【課題】 膜厚の制御が精度良く行えるとともに蒸着処理能力を向上し得ることができる蒸着装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 蒸着用誘導管６に介在された第１ストップバルブ５と、蒸発用容器４から蒸着用容器３に接続されて蒸発材料の一部を調整用として取り出す調整用誘導管８と、調整用誘導管８に介在された第２ストップバルブとを具備し、ガラス基板１の交換作業を行う際、第２ストップバルブ７を開いて蒸発用容器４内の高濃度の蒸発材料を放出した後、第１ストップバルブ５を開いて蒸発用容器４から通常濃度となった蒸発材料を放出させることにより、蒸発用容器４内を短時間で定常状態とすることができるとともに通常濃度の蒸発材料をガラス基板１に付着させることができるため、蒸着処理能力を向上し得ることができるとともに膜厚の制御を精度良く行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 キルンから排出される排ガスの量を低減することができ、この結果、有機ハロゲン化合物を処理するためのエネルギーを低減することができ、かつ、再燃焼後の冷却、除塵装置への負担が小さい有機ハロゲン化合物の処理方法を提供する。
【解決手段】 本発明の有機ハロゲン化合物の処理方法は、加熱器１により、酸素濃度が５％以下の低酸素雰囲気中、４００〜７００℃の温度で、有機ハロゲン化合物を含有する被処理物を加熱して、有機ハロゲン化合物を揮散させる第１工程と、酸化分解装置３により、該被処理物から揮散した有機ハロゲン化合物を含む気体中に酸素を注入して、高酸素雰囲気中、７００〜１２００℃の温度で、有機ハロゲン化合物の酸化分解を促進する無機固形物と接触させて加熱して、有機ハロゲン化合物を酸化分解する第２工程とを包含する。 （もっと読む）

【課題】 メンテナンス時の配管類の取り外し／取り付け作業を極力減らし、水電解槽を容易に交換できる固体高分子型水電解槽を提供する。
【解決手段】 複数の単位セル(5) を水電解槽(1) の中央にて垂直に貫通する電解槽貫通孔(13)が設けられ、同貫通孔(13)は水電解槽(1) 内部にて一方のガス発生室に連通し、かつ台座(7) に設けられた台座貫通孔(14)と連通している。容器底部には台座貫通孔(14)に連通した容器貫通孔(15)が設けられ、該容器貫通孔(15)には下部ガス排出口(16)が接続されている。陽極主電極(3) と頂板(6) の間、および陰極主電極(4) と台座(7) の間にはそれぞれ絶縁シール材(18)(19)が介在されている。台座(7) の下面中央部にはテーパー状の凸部(20)が設けられると共に、容器(2) の底壁(21)上面中央部にテーパー状の凹部(22)が設けられ、凸部(20)が凹部(22)に嵌め込まれている。 （もっと読む）

【課題】駐車設備において、利用者が降車したことを確実に検出し得る駐車設備における降車確認システムを提供する。
【解決手段】車両Ｃを立体駐車場１に入庫させる際の利用者の降車を確認するシステムであって、車両Ｃの座席Ｃｓに配置されて人体の呼吸による振動を検出し得る振動検出センサ１１と、この振動検出センサ１１にて検出された生体検出情報が無線通信手段１２，１３を介して入力されると利用者および管理者に警報を出力し得る制御装置４とを具備したものである。 （もっと読む）

【課題】水道施設のないような設置場所でも、簡易な設備でゲートを自動開閉可能なゲート開閉装置を提供する。
【解決手段】加圧エアを供給する駆動ガス供給装置１１と、ガス供給装置１１から供給される加圧エアにより２本の開閉用シリンダ１４Ｌ，１４Ｒにより回転駆動される出力軸を回転駆動させるクランク式回転駆動装置２０を具備し、前記出力軸を介してスライドゲートを開閉駆動するゲート開閉機構とを具備し、前記駆動ガス供給装置１１に蓄圧ガスタンク３２を設けた。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料の種類または加熱温度などの蒸着条件が変わったが場合でも、蒸発材料の放出部を交換することなく、被蒸着部材に形成される膜厚の均一性を維持し得る蒸着装置を提供する。
【解決手段】坩堝３で得られた蒸発材料を、蒸着用容器２内に配置されたガラス基板１に向かって放出する放出部材６に、蒸発材料を放出する放出用ノズル５を複数設けるとともに、これら各放出用ノズルの開口径およびノズル高さを同一となし、これら各放出用ノズルの開口部５ａをそれぞれ開閉自在な板状シャッタ１８を有するシャッタ部材７を設けるとともに、これら各板状シャッタの開閉周期を制御する制御装置８を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】 差圧制御の遅れを生じさせない水電解装置を提供する。
【解決手段】 水電解槽1 は圧力容器2 に収められ、圧力容器2 は隔壁3 により左右２室に分かれている。右室は水電解槽1 を収納し、酸素と水を分離する酸素気液分離室4 を兼ねる。左室は水素気液分離室5 である。圧力容器2 の右側頂部には酸素気液分離室4 から酸素を放出する酸素ライン6 が設けられ、同ライン6 には放出酸素量を調整する第２流量調整弁7 が設けられている。圧力容器2 の右側外部には酸素気液分離室4 の液面レベルを検出する第２液面計8 が設けられ、容器2 底部には酸素気液分離室4 内へ純水を供給する純水供給口9 が設けられている。純水供給口9 は給水ライン10と接続されており、純水は給水ライン10に設けられた給水ポンプ11で圧力容器2 内に送られる。給水ポンプ11と圧力容器2 の間に圧力容器2 内圧力を調整する給水圧調整弁12が設けられている。 （もっと読む）

【課題】研削の際に発生する加工粉のワークへの付着および飛散を効果的に防止する。
【解決手段】面取り用研削装置は、平板状ワークＷを水平姿勢に支持するテーブル31と、テーブル31に支持されたワークＷの上面と外周面との交わりの角を研削する砥石21と、研削の際に発生する加工粉のワークＷへの付着および飛散を防止する空気チャンバ14とを備えている。空気チャンバ14は、同ワーク上面と相対させられうる底壁41と、砥石21の研削面21Aと相対させられうる側壁42とを有している。底壁41に、被研削部に向かって空気を噴出させる噴出口45が形成されている。側壁42に、被研削部付近の空気を吸引する吸引口46が形成されている。底壁41および側壁42が、略楔状をなしている。 （もっと読む）

【課題】 低コストかつ均一な触媒層を形成することが可能であり、ひいては均一な高さのカーボンナノチューブの成長が可能である、カーボンナノチューブ成長用触媒の製造方法を提供する。
【解決手段】 カーボンナノチューブ成長用触媒の製造方法は、遷移金属塩をエタノール、メタノールおよびブタノールのうち少なくとも１つとテルピネオールの混合液に溶解させ、得られた溶液を用いて基板上に触媒層を形成する方法である。エタノール、メタノールおよびブタノールのうち少なくとも１つとテルピネオールの混合割合は、前者６５〜８５重量％、後者１５〜３５重量％であることが好ましい。遷移金属塩は好ましくは硝酸塩である。硝酸塩は好ましくは硝酸鉄、硝酸ニッケルまたは硝酸コバルトである。 （もっと読む）

【課題】推進抵抗の増大もなく、また地山の崩壊を防止しつつ安定して拡幅断面を掘削できる。
【解決手段】シールド本体１の前部に設けられて標準断面を掘削する第１カッタヘッドと、シールド本体１のスキンプレート１ａに形成された拡幅開口部１２と、拡幅開口部１２に連通して形成されたカッタ収納室１３と、前記カッタ収納室１３に拡幅開口部１２を介して外方に出退自在に配設されて第２カッタヘッド１１を有する出退ブロック１４と、出退ブロック１４を出退可能なカッタ出退装置１５と、拡幅開口部１２を開閉自在な開閉扉２７を有する開閉シャッター装置１６とを具備した。 （もっと読む）