【課題】凹凸パターンの倒れを防止することに奏功するウェハの洗浄方法に関し、経済的かつ効率的にウェハを洗浄することが可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】表面に凹凸パターンを有し、該凹凸パターンの少なくとも一部がシリコン元素を含むウェハの表面に前処理用薬液を供給することにより、凹凸パターンの表面を改質する、前処理工程、および、
改質された凹凸パターンの表面に保護膜形成用薬液を供給することにより、凹凸パターンの表面に撥水性の保護膜を形成する、保護膜形成工程
を少なくとも含むウェハの洗浄方法であって、
前記前処理工程では、酸をモル濃度で０．００１〜５ｍｏｌ／Ｌ含み、ｐＨが３以下である前処理用薬液を用いて、４０℃以上、前処理用薬液の沸点未満の温度で凹凸パターンの表面を改質することを特徴とする、ウェハの洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】表面に凹凸パターンが形成されたウェハのパターン倒れを防止する洗浄方法を提供する。
【解決手段】ウエハ１の表面に凸部３及び凹部４からなる凹凸パターンを形成し、該凹凸パターンの少なくとも凹部４に液体９が保持された状態で、ジアルキルシリル化合物を含有しかつ酸及び塩基を含有しない撥水性保護膜形成用薬液を表面に保持させて、撥水性保護膜１０を形成し、該撥水性保護膜１０がウェハ１の表面に保持されている状態で、液体９を凹部４から除去する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高い反射率と良好な耐久性とを同時に実現せしめることが可能な反射積層膜を提供することを課題とした。
【解決手段】基材上に成膜される反射積層膜であり、該反射積層膜は基材上に下地層、該下地層上にＡｇを主成分とする反射層、該反射層上に保護層、該保護層上に透明増反射層を有し、前記反射層がＮを含むものであり、前記透明増反射層がＳｉの酸窒化物層を含む積層体であり、該積層体はＳｉの酸窒化物層を含む低屈折率層と高屈折率層とを含むものであることを特徴とする反射積層膜。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイス製造において、表面に凹凸パターンを有し該凹凸パターンの凹部表面にチタン、タングステン、アルミニウム、銅、スズ、タンタル、及び、ルテニウムからなる群から選ばれる少なくとも１種の元素を有するウェハ（金属系ウェハ）のパターン倒れを誘発しやすい洗浄工程を改善するための、保護膜形成用薬液を提供することを課題とする。
【解決手段】金属系ウェハの少なくとも凹部表面に撥水性保護膜を形成するための薬液であり、Ｇｒｉｆｆｉｎ法によるＨＬＢ値が０．００１〜１０であり炭素数が６〜１８の炭化水素基を含む疎水部を有する界面活性剤と、水を含み、薬液中の前記界面活性剤の濃度が、該薬液の総量１００質量％に対して０．００００１質量％以上、飽和濃度以下であることを特徴とする、撥水性保護膜形成用薬液。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイス製造において、表面に凹凸パターンを形成されたウェハの少なくとも凹部表面にケイ素元素を含むウェハのパターンの倒れを防止しながらウェハを洗浄する方法に関し、効率的に洗浄することが可能な撥水性保護膜形成剤、及び、該剤を含む撥水性保護膜形成用薬液、及び、該薬液を用いたウェハの洗浄方法を提供する。
【解決手段】上記ウェハの洗浄において、前記ウェハの少なくとも凹部表面に撥水性保護膜を形成するための撥水性保護膜形成剤であり、前記剤が下記一般式［１］で表されるケイ素化合物であることを特徴とする。
【化】
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【課題】 本発明の目的は、平行平板型のプラズマＣＶＤ装置の反応チャンバー内に備わっている平行平板電極表面の堆積物を、Ｆ_２あるいはＣＦ_３ＯＦを含有するガスをクリーニングガスとして用いて、反応チャンバー内の材質に損傷を与えることなく除去する方法を提供することである。
【解決手段】 平行平板型のプラズマＣＶＤ装置の反応チャンバー内にあるプラズマを発生させる平行平板電極表面に堆積した、Ｓｉ含有物、Ｇｅ含有物、または金属含有物を、Ｆ_２またはＣＦ_３ＯＦを含有するガスをクリーニングガスとして用いてプラズマを発生させることにより除去する方法において、該クリーニングガスの存在下で印加電力密度が０．０５Ｗ／ｃｍ^２以上０．５Ｗ／ｃｍ^２以下の範囲内のプラズマを発生させて該堆積物を除去することを特徴とする、平行平板電極のプラズマクリーニング方法。 （もっと読む）

【課題】基布に該伝動ベルト帆布被覆用塗布液を塗布後乾燥させて被覆し被覆層とした伝動ベルト帆布が、架橋されたＨＮＢＲに被覆し伝動ベルトとした際に、伝動ベルトに好適な優れた耐熱性を与える。
【解決手段】モノヒドロキシベンゼンとホルムアルデヒドを反応させてなるモノヒドロキシベンゼン−ホルムアルデヒド縮合物とゴムエマルジョンを含む水系組成物であることを特徴とする伝動ベルト１帆布被覆用塗布液、この塗布液を用いてなる伝動ベルト帆布、この伝動ベルト帆布を耐熱ゴムに被覆した伝動ベルト。 （もっと読む）

【課題】磁力発生装置を用いて金属モールを金型に固定する場合、金型表面に段差が生じ、金型と金属モールとの接触部分に歪みが発生する問題があった。
【解決手段】ガラス板の周縁部に金属モールを被着させるモール成形用金型において、ガラス板を支持すると共にガラス板の周縁部に形成する樹脂モールの上部面、下部面をそれぞれ形成させる上部金型、下部金型を含む成形金型と、前記下部金型の凹状面内の金属モールの当接面に設けた複数の各穿孔部に内接する非磁性の筒状の介装部材内に設け、金属モールをモール固定部材の頂部の磁力で保持するモール固定手段と、該モール固定手段に磁力を付与する磁力発生装置と、からなり、前記磁力発生装置の熱膨張により前記モール固定部材の頂部上端が、前記下部金型の凹状面から突出しないように、モール固定部材の鍔部の外径を穿孔部の内径より大径としたことを特徴とするモール成形用金型。 （もっと読む）

【課題】本発明は、地上デジタルラジオ放送波用の広い周波数帯域幅内の全帯域に亘って電波を受信可能とする。
【解決手段】自動車の窓の金属フランジの開口部近傍のガラス面で互いに近接して並設した芯線側給電点及び接地側給電点と、接地側給電点から最も近い位置にある金属フランジとは離れる方向に延ばした線条を含む接地側エレメントと、芯線側給電点から前記接地側エレメントの線条と略平行に延ばした芯線側第１線条と、該芯線側第１線条から分岐、または芯線側給電点から直接芯線側第１線条と平行に延ばした芯線側第２線条とを含む芯線側エレメントと、からなり、前記芯線側給電点から芯線側第１線条、および芯線側第２線条の各先端までの長さを、それぞれ前記１つの周波数帯域幅内で共振する２つの離れた共振周波数の線条長さとする。 （もっと読む）

【課題】導電性膜で覆われた車両用窓ガラスにおいて、優れた送受信性能が得られるガラスアンテナを提供する。
【解決手段】車両用窓ガラスの室内側の表面の全面に導電膜が形成された車両用ガラスアンテナであり、フランジ開口辺２ａと前記導電膜３の端辺３ａとの間に形成した膜抜き部４に配設した。前記アンテナは、前記膜抜き部４上の、前記導電膜端辺３ａの近傍に設けた第１の給電点５と、前記第１の給電点５の近傍位置のフランジ２上に設けた第２の給電点６と、前記第１の給電点５に接続した第１の略コ字状エレメント１０で構成した。前記第１の略コ字状エレメント１０は、導電膜側線条１１が前記導電膜端辺３ａに近接し、その先端が略直交線条１２と接続し、前記略直交線条１２のもう一方の先端に、フランジ側線条１３を接続し、フランジ開口辺２ａに近接させるように配設した。 （もっと読む）