【課題】 簡単な構造で直動方向の摩擦抵抗を低減することができる回転／直動軸受けを備えたアクチュエータを提供する。
【解決手段】 可動子コア４１を固定したシャフト４２の両側が、それぞれの回転用軸受け４３によって回転自在に支承される。可動子コア４１の外周には、永久磁石４４、コイル４５及び固定子コア４６が固定的に配置される。両側の回転用軸受け４３の外側に配置されたそれぞれの板バネ４７は、（ｂ）図に示すように「８」の字状に形成されてレシプロモータの両側面に配置される。回転用軸受け４３が板バネ４７の内側に取り付けられた構成により、可動子コア４１が取り付けられたシャフト４２は、両側面の板バネ４７の撓みによってリニア方向へ直動できると同時に、回転用軸受け４３によって自在に回転できる。 （もっと読む）

【課題】災害等の電力遮断時においても自然エネルギーに基づいて電力を発生および貯蓄させるとともに、長期に渡って基地局との通信により各装置を最適に動作させることができる被災害時情報提供装置およびその装置を用いた被災害時情報提供システムを提供することである。
【解決手段】 風力発電装置６０および太陽光発電装置４０のいずれかまたは両方により電力が発電される。また、発電された電力に基づいてＳＳ無線装置５１とＰＨＳ５２により役場災害情報デスクと通信でき、役場災害情報デスクからの災害情報に基づいて制御装置１０が警報パネル３１ａ，３１ｂ、文字表示器３２、拡声器３３ａ，３３ｂの動作およびＬＥＤ照明３４ａ，３４ｂの輝度の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】 小型、安価、簡単な構成で、検出範囲が広く、かつ検出部と検出対象とのギャップ変動に強い非接触変位センサ装置を提供する。
【解決手段】 検出部１はコア２とコア２に巻かれたコイル３から成る。コア２は、環状の磁性体からなり、環状の一部を切り欠いた開口部２ａを有する。この検出部１はアクチュエータの固定部等に設けられる。検出対象４は直方体の磁性体からなり、開口部２ａに挿入されてδ＝δ1＋δ2のギャップを介して配置される。この検出対象４はアクチュエータなどの可動部５に固定される。コイル３には移動量演算部６が接続されており、検出対象４及び可動部５の移動に応じたコイル３のインダクタンス変化を検出して移動量に応じた移動量信号７を出力する。 （もっと読む）

【課題】
基板の製品仕掛り時間（ＴＡＴ）を短縮させることである。
【解決手段】
走行軌道Ｌ₁ を構成する本線経路１の周囲に、基板Ｗに施す処理の工程順に各処理装置Ａ〜Ｆを配設すると共に、前記本線経路１と前記各処理装置Ａ〜Ｆとの間に、両者の間で基板Ｗの受渡しを行うための基板受渡し装置Ｇ₁ を配設し、前記本線経路１を走行する基板搬送台車Ｍ₁ によって１枚ずつ搬送される基板Ｗを、各処理装置Ａ〜Ｆに受け渡して所定の処理をさせ、各処理装置Ａ〜Ｆで処理された基板Ｗを基板受渡し装置Ｇ₁ によって本線経路１に待機している空の基板搬送台車Ｍ₁ に受け渡して、後工程の処理装置Ａ〜Ｆに搬送する。 （もっと読む）

【課題】 誤結線時の外部アラーム出力を実現し、部品点数を減らして低コスト化、小型化を図る。
【解決手段】 電流検出回路５０は、ＩＮ−ＤＢ１間の電流量を検出する。電流判定回路６０は、その電流量からＩＮかＯＵＴのどちらから電源が投入されたかを判断し、ＯＵＴから電源投入されたと判断された場合には、誤結線検出信号を制御回路４０に供給する。制御回路４０は、誤結線検出信号が供給されると、ＰＷＭ出力回路２の動作を止める。これにより、ＯＵＴから電源が入力された場合でも、事前にＰＷＭ出力回路２の動作を止めることで電源線の誤結線による故障を防止する。 （もっと読む）

【課題】 装置構成の簡素化を図るとともに、基板の確実な搬送が可能であり、大型基板に好ましく適用される基板搬送装置及び基板搬送方法を提供する。
【解決手段】 基板搬送装置１は、第１装置１０１と第２装置１０２との間の中間位置Ｍ１に配されるコンベア４０と、中間位置Ｍ１と第２装置１０２との間で基板Ｐの移送を行うアーム機構２０とを備える。アーム機構２０は、基板Ｐを支持する棒状部材２１と、棒状部材２１の一端が固定された基部３０と、基部３０に設けられコンベア４０による基板Ｐの搬送を補助する搬送補助部３５とを有する。 （もっと読む）

【課題】 大型のワークを安定的に昇降させることが可能であり、また、装置の大型化や装置重量の抑制、さらには出荷に伴う作業労力の軽減が可能な昇降装置を提供する。
【解決手段】 昇降装置１０は、複数のポスト２１，２２を有するベースユニット１２と、ワークを支持するワーク支持ユニット１３と、一端がベースユニット１２のポスト２１，２２に連結されかつ他端がワーク支持ユニット１３に連結される屈伸型の複数のアームユニット４１，４２，４３，４４を有する昇降機構１４とを備える。ワーク上昇時に、ワーク支持ユニット１３が複数のポスト２１，２２よりも高い位置に配され、ワーク下降時に、ワーク支持ユニット１３の少なくとも一部が複数のポスト２１，２２の間に配される。 （もっと読む）

【課題】 溶融ルツボ内での固液界面の位置を正確かつリアルタイムで容易に把握することができる固液界面検出装置、およびこれを用いて固化方向が適切に制御された良質なインゴットを鋳造可能な鋳造装置及び鋳造方法を提供する。
【解決手段】 溶解ルツボ１１の周縁を取り巻くコイル２２に生じる磁束線Ｍは、導電率の低い固化シリコン４１の領域はそのまま透過するが、固液界面Ｓを境にして導電率の高い溶融シリコン４２の領域を避けるように歪む（図３中の磁束線Ｍａ部分）。こうして、コイル２２に生じる磁束線Ｍが特定の領域で導電率の高い物質に接して乱れを生じると、コイル２２のインダクタンスが変化する。 （もっと読む）

【課題】昇降精度に基づき、性能とコストの適正化を図ることができる、ロードポート装置及びマッピング装置を提供する。
【解決手段】ロードポート装置Ｐを構成するロードポートフレーム１の正面部に、蓋体着脱装置Ａと、該蓋体着脱装置Ａを昇降させるための第１昇降装置Ｕ₁ と、マッピング装置Ｂを片持ち状態で支持したマッピングフレーム４３とを配設すると共に、前記ロードポートフレーム１の背面部に、前記マッピング装置Ｂを昇降させるための第２昇降装置Ｕ₂ を配設して、両装置Ａ，Ｂが第１及び第２の各昇降装置Ｕ₁,Ｕ₂ によりそれぞれ独立して昇降されるように構成し、前記蓋体着脱装置Ａをエアシリンダ９，１１で昇降させると共に、前記マッピング装置Ｂをステッピングモータ３８で昇降させる。 （もっと読む）

【課題】微小部品の搬送を安定して行うとともに、製造コストおよび部品点数の削減を実現することが可能な微小部品搬送装置を提供することである。
【解決手段】 微小部品供給装置１００においては、圧電式振動部３０２により発振された振動が、第１搬送部材３２０に振動が与えられることにより微小部品８００の移送が行われる。また、板ばね３６０により第１搬送部材３２０に与えられた振動が第３搬送部材３５０にも与えられる。第３搬送部材３５０が振動することにより微小部品８００の移送が行われる。板ばね３６０は、第３搬送部材３５０の固定部３５５により固定される。固定部３５５には、直線状の切込み３４１が形成され、直線状の切込み３４１の先端には湾曲状の切込み３４２が形成され、板ばね３６０の厚みがばらついても確実に把持することが可能な機構を有する。 （もっと読む）