段は、前記補正対象の干渉波形の周期の直前に計測された所定数の干渉波形の周期の移動平均値と前記補正対象の干渉波形の周期の直後に計測された所定数の干渉波形の周期の移動平均値とを算出し、
前記周期補正手段は、前記移動平均値算出手段が算出した2つの移動平均値のうち小さい方をT1、大きい方をT2とし、Tx=T1+α・(T2−T1)としたとき(0≦α≦1)、前記補正対象の干渉波形の周期が前記Txの所定数k倍未満の場合は(kは1未満の正の値)、この補正対象の干渉波形の周期と次に計測された干渉波形の周期とを合わせた周期を補正後の干渉波形の周期とし、周期を合わせた波形を1つの波形とし、前記補正対象の干渉波形の周期が前記Txの(m−0.5)倍以上で且つ前記Txの(m+0.5)倍未満の場合は(mは2以上の自然数)、前記補正対象の干渉波形の周期をm等分した周期をそれぞれ補正後の周期とし、補正後の周期の波形がm個あるものとすることを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項10】
請求項2記載の張力・速度計測装置において、
前記演算手段は、さらに、前記周期測定手段の測定結果から一定時間における2値化出力の周期の度数分布を作成する2値化出力周期度数分布作成手段と、
前記2値化出力の周期の度数分布から前記2値化出力の周期の分布の代表値である代表周期を算出する代表周期算出手段と、
前記2値化出力周期度数分布作成手段が度数分布作成の対象とする期間と同じ一定時間の期間において前記2値化出力のパルスの数を数える2値化出力計数手段と、
前記2値化出力の周期の度数分布から、前記代表周期の第1の所定数倍以下である階級の度数の総和Nsと前記代表周期の第2の所定数倍以上である階級の度数の総和Nwとを求め、これらの度数NsとNwに基づいて前記2値化出力計数手段の計数結果を補正する計測結果補正手段とを備え、
前記周波数算出手段は、前記周期測定手段が測定した周期から前記ウェブの振動周波数を算出する代わりに、前記計測結果補正手段で補正された計数結果と前記一定時間に基づいて前記ウェブの振動周波数を算出することを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項11】
請求項10記載の張力・速度計測装置において、
前記代表周期算出手段は、階級値と度数との積が最大となる階級値を前記代表周期とすることを特徴とする張力・速度計測装置。
【請求項12】
搬送装置によって送出側から受取側まで搬送中の物体であるウェブにレーザ光を放射する半導体レーザを、発振波長が連続的に単調増加する第1の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する第2の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように動作させる発振手順と、
前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記ウェブからの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手順と、
この検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に計測する信号抽出手順と、
この信号抽出手順で計測した個々の周期の基準周期に対する変化に基づいて、前記ウェブの速度およびウェブの張力の少なくとも一方を算出する演算手順とを備えることを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項13】
請求項12記載の張力・速度計測方法において、
前記演算手順は、
前記信号抽出手順で計測した個々の周期の基準周期に対する変化量に基づいて前記ウェブの速度を算出する速度算出手順と、
前記基準周期をしきい値として前記干渉波形の周期を2値化する2値化手順と、
この2値化手順で得られた出力の周期を測定する周期測定手順と、
この周期測定手順で測定した周期から前記ウェブの振動周波数を算出する周波数算出手順と、
前記ウェブの速度と前記ウェブの振動周波数に基づいて前記ウェブの張力を算出する張力算出手順とを含むことを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項14】
請求項12記載の張力・速度計測方法において、
さらに、前記信号抽出手順の計測結果から、前記基準周期の第1の所定数倍未満の周期の度数と前記基準周期の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期の度数とを求める度数分別手順と、
前記信号抽出手順の計測結果から、前記基準周期の第1の所定数倍未満の周期と前記基準周期の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期とを抽出する周期分別手順と、
前記度数分別手順で求めた度数と前記周期分別手順で抽出した周期とに基づいて前記基準周期を補正する基準周期補正手順とを備えることを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項15】
請求項14記載の張力・速度計測方法において、
前記基準周期補正手順は、補正前の前記基準周期をT0、前記基準周期T0の第1の所定数倍未満の周期の度数をNs、前記基準周期T0の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期の度数をN、前記基準周期T0の第1の所定数倍未満の周期に含まれるj番目(jは1〜Nsの整数)の周期をTsj、前記基準周期T0の第1の所定数倍以上第2の所定数倍以下の周期に含まれるi番目(iは1〜Nの整数)の周期をTiとしたとき、(ΣTi−Ns×T0+ΣTsj)/(N−Ns)または(ΣTi+ΣTsj)/Nにより前記基準周期T0の補正値を算出することを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項16】
請求項12乃至15のいずれか1項に記載の張力・速度計測方法において、
さらに、前記信号抽出手順で計測した所定数の干渉波形の周期の平均を前記基準周期の初期値とする基準周期算出手順を備えることを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項17】
請求項12乃至15のいずれか1項に記載の張力・速度計測方法において、
さらに、前記検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第1の発振期間と前記第2の発振期間の各々について数える計数手順と、
この計数手順によって干渉波形の数を数える期間における最小発振波長と最大発振波長と前記計数手順の計数結果とから前記半導体レーザと前記ウェブとの距離を算出する距離算出手順と、
この距離算出手順で算出した距離から前記基準周期の初期値を求める基準周期算出手順とを備えることを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項18】
請求項12乃至15のいずれか1項に記載の張力・速度計測方法において、
さらに、前記検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第1の発振期間と前記第2の発振期間の各々について数える計数手順と、
前記干渉波形の数の平均値を算出することにより前記半導体レーザと前記ウェブとの平均距離に比例した干渉波形の数である距離比例個数を求める距離比例個数算出手順と、
前記距離比例個数から前記基準周期の初期値を算出する基準周期算出手順とを備えることを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項19】
請求項13記載の張力・速度計測方法において、
前記演算手順は、さらに、前記信号抽出手順で計測された補正対象の干渉波形の周期に対して、その直前と直後のうち少なくとも一方において計測された干渉波形の周期の移動平均値を算出する移動平均値算出手順と、
前記補正対象の干渉波形の周期と前記移動平均値とを比較することにより前記補正対象の干渉波形の周期を補正する周期補正手順とを備え、
前記2値化手順は、前記干渉波形の周期を2値化する代わりに、前記周期補正手順によって補正された周期を、前記基準周期をしきい値として2値化することを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項20】
請求項19記載の張力・速度計測方法において、
前記移動平均値算出手順は、前記補正対象の干渉波形の周期の直前に計測された所定数の干渉波形の周期の移動平均値と前記補正対象の干渉波形の周期の直後に計測された所定数の干渉波形の周期の移動平均値とを算出し、
前記周期補正手順は、前記移動平均値算出手順で算出した2つの移動平均値のうち小さい方をT1、大きい方をT2とし、Tx=T1+α・(T2−T1)としたとき(0≦α≦1)、前記補正対象の干渉波形の周期が前記Txの所定数k倍未満の場合は(kは1未満の正の値)、この補正対象の干渉波形の周期と次に計測された干渉波形の周期とを合わせた周期を補正後の干渉波形の周期とし、周期を合わせた波形を1つの波形とし、前記補正対象の干渉波形の周期が前記Txの(m−0.5)倍以上で且つ前記Txの(m+0.5)倍未満の場合は(mは2以上の自然数)、前記補正対象の干渉波形の周期をm等分した周期をそれぞれ補正後の周期とし、補正後の周期の波形がm個あるものとすることを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項21】
請求項13記載の張力・速度計測方法において、
前記演算手順は、さらに、前記周期測定手順の測定結果から一定時間における2値化出力の周期の度数分布を作成する2値化出力周期度数分布作成手順と、
前記2値化出力の周期の度数分布から前記2値化出力の周期の分布の代表値である代表周期を算出する代表周期算出手順と、
前記2値化出力周期度数分布作成手順が度数分布作成の対象とする期間と同じ一定時間の期間において前記2値化出力のパルスの数を数える2値化出力計数手順と、
前記2値化出力の周期の度数分布から、前記代表周期の第1の所定数倍以下である階級の度数の総和Nsと前記代表周期の第2の所定数倍以上である階級の度数の総和Nwとを求め、これらの度数NsとNwに基づいて前記2値化出力計数手順の計数結果を補正する計測結果補正手順とを備え、
前記周波数算出手順は、前記周期測定手順で測定した周期から前記ウェブの振動周波数を算出する代わりに、前記計測結果補正手順で補正された計数結果と前記一定時間に基づいて前記ウェブの振動周波数を算出することを特徴とする張力・速度計測方法。
【請求項22】
請求項21記載の張力・速度計測方法において、
前記代表周期算出手順は、階級値と度数との積が最大となる階級値を前記代表周期とすることを特徴とする張力・速度計測方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】
【図35】
【図36】
【図37】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】
【図35】
【図36】
【図37】
【公開番号】特開2010−210382(P2010−210382A)
【公開日】平成22年9月24日(2010.9.24)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−56168(P2009−56168)
【出願日】平成21年3月10日(2009.3.10)
【出願人】(000006666)株式会社山武 (1,808)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成22年9月24日(2010.9.24)
【国際特許分類】
【出願日】平成21年3月10日(2009.3.10)
【出願人】(000006666)株式会社山武 (1,808)
【Fターム(参考)】
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