【課題】 ロードポート装置における開口部前のガスカーテンの生成と、ポッド内部へのパージガスの供給とを、単一の不活性ガス源より得られる系によって実施する。
【解決手段】 開口部の側辺の外側に沿って延在するパージノズルと、開口部上辺の上部に配置されるカーテンノズルと、を有し、両ノズルに不活性ガスを供給するガス供給配管をパージノズルと平行に配置して該供給配管の延在方向と直交する方向にて該供給配管からパージノズルにガス供給を為し、該ガス供給配管の端部にてカーテンノズルにガス供給を為す構成においてガス供給配管の端部にガス流に圧損を生じさせるコンダクタンス調整手段を配置する。 （もっと読む）

【課題】高いＱ値を得ることができる積層型コイル部品を提供する。
【解決手段】
積層型コイル部品１では、焼成後のコイル導体４,５の粒径が１０μｍ〜２２μｍである。焼成後のコイル導体４,５の粒径を１０μｍ以上とすることにより、高周波で十分なＱ値を得ることができる程度に、コイル導体の表面粗さを小さくできる。また、焼成後のコイル導体４,５の粒径を２２μｍ以下になるようにすることによって、焼成中にコイル導体４,５の金属が急激に融解することを抑制できる。以上によって、高い品質を確保しつつも、高いＱ値を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ポインティングデバイスの夜間視認性の改善、高輝度化及びデバイスの薄型化やローコスト化を可能にする。
【解決手段】導光板９は、光源７から出射される光を入射する入射部８と、前記光が出射する発光領域６を有する導光板９において、前記発光領域６を平面視略環状にする。これにより発光機能をポインティングデバイスの外周領域に付加することが可能になるとともに、ナビゲーション用の光源７やイメージセンサーを発光領域６の内部に導光板９と重なることなく配置することが可能になり、デバイス全体の薄型化が実現できる。 （もっと読む）

【課題】低周波側アンテナ電極に発生する高調波による高周波側アンテナ電極の放射特性の劣化を抑制し得る複共振アンテナ及びそれを用いた通信装置を提供する。
【解決手段】低周波側アンテナ電極１及び高周波側アンテナ電極２は、誘電体基体３に併設され、一端が、給電端に共通に接続されている。低周波側アンテナ電極１は、他端が自由端になっていて、λ/４の電気長を有し、高周波側アンテナ電極２は、他端が電気的に接地される接地端を構成し、λ/２の電気長を有する。 （もっと読む）

【課題】 高圧蒸気を用いて被洗浄物を洗浄し且つ該被洗浄物の乾燥を行う洗浄乾燥装置を提供する。
【解決手段】 所定の軸を中心に被洗浄物を回転可能に支持するステージユニットと、被洗浄物に対して飽和蒸気を吹き付け可能なノズル部と、ステージユニット及びノズル部を収容する筐体と、筐体から洗浄により生じた物質を排出するための排気系と接続される排気管と、飽和蒸気を生成する飽和蒸気発生ユニットと、を有しステージユニットは飽和蒸気の吹き付け時の低速回転モードと、被洗浄物を乾燥させるための高速回転モードとを有する。 （もっと読む）

【課題】チップ型電子部品を搬送しながら電気的特性を測定するときに、プローブ押圧による外部電極の損傷が生じない装置と方法を提供する。
【解決手段】ワーク測定装置はテーブルベース１と、テーブルベース上に回転自在に設置され、テーブルベースと反対側の第１層２ａと、テーブルベース１側の第２層２ｂとを有する搬送テーブル２とを備えている。第１層を貫通してワークＷを収納する複数のワーク収納孔４が設けられ、第２層に各ワーク収納孔に対応して、第２層を貫通してスルーホール９が設けられている。ワーク収納孔に収納されたワークの一側電極Ｗａは、ワーク収納孔の第１層側から露出するとともに、他側電極Ｗｂは第２層のスルーホールに当接する。搬送テーブルの第１層側に、ワーク収納孔内のワークの一側外部電極に当接する第１のプローブ６０を設け、テーブルベース内に第２層のスルーホールに当接する第２プローブ６１を設けた。 （もっと読む）

【課題】吸着孔を小径化せずにワークの基準マークを検出することが可能なワーク搬送装置、並びにワーク処理装置及びワーク処理方法を提供する。
【解決手段】ノズルユニット５０の吸着孔５２は、ワーク１００上面（被吸着面）の第１の基準マーク１０１を撮像装置７０により撮像可能で、且つワーク１００の上面の外形内側に収まる寸法及び形状を有する。透明体５３は、吸着筒体５１の他端（上端）を塞ぐ端面部である。透明体５３は、吸着筒体５１内部の負圧維持と撮像装置７０の光透過を両立させる。撮像装置７０は、ワーク１００の第１の基準マーク１０１を最低２箇所撮像する。ここで、撮像は、吸着孔５２に保持されたワーク１００の被吸着面を、透明体５３及び吸着孔５２を通して撮像する。 （もっと読む）

【課題】ＤＰＤ信号とＤＰＰ信号の切り替えを行わずに、ＤＰＰ法とＤＰＤ法のデメリットを相互に補完する。
【解決手段】光学ドライブ装置は、光ディスクの記録面に対して光ビームを照射する光学系と、記録面で反射した光ビームを受光し、受光量に応じた信号を出力する光検出器５と、光検出器５の出力信号からＤＰＰ信号及びＤＰＤ信号を生成する信号生成部３０と、ＤＰＤ信号から取得される補正値に基づいてＤＰＰ信号を補正することによりトラッキング誤差信号ＴＥを生成するトラッキング誤差信号生成部３１と、トラッキング誤差信号ＴＥに基づいてトラッキングサーボを行うトラッキングサーボ部３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、かつ感度特性に優れた赤外線温度センサを提供する。
【解決手段】本発明に係わる赤外線温度センサ１００は、メンブレン構造を持つ第１感熱素子２１によって形成された赤外線検知用素子２１と、メンブレン構造を持つ第２感熱素子２２によって形成された温度補償用素子２２と、前記赤外線検知用素子及び前記温度補償用素子とを支持する基板と、前記赤外線検知用素子上に形成された赤外線吸収膜３０と、前記温度補償用素子上に形成されると共に、前記赤外線吸収膜と同一材料にて形成された赤外線放熱膜４０を備え、前記赤外線吸収膜は前記第１感熱素子のメンブレン構造上にのみ形成され、前記赤外線放熱膜は前記第２感熱素子のメンブレン構造を跨いで成膜されている。 （もっと読む）

【課題】コアの体積を削減し電力損失の低減が可能な、小型化のリアクトルを提供する。
【解決手段】第１の磁性体３と、互いに絶縁され、第１の磁性体と絶縁されるとともに、第１の磁性体を囲むように配置され、それぞれの一端間に入力された信号に応じて、正に結合する一対のコイル１，２と、を有し、第１の磁性体は、第１および第２の端部を有し、第１および第２の端部は、第１の磁性体が存在しない空間を介して、互いに直接的に対向することなく形成され、一対のコイルのそれぞれの一端間に入力された入力信号に基づいて、一対のコイルのそれぞれの他端間から出力信号を出力するリアクトルとする。 （もっと読む）