【課題】高光出力化および小型化が図られた電子線励起型光源装置であっても、真空容器の劣化または破損が抑制される電子線励起型光源装置の提供。
【解決手段】電子線励起型光源装置は、電子線源と、この電子線源から放出された電子線によって励起されて紫外線を放射する半導体発光素子とが内部に配置された真空容器を備えてなる電子線励起型光源装置において、前記真空容器の内表面に紫外線反射部材が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 過冷却状態におかれた場合でも寿命を伸ばすことができ、かつ、始動性が良好なメタルハライドランプ、更にはメタルハライドランプを備えた光照射装置を提供すること。
【解決手段】 ハロゲンが封入されたメタルハライドランプにおいて、ハロゲンは発光管の内容積に対して０．３μｍｏｌ／ｃｃ以上封入され、発光管の外表面上にその管軸に沿うように導電性物質からなる膜が一方と他方の電極間に亘り設けられている。また、前記膜の上にシリカ粒子及び／又はアルミナ粒子よりなる保護層が具備される。光照射装置においては、前記メタルハライドランプと、略樋状の反射ミラーと、冷却機構を具備し、前記反射ミラーは冷却風用の開口を有し、前記メタルハライドランプは前記導電性物質からなる膜が前記反射ミラーの開口に向かって配置されている。 （もっと読む）

【課題】極端紫外光光源装置の光出射口から露光機側に汚染物質が流出するのを防ぐこと。
【解決手段】高温プラズマＰから放射されたＥＵＶ光は、ＥＵＶ集光鏡６により集光点ｆに集められ、ＥＵＶ光出射口７から出射し、露光機３０に入射する。集光鏡６と光出射口７の間に、モータ９によりＥＵＶ光の光軸と交差するように回転する回転翼（プロペラ）８が配置され、その回転軸９ａは極端紫外光の光路外に配置される。極端紫外光が発光していないとき、回転翼８を集光鏡６と光出射口７の間を通過させる。極端紫外光が発光していないとき光出射口７が回転翼によって実質的に遮蔽され、また、光出射口に向かって進んできた汚染物質が回転翼と衝突し、その進行方向が曲げられることによって汚染物質の流出が抑制される。 （もっと読む）

【課題】 太陽電池パネルの耐侯試験装置の光源として有用な新規な構造を有する光照射装置を提供すること。
【解決手段】 この光照射装置は、互いに平行に延びる姿勢で配置された複数の外部電極型の希ガス放電ランプと、前記希ガス放電ランプの軸方向における一端に形成された給電部に電気的に接続される、当該希ガス放電ランプの各々に対応する複数のインバータとを具えており、複数のインバータは、希ガス放電ランプが並ぶランプ配置面に垂直な方向の離間距離が互いに異なる複数のレベル位置において、インバータが配置されるレベル位置がランプ配置面より遠くなるに従って希ガス放電ランプの軸方向における給電部が形成された端部側に位置されるよう、希ガス放電ランプの軸方向に変位した状態で配置された構成とされている。 （もっと読む）

【課題】ワークＷの寸法に対して可能な限り小さな光源ランプ１１と窓部材１２を使いつつ、窓部材１２の放射光を効果的に利用することを課題をする。
【解決手段】本発明に係る光処理装置は、光照射ユニット２０からの放射光を略矩形状のパターン形成部を有するワークＷに照射させる装置であり、前記光照射ユニット２０は、ケーシング１０と、このケーシング１０の内部に配置された紫外線放射ランプ１１と、ケーシング１０の一面に設けられた矩形状の光透過性窓部材１２とよりなり、光透過性窓部材１２とパターン形成部の一辺同士が平行ではないことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高い光の利用効率を得ることができて高い照度を得ることができる光学装置を提供すること。
【解決手段】 高圧放電ランプと、光軸が高圧放電ランプのアークの方向に沿って延びる状態で、高圧放電ランプを取り囲むよう配置された凹面集光鏡と、この凹面集光鏡の光出射方向前方に配置された、凹面集光鏡の光軸に対して回転対称な非球面レンズとを備えた光学装置において、凹面集光鏡の反射面が、非球面レンズの光出射面において、高圧放電ランプのアーク中心の光軸に垂直な方向に位置される反射位置で反射される光線が非球面レンズから出射される位置での光線密度が最小となる出射光分布が得られるよう、非球面レンズの光入射面および光出射面の形状との関係において設定された形状を有する構成とされている。 （もっと読む）

【課題】ワイヤーグリッド偏光素子を回転させるときに、偏光素子に力を加えず歪が生じないようにすること。
【解決手段】複数のワイヤーグリッド偏光素子１を、偏光子支持部材３に取り付け、各々の端部を少しずつ重ねてフレーム２に並べて配置する。フレーム２にピン４を設け、ピン４に偏光子支持部材３を回転可能に取り付け、フレーム２には、ピン４を挟んで偏光子支持部材３のエッジ側面を押す２個のねじ５ａ，５ｂを設ける。２個のねじ５ａ，５ｂを押し引きすることにより、偏光子支持部材３はピン４を支点として回転移動し、ワイヤーグリッド偏光素子１もその平面内で回転移動する。ワイヤーグリッド偏光素子１の一辺だけを押しひきして回転させるようにしたので、回転時に偏光素子１には力が加わらずひずみが生じない。このため出射する偏光光の偏光軸の回転を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】封止部内に挿入溶着された内部封止体を有するショートアーク型放電ランプにおいて、前記内部封止体内の金属箔と陰極の電極軸との接続部近傍において金属箔が剥離することを防止するために設けられた導電性部材が、当該位置で固定されて緩むことがなく、かつ位置ずれを起こすこともなくした構造を提供することである。
【解決手段】前記内部封止体の金属箔と陰極の電極軸との接続部近傍において、該内部封止体の外周に箔状の導電性部材が円周状に配設されるとともに、該内部封止体の後方に延出されて陰極側外部リードに接続されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 十分に高いランプ始動性が得られると共に長い使用寿命が得られる小型のショートアーク型放電ランプを提供すること。
【解決手段】 一対の電極が内部に対向配置された発光管部および当該発光管部の両端の各々に連続する封止部を有する放電容器を備え、当該一対の電極の少なくとも一方の電極が電極軸部の先端部に易電子放射物質を含有するコイル部が形成されてなるショートアーク型放電ランプにおいて、前記発光管部の前記一方の電極の周囲を囲繞する内面が、前記放電容器の管軸に沿った断面において、少なくともアーク形成領域の周囲を囲繞する内面領域を構成する外方に凸の第１の湾曲部およびこの第１の湾曲部に連続する内方に凸の第２の湾曲部を有しており、前記第１の湾曲部と前記第２の湾曲部の境界位置である第１の変曲点が、前記コイル部の周囲を囲繞する内面領域内に位置された構成とされている。 （もっと読む）

【課題】 メタルハライドランプを冷却風の通風路を備えた光照射装置に使用した場合にも、ランプから放射された光を効率よくワークに向けて放射することができると共に、ランプの過熱を防止できて、反射膜の剥れ、更には黒化を抑制して高い照度維持率を実現することができるメタルハライドランプ及び光照射装置を提供すること。
【解決手段】 ロングアーク型メタルハライドランプにおいて、発光管の外表面上に、その全長に亘って略一定幅に形成された紫外光に対して反射性を備えた反射膜を有し、反射膜はシリカ粒子を主成分として構成されている。またタルハライドランプと反射ミラーを備えた光照射装置において、反射ミラーは冷却風用の開口が形成されてなり、メタルハライドランプは、発光管の外表面上に反射ミラーの開口に対向した領域に紫外光に対して反射性を備えた反射膜を有し、該反射膜はシリカ粒子を主成分として構成されている。 （もっと読む）